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公开(公告)号：KR1019980069114A
公开(公告)日：1998-10-26
申请号：KR1019970006021
申请日：1997-02-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 강만석
IPC: H01L21/76
Abstract: 본 발명은 반도체장치의 소자분리방법 및 이에 사용하는 산화방지 마스크에 관해 개시한다.
반도체장치의 필드영역에 필드산화막을 형성하는 데, 희생 실리콘막 패턴상에 자연산화 방지막 패턴으로서 실리콘-탄소결합막 패턴을 구비하는 산화방지 마스크를 사용한다. 상기 실리콘-탄소결합막 패턴에서 실리콘-탄소 결합력은 매우 크므로 후속 절연막 형성공정에서 상기 희생 실리콘막의 계면에 자연산화막이 형성되는 것을 막을 수 있다.
따라서 상기 희생 실리콘막과 절연막사이에는 필드산화막이 성장되지 않는다. 결국, 필드산화막의 성장에 따른 활성영역의 감소를 방지할 수 있다. 이는 보다 넓어진 활성영역에 반도체소자들을 형성하는 것과 같으므로 반도체장치의 고집적화를 보다 쉽게 이룰 수 있다.-
公开(公告)号：KR1019970077449A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960015545
申请日：1996-05-11
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 강만석
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 카세트에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트는 상부를 고정시키기 위한 수단으로써 캡을 구비한다.
따라서 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트를 이용하면, 웨이퍼 카세트는 정위치를 유지할 수 있고 로봇 암은 웨이퍼를 정확히 캐치할 수 있게 되어 헛 동작이 없어진다. 뿐만 아니라 공정이 순조롭게 진행되고 웨이퍼의 캐치미스를 방지할 수 있으므로 그에 따른 웨이퍼의 깨어짐이나 긁힘등에 의한 오염입자 발생등을 미연에 방지할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1019970077137A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960015580
申请日：1996-05-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 장치의 버티칼 퍼니스에 관한 것으로, 본 발명에 의한 버티칼 퍼니스에서는 내측튜브는 폐쇄된 상단부와 개방된 하단부와, 슬롯 형상의 개구부가 복수개 형성된 측면을 갖춘 수직의 원통형 구조를 가지고, 분사 장치는 내측 튜브의 상단면보다 더 상부에 위치하여 가스를 하측으로 분사하는 분사구를 갖춘다. 본 발명에 의하면, 반도체 제조를 위한 가스 유입시 가스의 확산 형태를 개선하여 막 형성공정시에 막 두께의 균일성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019970072299A
公开(公告)日：1997-11-07
申请号：KR1019960012500
申请日：1996-04-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/76
Abstract: 본 발명은 반도체 장치의 소자 분리 방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 소자 분리 방법은 반도체 기판상에 패드 산화막을 형성하고, 상기 패드 산화막상에 CVD에 의해 산화 억제막을 형성하고, 상기 산화 억제막 위에 CVD에 의해 폴리실리콘층을 중착하고, 상기 폴리실리콘층 위에 CVD에 의해 질화막을 형성하고, 사진 식각 공정 및 에칭 공정을 통해 상기 질화막을 패터닝하여 활성 영역을 정의하는 질화막 패턴을 형성하고, 상기 질화막 패턴을 산화 방지 마스크로 사용한 산화 공정을 실시하여 소자 분리층을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, PBL 공정에서 필드 산화막과 폴리실리콘 사이에 개재된 산화 억제막에 의해 폴리실리콘층이 산화되는 현상이 줄어들게 되어 전체적으로 버즈비크가 감소하게 된다.
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公开(公告)号：KR101847628B1
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：KR1020110098308
申请日：2011-09-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/336 , H01L29/78 , H01L21/28
CPC classification number: H01L21/76877 , H01L21/28562 , H01L21/743 , H01L21/76802 , H01L21/76846 , H01L21/76864 , H01L21/76876 , H01L21/76883 , H01L27/10891
Abstract: 반도체소자는반도체기판에형성된트렌치내부에서트렌치의내벽을따라연장되고트렌치내부에서제1 방향을따라제1 폭의배선공간을한정하는금속함유배리어막과, 금속함유배리어막위에서배선공간내에형성되고, 제1 방향을따라제1 폭의입경을가지는적어도하나의금속그레인을포함하는금속함유도전라인을포함한다. 반도체소자제조방법에서는, 반도체기판상에적어도 2 개의시드층과, 적어도 2 개의시드층사이에개재되고복수의금속그레인을포함하는적어도 1 개의금속층을포함하는금속함유적층구조를형성한다. 금속함유적층구조의일부를식각하여금속함유적층구조의나머지일부로구성되는금속함유배선패턴을형성하고, 금속함유배선패턴을열처리한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101780050B1
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：KR1020110017872
申请日：2011-02-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/108 , H01L49/02
CPC classification number: H01L27/10808 , H01L27/10852 , H01L28/90
Abstract: 반도체기억소자및 그형성방법이제공된다. 본발명에따른반도체기억소자는기판상에배치되는스토리지노드및 전극막, 상기스토리지노드및 상기전극막사이에배치되는캐패시터유전막, 상기스토리지노드의일 측에배치되는지지패턴(Supporter pattern)을포함하되, 상기지지패턴은제1 서브패턴및 제2 서브패턴을포함하고, 상기제1 서브패턴은상기제2 서브패턴에대해서식각선택비를갖는물질을포함할수 있다.
Abstract translation: 提供了一种半导体存储元件及其形成方法。 根据本发明的半导体存储器件包括设置在衬底上的存储节点和电极膜，设置在存储节点和电极膜之间的电容器电介质膜以及设置在存储节点的一侧上的支撑图案， 支撑图案包括第一子图案和第二子图案，并且第一子图案可以包括相对于第二子图案具有蚀刻选择性的材料。
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77.发明公开
公开(公告)号：KR1020130055445A
公开(公告)日：2013-05-28
申请号：KR1020110121195
申请日：2011-11-18
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04L67/42 , G06F9/4843 , G06F9/5055 , H04L67/28 , H04L67/34 , G06F15/161
Abstract: PURPOSE: An application using method, a gateway using the same, a terminal using the same, and a communication system using the same are provided to enable various terminals using different browsers to commonly use the same application by storing the decompressed application data in a storage device. CONSTITUTION: An interface unit(353) receives a transmission request of an application from a terminal. A control unit(357) receives the application from an application providing server according to the transmission request and decompresses the application to store the same in a storage device. The control unit extracts a script file to manage the execution of the application from the decompressed application to update a list of applications stored in the storage device. The decompressed application has an independent data format for a browser installed in the terminal. [Reference numerals] (311,357) Control unit; (313,353) Interface unit; (355) Storage unit
Abstract translation: 目的：提供一种应用使用方法，使用该方法的网关，使用该终端的终端，以及使用该终端的通信系统，使得使用不同浏览器的各种终端能够通过将解压缩的应用数据存储在存储器中来共同使用相同的应用 设备。 构成：接口单元（353）从终端接收应用的发送请求。 控制单元（357）根据传输请求从应用程序提供服务器接收应用程序，并解压缩应用程序以将其存储在存储设备中。 控制单元提取脚本文件以从解压缩的应用程序管理应用的执行，以更新存储在存储设备中的应用的列表。 解压缩的应用程序具有用于安装在终端中的浏览器的独立数据格式。 （附图标记）（311,357）控制单元; （313,353）接口单元; （355）存储单元
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公开(公告)号：KR1020130052373A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：KR1020110117781
申请日：2011-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04L67/2809 , H04L67/26 , H04L67/2823 , H04L67/303
Abstract: PURPOSE: A method for relaying data between a server and a device, a device, and a computer readable recording medium are provided to offer a push service regardless of the protocol difference between the server and the device. CONSTITUTION: A processor(240) approves the connection for one or more devices based on the protocol information of one or more devices through a first communication unit. The processor receives data from a server through a second communication unit when the processor is connected to one or more devices. The processor converts the data received from the server into data based on the protocol of the device. The processor transmits the converted data to the device through the first communication unit. [Reference numerals] (140_1~140_m) First-(m-th) devices; (210) First communication unit; (220) Second communication unit; (230) Storage unit; (240) Processor; (250) Third communication unit; (AA) Push server; (BB) First-(n-th) applications
Abstract translation: 目的：提供一种用于在服务器和设备之间中继数据的方法，设备和计算机可读记录介质，以提供推送服务，而不管服务器和设备之间的协议差异如何。 构成：处理器（240）通过第一通信单元基于一个或多个设备的协议信息来批准一个或多个设备的连接。 当处理器连接到一个或多个设备时，处理器通过第二通信单元从服务器接收数据。 处理器根据设备的协议将从服务器接收的数据转换为数据。 处理器通过第一通信单元将转换的数据发送到设备。 （附图标记）（140_1〜140_m）第一（m）个装置; （210）第一通信单元; （220）第二通信单元; （230）存储单元; （240）处理器; （250）第三通信单元; （AA）推送服务器; （BB）第一（第n）个应用程序
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公开(公告)号：KR1020130021912A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：KR1020110084475
申请日：2011-08-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8242 , H01L27/108 , H01L21/8247 , H01L27/115
CPC classification number: H01L21/76897 , H01L21/02164 , H01L27/10855 , H01L27/10876 , H01L27/10885 , H01L27/10888 , H01L27/10894 , H01L21/28273
Abstract: PURPOSE: A semiconductor device and a manufacturing method thereof are provided to reduce tension in an interface between a conductive structure and an insulation layer by arranging an interface layer between the conductive structure and the insulation layer. CONSTITUTION: A device isolation layer is formed on a substrate to define an active region(104). The substrate includes a cell region and a peripheral circuit region. A conductive structure is formed on the substrate in a first direction across the active regions and the device isolation layer. The conductive structure is composed of a barrier pattern, a conductive pattern, and a capping pattern(134). An interface layer(135) is formed according to a profile of the substrate with the conductive structure. A first insulation layer is formed on the substrate with the interface layer to cover the conductive structures.
Abstract translation: 目的：提供半导体器件及其制造方法，以通过在导电结构和绝缘层之间布置界面层来减小导电结构和绝缘层之间的界面中的张力。 构成：在衬底上形成器件隔离层以限定有源区（104）。 基板包括单元区域和外围电路区域。 导电结构在跨越有源区和器件隔离层的第一方向在衬底上形成。 导电结构由阻挡图案，导电图案和封盖图案（134）组成。 根据具有导电结构的基板的轮廓形成界面层（135）。 在衬底上形成第一绝缘层和界面层以覆盖导电结构。
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公开(公告)号：KR101195501B1
公开(公告)日：2012-10-29
申请号：KR1020050088212
申请日：2005-09-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04N5/445
CPC classification number: G06F3/04892
Abstract: Provided are an information storage medium on which contents for interactively providing a user with audio/visual data are recorded, a method and an apparatus for highlighting buttons on a screen (500) on which a plurality of applications are displayed so as to interactively provide the user with the audio/visual data. The contents include information about a button performing a predetermined function. The information about the button includes neighboring button information (540) for moving within an application to which the highlighted button belongs or for moving to a neighboring application which is adjacent to the application to which the highlighted button belongs.
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