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公开(公告)号：KR1020020054227A
公开(公告)日：2002-07-06
申请号：KR1020000083260
申请日：2000-12-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L2224/11 , H01L2924/14 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a solder bump capable of preventing copper cross contamination in a silicon laboratory is to reduce fabricating cost by sufficiently using a conventional apparatus so that a high ball and a high density solder ball are formed. CONSTITUTION: An electrode(4) for electroplating is sputtered on a high integrated circuit chip substrate(1). A photoresist layer is coated to form a via. A copper seed for solder plating is sputtered to form the solder ball. A copper/titanium seed for preventing the copper and solder from being plated is thinly sputtered on the photoresist layer. The photoresist layer is thickly formed by a multi-coating technology.
Abstract translation: 目的：制造能够防止硅实验室中的铜交叉污染的焊料凸块的方法是通过充分使用常规装置来降低制造成本，从而形成高球和高密度焊球。 构成：用于电镀的电极（4）溅射在高集成电路芯片衬底（1）上。 涂覆光致抗蚀剂层以形成通孔。 用于焊接电镀的铜种子被溅射以形成焊球。 用于防止铜和焊料电镀的铜/钛晶种在光致抗蚀剂层上被薄的溅射。 光致抗蚀剂层通过多涂层技术形成。
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公开(公告)号：KR1020010073962A
公开(公告)日：2001-08-03
申请号：KR1020000003182
申请日：2000-01-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B27/00
Abstract: PURPOSE: A method for detecting and stabilizing wavelength and a wavelength stabilizing optical source module by using thereof are provided to stabilize the wavelength by using the wavelength dependence of reflection and transmission efficiently with using a Fabry-Perot structure filter element in an optical route. CONSTITUTION: In the method for detecting and stabilizing wavelength and the wavelength stabilizing optical source module by using the same, a single mode optical source(10), a lens(12), a Fabry-Perot filter(11), an array optical detector(20) and optical detectors(31, 32) are included. The lens(12) controls the radiation angle of the laser beam radiated from the single mode optical source(10). The array optical detector(20) detects the beam reflected in the F-P filter(11). The optical detectors(31, 32) detect the beam, which is transmitted the F-P filter(11). Because the incident angle to the first and second Photo Detectors(PD)(21, 22) is different, the strength of the optical detection is compared.
Abstract translation: 目的：提供一种通过使用波长和波长稳定光源模块进行检测和稳定的方法，通过使用光路中的法布里 - 珀罗结构滤波器元件，有效地利用反射和透射的波长依赖性来稳定波长。 构成：在通过使用它来测量和稳定波长的波长稳定光源模块的方法中，单模光源（10），透镜（12），法布里 - 珀罗滤光器（11），阵列光检测器 （20）和光学检测器（31,32）。 透镜（12）控制从单模光源（10）辐射的激光束的辐射角。 阵列光学检测器（20）检测在F-P滤波器（11）中反射的光束。 光检测器（31,32）检测发射F-P滤波器（11）的光束。 因为与第一和第二光电探测器（PD）（21,22）的入射角不同，所以比较了光学检测的强度。
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公开(公告)号：KR1020010019755A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1019990036332
申请日：1999-08-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/00
Abstract: PURPOSE: An optical source module including a wavelength stabilizer is provided to maintain the center wavelength of an optical source accurately and uniformly. CONSTITUTION: An optical source module used for an optical communication system includes a wavelength stabilizer(209) that generates optical current from an interference pattern signal varying with time and compares optical current values to uniformly maintain wavelengths. The wavelength stabilizer consists of twin photo diodes for generating optical current based on the interference pattern signal and a diffracting grating for providing the interference pattern signal varying with wavelengths to the twin photo diodes. The photo diodes and the diffracting grating are configured of one semiconductor.
Abstract translation: 目的：提供一种包括波长稳定器的光源模块，以保持光源的中心波长准确而均匀。 构成：用于光通信系统的光源模块包括波长稳定器（209），其从随时间变化的干涉图案信号产生光电流，并比较光电流值以均匀地保持波长。 波长稳定器由用于产生基于干涉图案信号的光电流的双光电二极管和用于向双光电二极管提供波长变化的干涉图案信号的衍射光栅组成。 光电二极管和衍射光栅由一个半导体构成。
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公开(公告)号：KR100248432B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019970071641
申请日：1997-12-22
Abstract: 본 발명은 광통신에 사용하는 광모듈 중 광소자를 실리콘 기판에 접합한 칩을 세라믹 뚜껑을 이용하여 패키징하므로 외부 습기, 충격등으로 부터 칩과 접합 솔더를 보호하는 기술이다. 일반적으로 플립칩 및 접합 솔더를 보호하는 방법으로 에폭시를 사용하여 언필 ＆ 엔켑슐레이션 공정을 이용하고 있다. 그러나 에폭시만으로 패키징 하였을때 에폭시가 광소자의 활성부분 또는 광소자와 광섬유사이에 놓이게 되면 빛의 간섭 또는 산란등을 발생시켜 정확한 신호 전달이 불가능하게 된다. 따라서 이러한 문제점을 해결하기 위하여 판상 세라믹 내부에 직사각형 홈을 형성하여 실리콘 기판을 삽입한 뒤, 세라믹 뚜껑 덮개를 만들어 실리콘 기판에 접합한 광소자 및 접합 솔더를 보호하기 위한 기술을 발명하였다.
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公开(公告)号：KR100243662B1
公开(公告)日：2000-03-02
申请号：KR1019970061560
申请日：1997-11-20
IPC: G01J1/42
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
레이저 다이오드의 양방향 광에너지 측정장치
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 요지
본 발명은 측정대상으로부터 발산되는 광에너지를 흡수하는 경로로서, 수정막대를 레이저 다이오드의 양측에 밀착시켜, 상기 레이저 다이오드로부터 발생되는 양방향의 광에너지를 동시에 측정하는 것이 용이하면서도 정확한 레이저 다이오드의 양방향 광에너지 출력장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은 레이저 다이오드를 고정하며, 홀이 형성된 레이저 다이오드 지지수단;
전원을 인가받는 전극판; 상기 레이저 다이오드 지지수단의 양측 관통홀에 각각 끼워지며, 각각의 일단면 중심이 상기 레이지 다이오드에 근접되게 위치되어 레이저 다이오드로부터 발산되는 광에너지가 흡수되어 이동되는 경로를 제공하는 수정막대; 및 상기 양측 수정막대에서 출력되는 광에너지를 수광하는 포토 다이오드를 포함하는 레이저 다이오드의 양방향 광에너지 측정장치를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 레이저 다이오드의 광에너지 측정장치에 적용되는 것임.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100211939B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960064703
申请日：1996-12-12
IPC: G02B6/42
Abstract: 본 발명은 경사진 광섬유 지지용 브이홈 블록을 이용하여 빛을 전기신호로 변환하는 수광소자와 광섬유 간의 광결합 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른, 수광소자(1)와 광섬유(4) 간의 광결합 방법은, 광섬유를 이용한 광통신에 사용되는 것으로, 빛을 전기신호로 변환하는 수광소자(1)와 광섬유(4) 간의 광결합 방법에 있어서, 광섬유(4)를 경사진 브이홈이 상면에 구비된 광섬유 지지용 블록(8)과 함께 수광소자(1)의 수광면적(5)에 평행하게 횡방향(x-방향)으로 정렬하고, 광섬유(4)를 상기한 광섬유 지지용 블록(8)의 경사진 브이홈을 따라 브이홈의 경사방향으로 움직여 광소자(1)와 광섬유 코아(12)와의 높이(y-방향) 및 거리(z-방향)을 정렬하여 광섬유 고정용 뚜껑(7)을 덮어 광섬유(4)를 고정시킨 다음, 광섬유(4)가 고정된 상기한 광섬유 지지용 블럭(8)을 수광소자(1)에 근접 이동시켜 광섬유 지지용 블록(8)을 주기판 상에 고정시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 광섬유의 정렬 및 고정방법에 따르면, 광섬유가 경사진 브이홈에 의해 밀착되어 있어, 광섬유 고정용 뚜껑의 고정시의 에폭시의 경화과정 중 발생되는 상하변위를 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 이러한 브이홈이 지지대 역할을 수행함으로 광부품의 정렬이 외부 변화에 대하여도 쉽게 변형되지 않으며, 조립공정이 용이하여 조립시간을 단축하여 생산성을 대폭적으로 높일 수 있어 신뢰성 및 경제적 측면에서도 우수한 효과를 지니고 있다.
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公开(公告)号：KR100162752B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019940031735
申请日：1994-11-29
IPC: G02B6/00
Abstract: 본 발명은 광섬유를 가지는 고속 광통신용 반도체 레이져 모듈의 패키지에 관한 것으로, 본 발명은 광섬유가 부착된 광통신용 레이져모듈의 패키지에 있어서, 정교한 광학 정렬이 필요한 광학부품들이 실린더 형태의 4종류의 하우징으로 조립되어 구성되는 서브모듈의 출력 단자와 버터플라이 패키지의 단자 사이를 전기적으로 접속하고, 페데스탈(pedestal)에 부착되며, 패턴이 형성된 혼성 세라믹 기판; 상기 서브 모듈과 혼성 기판을 보다 완벽하게 케이스 그라운드(case ground)와 연결하기 위한 전도체 박; GRIN 렌즈를 삽입하여 LD 칩과 광 집속형 GRIN 렌즈의 정열시에 횡축방향만을 정열시켜 종축방향에 대한 자유도를 줄이기 위한 렌즈 하우징; 및 광섬유를 보호하기 위하여 본 모듈의 출력부에 설치되는 광섬유 보호자(optical protector)(26)를 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기와 같은 본 발명은 기존의 값싸고 저속변조용으로 주로 사용되어 왔던 TO 패키지를 이용하여 고속 광통신용으로 적용시킬 수 있고, 광학적으로 연결을 하기에 종래의 방법보다 저렴한 가격으로 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1019980043607A
公开(公告)日：1998-09-05
申请号：KR1019960061534
申请日：1996-12-04
IPC: H01S3/10
Abstract: 본 발명은 광섬유가 부착된 고속 광통신용 반도체 레이저 모듈 제작시 레이저 서브 모듈을 정확한 위치에 부착하기 위한 빔 정렬기구 및 정렬방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 빔 정렬기구는, 빔 정렬기구 받침대(42) 상에 부설되고, 서브 모듈(50)을 정렬하기 위한 서브 모듈 홀더(45)를 x, y, z 방향으로 움직이기 위한 서브 모듈 홀더용 스테이지(46)와, 정렬이 이루어진 후 서브 모듈(50)과 열전 냉각소자(7) 사이의 열전도성 에폭시를 열정화시켜 서브 모듈(50)을 열전 냉각소자(7)에 고정시키기 위한 핫플레이트(31)와, 버터플라이 패키지(13)의 궤환광 차단기 삽입홈(44)에 그 일단이 삽입 설치되며, 서브 모듈(50)의 레이저 다이오드(1)에 발산된 빔을 평행광으로 변환하여 스크린(39)상에 맺히도록 하는 빔 정렬통(37)과, 빔 정렬통(37)을 고정하며 x, y, z 방향으로 움직이기 위한 x, y, z-스테이지(32)와, 서브 모듈(50)의 정렬과정 중 정렬된 빔을 관찰하기 위한 스크린(39) 및 적외선 카메라(40)로 구성된다. 본 발명에 다른 반도체 메모리 모듈의 빔 정렬기구 및 정렬방법에 의해 빔 정렬을 수행하는 경우에는, 고가의 고속 광통신용 반도체 레이저 모듈 제작시 불량률을 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 부품가공 정밀도의 완화를 통하여 경제성을 높일 수 있고, 부품 간의 광축 일치화에 따라 높은 광결합 효율을 얻을 수 있으므로, 레이저 모듈의 성능을 제고시킬 수 있는 유용한 발명이다.
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公开(公告)号：KR100141344B1
公开(公告)日：1998-08-17
申请号：KR1019940033881
申请日：1994-12-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H05K3/22
Abstract: 본 발명은 포토다이오드, 레이저다이오드 등 손상되기 쉬운 각종 광부품이 장착된 광송수신 모듈의 미세기판을 안전하게 후처리하는데 필요한 미세기판 후처리용 고정장치에 관한 것으로 여러개의 미세기판들이 장착될 수 있도록 가이드와 장착홈이 형성되어 있고 판스프링의 작동시 탄성한계를 벗어나지 않도록 하기 위하여 경사면이 좌우로 형성된 베이스블록과 조절손잡이의 회전력에 의해서 가동블록과 판스프링의 회동이 방지되면서 원활하게 작동되도록 하기 위한 가이드핀이 설치되며 여러개의 미세기판을 고정하기 위해 좌우로 여러개의 팔이 돌출되어 있는 판스프링과 상기 판스프링을 조절손잡이의 회전에 의해 눌러주는 스페이서와 가동블록으로 구성됨을 특징으로 하는 것으로 소량생산에 적합한 미세기판 후처리 장치로서 장착된 부� �을 판스프링을 이용하여 안전하게 세척 등 후처리할 수 있도록 하는 것이다.
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公开(公告)号：KR1019980034530A
公开(公告)日：1998-08-05
申请号：KR1019960052613
申请日：1996-11-07
IPC: G02B6/42
Abstract: 본 발명은 광 교환용 다채널 스위치 소자와 광섬유 어레이를 정렬한 후 에폭시로 고정시킨 광스위치 모듈 패키지에 관한 것이다. 종래에는 단일모드 광섬유간의 높은 광결합효율을 구현하기에는 많은 어려움이 있다.
따라서 본 발명은 광스위치 소자와 광섬유 어레이간에 있어서 수직 및 수평방향으로 동시에 미세 정렬이 가능하도록 특수하게 고안된 광섬유고정용 구조물(광섬유 하우징, 모듈 케이스)을 이용한 것으로 우선 모듈 케이스내에 임피던스 정합이 고려된 세라믹재질의 주기판위에 조립된 스위치 소자를 열전냉각소자 위에 조립된 금속 블럭위에 고정하고 V-홈 기판위에 조립된 광섬유 어레이를 광섬유 하우징에 조립 후 광섬유 하우징을 모듈 케이스의 구멍에 넣고 스위치 소자와 광섬유를 최적으로 정렬시킨 후 광섬유 하우징과 모듈케이스를 에폭시 방법을 이용하여 고정시키는 것을 특징으로 한다.
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