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公开(公告)号：KR101133562B1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：KR1020100041061
申请日：2010-04-30
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 비점수차를 갖는 렌즈를 이용하여 초점오차신호를 검출하고, 이를 이용하여 미세 형상을 측정하는 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치에 관한 것이다.
본 발명의 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치는 빛을 조사하는 광원과, 상기 광원으로부터 조사된 빛을 다점으로 통과시키는 다수의 구멍이 2차원 배열로 형성된 마스크를 포함하여 구성되어 측정대상물에 다점광을 제공하는 조명부와 ; 상기 측정대상물로부터 반사된 빛이 맺히는 결상수단와, 상기 결상수단과 측정 대상물 사이에 설치된 비점수차렌즈를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR101091111B1
公开(公告)日：2011-12-09
申请号：KR1020100020597
申请日：2010-03-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명이해결하려는과제는종래공초점현미경의광축주사과정을제거하여한번의측정데이터로초점위치를검출하고 3차원형상을복원하는광축주사과정을제거한공초점현미경을제공하는것이다. 본발명광축주사과정을제거한공초점현미경은, 복수의광검출기로구성된공초점현미경과; 상기공초점현미경을통해검출된복수의광을이용하여초점위치를검출하는처리부로구성된것을특징으로한다. 상기처리부에서초점검출방법은복수의광검출기의광축위치를설정하는단계와; 상기광축위치에서복수의광검출기를이용하여광량을검출하는단계와; 상기광검출기의설정된광축위치와광축위치에서검출된광량을이용하여측정시편의초점위치를검출하는단계로구성된것을특징으로한다. 본발명에의하면, 종래공초점현미경의광축주사과정을제거하여한번의측정데이터로초점위치를검출하므로측정시편의초점위치를검출하는시간이감소하게되고, 초점을검출하는시간이감소함으로서 3차원형상을복원하는시간이감소하게된다. 아울러, 광축주사과정을제거하여광축주사과정으로인하여공초점현미경에미치는물리적영향을최소화하여정확한측정을할 수있다.
Abstract translation: 问题本发明要解决这是消除共聚焦显微镜的传统的光学扫描过程中检测的聚焦位置到一者的测量数据，并提供共焦显微镜除去重建三维形状的光学扫描步骤。 根据本发明的没有光轴扫描过程的共聚焦显微镜包括由多个光电探测器组成的共焦显微镜; 以及处理器，用于使用通过共焦显微镜检测到的多个光来检测焦点位置。 处理部分中的焦点检测方法可以包括：设置多个光电检测器的光轴位置; 使用光轴位置处的多个光电检测器来检测光量; 并且使用在设定的光轴位置和光检测器的光轴位置处检测到的光量来检测测量样本的焦点位置。 根据本发明，由于传统的除去光轴为共焦显微镜的注射来检测聚焦位置的一个的测量数据，从而减少了检测的测定试样，三维的聚焦位置的时候，通过的时间来检测焦点减小 恢复形状的时间减少了。 另外，通过消除光轴扫描过程，光轴扫描过程可以最小化共焦显微镜上的物理效应，从而实现准确的测量。
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公开(公告)号：KR100925782B1
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020070091211
申请日：2007-09-07
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01S3/10
CPC classification number: H01S5/0687 , H01S5/005 , H01S5/0078 , H01S5/06804 , H01S5/0683
Abstract: 주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법이 개시된다. 반도체 레이저는 빔을 방출한다. 외부반사체는 공진 주파수를 가지며, 방출된 빔의 주파수와 공진 주파수가 동일한 경우에는 방출된 빔을 반도체 레이저로 피드백한다. 간섭신호 생성부는 방출된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 생성하고, 제어부는 생성된 간섭신호로부터 파장을 검출한다. 본 발명에 따른 주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법에 의하면, 반도체 레이저로부터 방출되는 빔의 주파수를 안정화시킬 수 있고 안정된 주파수를 갖는 빔을 장시간 출력가능하며, 반도체 레이저의 온도 또는 반도체 레이저로 인가되는 전류를 조절하여 각 프리 스펙트럴 범위(free spectral ranges) 별로 안정된 주파수를 갖는 빔을 선택적으로 장시간 출력가능하고 출력하는 빔의 주파수를 높은 분해능을 가지고 정확하게 산출할 수 있다.
반도체 레이저, 안정화, 주파수, 파장, 간섭신호, 빔-
公开(公告)号：KR100908638B1
公开(公告)日：2009-07-21
申请号：KR1020070055145
申请日：2007-06-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G05D1/10
Abstract: 3차원 좌표측정 장치 및 방법이 개시된다. 광생성부는 광을 생성하고 기준 광섬유는 생성된 광을 조사하며 대상 광섬유는 측정대상물에 가설되어 생성된 광을 조사한다. 광검출기는 복수로 구비되면 기준 광섬유 및 대상 광섬유에서 각각 조사된 광에 의해 생성된 간섭무늬를 검출하고, 연산부는 검출된 복수의 간섭무늬로부터 측정대상물의 3차원 위치벡터를 산출한다. 본 발명에 따르면 측정대상물의 3차원 좌표를 고분해능을 가지고 신속하게 측정할 수 있고, 측정 대상범위가 넓어 측정대상물이 큰 구조물인 경우에도 그 형상을 용이하게 측정할 수 있다. 또한, 측정대상물의 이동에 따른 광원이나 광검출기의 동반 이동이 없이 자유로이 이동하는 측정대상물의 이동 경로에 대한 3차원 좌표를 측정할 수 있으며, 따라서 광원과 광검출기를 이동시키기 위한 별도의 이송축이 필요하지 않다.
3차원 좌표, 광, 간섭무늬, 고분해능Abstract translation: 提供了一种用于测量三维坐标的设备和方法，以测量对象的移动标志，获得宽的测量范围并以高分辨率快速测量对象的三维坐标。 光发生器（410）产生光。 参考光纤照射产生的光。 物体光纤安装在待测物体中并照射光线。 多个光学检测器（441,449）检测由参考光纤（420）和物光光纤（430）中照射的光产生的干涉图案。 操作单元（450）从多个检测到的干涉图案计算待测量对象的3D位置矢量。
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公开(公告)号：KR1020050072340A
公开(公告)日：2005-07-11
申请号：KR1020040000734
申请日：2004-01-06
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B9/02019 , G01B9/02056 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 본 발명은 서로 다른 물리량인 거리(변위)와 각도 변화를 동시에 측정하기 위해 하나의 광원에서 나온 빛을 하나의 광축 상에 둠으로써 정밀 측정기기나 가공기기의 스테이지(이송대)에 의해 위치 이동되는 측정기나 가공기의 변위와 각도 변화를 아베 오차(abbe error) 없이 동시에 측정할 수 있도록 한 것이다.
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Patent Agency Ranking76.发明授权
公开(公告)号：KR100486937B1
公开(公告)日：2005-05-03
申请号：KR1020020032558
申请日：2002-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B5/28
CPC classification number: G01Q20/02 , Y10S977/87
Abstract: 본 발명은 원자간력 현미경에 관한 것으로 광섬유에서 조사되어 외팔보에서 반사되는 빛의 세기가 외팔보의 변위에 민감하게 변하도록 패브리 페로 간섭계를 구성하여 광섬유와 외팔보와의 거리를 정확하게 측정할 수 있도록 한 것이다.
즉, 본 발명은 단면이 광원의 빔과 외팔보의 반사면에 반사된 빔을 투과 또는 반사할 수 있도록 오목곡면으로 가공된 광섬유와 외팔보의 반사면으로 패브리 페로 공진기를 형성하고 공진기에서 반사되는 신호를 검출하여 외팔보 탐침의 변위를 측정하고 더 나아가서는 외팔보 탐침의 변위변화에 대응하는 보정신호(feedback)를 생성하여 압전소자를 Z축 방향으로 구동시켜 외팔보 탐침의 변위가 일정하게 유지되도록 한 것이다.-
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公开(公告)号：KR101774779B1
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：KR1020160114037
申请日：2016-09-05
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01C11/06 , G06T7/55 , G06T7/70 , H04N5/232 , H04N5/23212
Abstract: 본발명은거리측정장치에관한것이다. 본발명의거리측정장치는이미지센서및 이미지센서구동부를포함한다. 이미지센서는포토다이오드, 제1 커패시터및 제2 커패시터, 그리고포토다이오드의출력을제1 커패시터및 제2 커패시터로각각전달하는제1 전송게이트및 제2 전송게이트를포함한다. 이미지센서구동부는제1 전송게이트및 제2 전송게이트를상보적으로구동한다.
Abstract translation: 距离测量装置本发明涉及一种距离测量装置。 本发明的距离测量装置包括图像传感器和图像传感器驱动器。 图像传感器包括光电二极管，第一电容器和第二电容器以及用于将光电二极管的输出分别转移到第一电容器和第二电容器的第一传输门和第二传输门。 图像传感器驱动单元互补地驱动第一传输门和第二传输门。
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公开(公告)号：KR101733298B1
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150130372
申请日：2015-09-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은두께측정장치를제공한다. 이두께측정장치는광대역광원; 상기광대역광원의출력광을전달하는제1 광섬유; 상기제1 광섬유를통하여전달된광을기준경로로진행하는기준빔과측정경로로진행하는측정빔으로분할하는제1 빔분할기; 상기기준빔을반사시키는기준경로거울; 상기측정빔을반사시키는측정경로거울; 상기기준경로거울에서반사된상기기준빔과상기측정빔을중첩하여간섭신호를생성하는제2 빔분할기; 상기간섭신호를전달하는제2 광섬유; 상기제2 광섬유를통하여전달된간섭신호를파장에따라측정하는스펙트럼분석기; 및상기스펙트럼분석기의출력신호를처리하여상기측정경로에삽입된측정대상의두께를산출하는처리부를포함한다. 상기기준경로와상기측정경로는사각형을형성하도록배치된다.
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公开(公告)号：KR101632269B1
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：KR1020150008870
申请日：2015-01-19
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01J3/4338 , G01J2003/423
Abstract: 본발명은광주파수및 강도변조레이저흡수분광장치및 광주파수및 강도변조레이저흡수분광방법를제공한다. 이광주파수및 강도변조레이저흡수분광장치는가시광선대역의시야빔을출력하는전시야광원; 레이저빔의광주파수를변조주파수(f)로주파수변조하고, 상기레이저빔의강도를변조주파수(f)로강도변조하여프로브빔을출력하고, 상기프로브빔을제공받은측정대상이공명흡수에의하여생성하는레이저흡수신호를전기신호로변환하고, 변환된레이저흡수신호로부터상기변조주파수(f)의제1 고조파성분및 제2 고주파성분을추출하는주파수및 강도변조분광처리부; 상기시야빔 및상기프로브빔을대물렌즈에제공하는빔 처리부; 상기시야빔을상기측정대상에전시야광으로제공하고, 상기프로브빔을그 초점에집속하여상기측정대상의측정위치에제공하는대물렌즈를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种光频率和强度调制激光吸收光谱装置和光频率和强度调制激光吸收光谱法。 光频率和强度调制激光吸收光谱装置包括：用于输出可见光束的场光束的全场光源; 频率和强度调制光谱处理单元，用于以调制频率（fm）调制激光束的光频率，以调制频率（fm）调制激光束的强度，以输出探测光束，转换激光吸收信号 ，其由接收探测光束的测量对象的共振吸收而产生，并从转换的激光吸收信号中提取出调制频率（fm）的一次谐波分量和二次谐波分量; 光束处理单元，用于向物镜提供场光束和探测光束; 以及用于将场光束作为全场光提供测量对象的物镜，并将探测光束聚焦在其焦点处，以提供测量对象与聚焦的探测光束的测量位置。 本发明的装置可以精确地量化测量对象的吸光度。
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