公开(公告)号：EP2008964A2

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：EP08158155.5

申请日：2008-06-12

Applicant: Fujitsu Limited

Inventor： Tsuboi, Osamu ,  Kouma, Norinao ,  Soneda, Hiromitsu ,  Okuda, Hisao ,  Mizuno, Yoshihiro ,  Matsumoto, Tsuyoshi ,  Sawaki, Ippei

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0078 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841

Abstract: A micro-oscillation element includes a base frame, an oscillating portion, and a link portion connecting the base frame and the oscillating portion to each other. The oscillating portion has a movable functional portion, a first driving electrode connected to the movable functional portion, and a weight portion joined to the first driving electrode. The link portion defines an axis of the oscillating motion of the oscillating portion. The second driving electrode, fixed to the base frame, generates driving force for the oscillating motion in cooperation with the first driving electrode.

Abstract translation: 微振荡元件包括基架，振荡部分和将基架与振荡部分相互连接的连接部分。 振荡部具有可动功能部，与可动功能部连接的第一驱动电极和与第一驱动电极接合的配重部。 连杆部分限定摆动部分的摆动运动的轴线。 固定在基架上的第二驱动电极与第一驱动电极协作产生用于振荡运动的驱动力。

公开(公告)号：EP1542059A4

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：EP02760638

申请日：2002-08-14

Applicant: FUJITSU LTD

Inventor： MI XIAOYU ,  TSUBOI OSAMU ,  UEDA SATOSHI ,  SAWAKI IPPEI

IPC: B81B3/00 ,  B81B5/00 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/058

Abstract: A micro rocking device comprises a frame (113) and a rocking member (111) connected to the frame (113) through connecting parts (112). Each connecting part (112) has two torsion bars (112a) each having holes (112b). Therefore, the torsion bars (112a) have relatively high rigidity with respect to the frame (113) and relative low rigidity with respect to the rocking member (111).

Abstract translation: 微摇动装置包括框架（113）和通过连接部件（112）连接到框架（113）的摇摆构件（111）。 每个连接部分（112）具有两个扭杆（112a），每个扭杆具有孔（112b）。 因此，扭杆（112a）相对于框架（113）具有较高的刚性并且相对于摆动构件（111）具有较低的刚性。

公开(公告)号：EP1803160A2

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：EP05798017.9

申请日：2005-09-07

Applicant: The Regents of the University of California-San Francisco

Inventor： Acar, Cenk ,  Shkel, Andrei M.

IPC: H01L29/84 ,  H01L29/94 ,  H01L27/20

CPC classification number: H02N1/008 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/051 ,  G01C19/5719 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125

Abstract: A MEMS device which utilizes a capacitive sensor or actuator is enhancement by initially fabricating the capacitive assembly which comprises the sensor or actuator as two sets of interdigitated fingers in a noninterdigitated configuration. One of the two sets of fingers is coupled to a movable stage. The stage is moved from an initial position to a post-release position in which the two sets of interdigitated fingers are interdigitated with each other. The stage is carried by two pairs flexures which maintain the stability of motion of the stage and when in the post-release position provide stiffness which prevents deflection of the set of fingers coupled to the stage. The stage and hence the assembled sets of fingers are then locked into the post-release position.

公开(公告)号：EP1798195A2

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：EP06252295.8

申请日：2006-04-28

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Lee, Byeung-Leul

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0037 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/04

Abstract: Provided is a vertical comb-type electrode structure capable of a large linear-displacement motion. The vertical comb-electrode structure includes: a first substrate including a plurality of vertical static comb-electrodes; and a second substrate stacked on an upper surface of the first substrate, the second substrate including a plurality of vertical moving comb-electrodes, wherein the static comb-electrodes vertically move a predetermined distance toward the moving comb-electrodes so that no gaps between the static comb-electrodes and the moving comb-electrodes exist.

Abstract translation: 提供能够进行大的线性位移运动的垂直梳状电极结构。 垂直梳状电极结构包括：包括多个垂直静电梳状电极的第一衬底; 以及堆叠在所述第一基板的上表面上的第二基板，所述第二基板包括多个垂直移动梳状电极，其中所述静态梳状电极向所述移动梳状电极垂直移动预定距离，使得所述第二基板 存在静电梳电极和移动梳电极。

公开(公告)号：EP1542059A1

公开(公告)日：2005-06-15

申请号：EP02760638.3

申请日：2002-08-14

Applicant: FUJITSU LIMITED

Inventor： MI, Xiaoyu, c/o FUJITSU LIMITED ,  TSUBOI, Osamu, c/o FUJITSU LIMITED ,  UEDA, Satoshi, c/o FUJITSU LIMITED ,  SAWAKI, Ippei, c/o FUJITSU LIMITED

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/058

Abstract: A micro-oscillating element is provided with a frame (113) and a oscillating member (111) connected with the frame (113) via a connector (112). Each connector (112) includes two torsion bars (112a), each torsion bar (112a) being constructed so that the rigidity becomes relatively high toward the frame (113) and relatively low toward the oscillating member (111) by forming a plurality of holes (112b).

Abstract translation: 微振荡元件设置有框架（113）和经由连接器（112）与框架（113）连接的振动构件（111）。 每个连接器（112）包括两个扭杆（112a），每个扭杆（112a）被构造成使得刚性朝向框架（113）变得相对较高并且朝向摆动构件（111）相对较低，通过形成多个孔 （112B）。

公开(公告)号：EP1208403B1

公开(公告)日：2004-11-17

申请号：EP00962031.1

申请日：2000-08-01

Applicant: ADC Telecommunications, Inc.

Inventor： ZHANG, Nan

IPC: G02B26/02 ,  H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  G02B6/26

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2203/0136 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3544 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

Abstract: A MEMS-based optical switch (100) having improved characteristics and methods for manufacturing the same are provided. In accordance with one embodiment, an optical switch includes a single comb (122) drive actuator (104) having a deflecting beam structure (124) and a mirror (102) coupled to the actuator. The mirror is capable of being moved between an extended position interposed between waveguide channels (106) and a retracted position apart from the waveguide channels. The actuator applies a force capable of deflecting the beam structure and moving the mirror to one of the extended positions or the retracted position and the beam structure returns the mirror to the other of the extended position or the retracted position in the absence of the application of force.

公开(公告)号：KR20180059538A

公开(公告)日：2018-06-04

申请号：KR20187012304

申请日：2016-09-29

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00476 ,  B81B2201/033 ,  B81C1/00619 ,  B81C99/0095 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/056

Abstract: 간소화된멤스소자의제조공정및 멤스소자가저렴하고경량의멤스소자의제조를가능하게하도록제공된다. 상기공정은상기멤스소자내에복수의홀이나다른형상패턴을식각하고난 후, 기저웨이퍼를식각제거하는것을포함함으로써, 식각공정후에추가의웨이퍼박화공정이나다이의다이싱공정을하지않고도, 상기멤스소자는요구되는두께가되고, 개별다이는분리된다. 상기기판웨이퍼내로트렌치를식각하고멤스기초재료로트렌치를채움으로써, 더큰 힘을갖고정교하며더 높은멤스소자가제조될수 있다.

公开(公告)号：KR100788857B1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：KR1020067005697

申请日：2004-09-21

Applicant: 파나소닉 전공 주식회사

Inventor： 오카나오마사 ,  하라다히로시 ,  오기하라준 ,  후크시마히로시 ,  노게히로시 ,  스즈키유지 ,  가와노기요히코 ,  요시하라다카아키 ,  스즈무라마사히코

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  G02B6/35

CPC classification number: G02B26/0816 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00484 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/019 ,  G02B6/3516 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/355 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

Abstract: 하부 기판 위에 확실하게 고정된 구성요소와 상기 하부 기판 위에서 이동 가능한 구성요소로 이루어진 미소 기전 시스템(MEMS)을 제조하는 프로세스가 제공된다. 상기 프로세스는 상기 하부 기판과는 별개인 상부 기판을 사용한다. 상기 하부 기판의 하부 층으로부터 공통적으로 돌출하는 복수의 포스트를 상기 상부 기판 안에 형성하기 위해 상기 상부 기판의 상부 층을 선택적으로 에칭한다. 상기 포스트는 상기 하부 기판에 고정되는 고정된 구성요소와 상기 고정된 구성요소에 대해 이동될 수 있는 하나 이상의 고정된 구성요소에만 탄성적으로 지지되는 가동 구성요소를 포함한다. 상기 하부 기판은 그 상부 표면에 적어도 하나의 오목부가 형성된다. 그런 다음, 상기 고정된 구성요소가 사기 하부 기판 위에 직접 위치하고 상기 가동 구성요소가 상기 오목부의 상향으로 위치하도록 상기 상부 기판이 위에서 아래로 상기 하부 기판의 상부에 결합된다. 최종적으로, 상기 고정된 구성요소를 상기 하부 기판의 상부에 계속 고정하면서, 상기 가동 구성요소가 상기 오목부 위에서 부유적이게 되어 상기 하부 기판에 대해 이동할 수 있도록 상기 가동 구성요소를 상기 하부 층으로부터 해제하도록 상기 하부 기판의 상기 하부 층을 제거한다.
상부 기판, 하부 기판, 고정된 구성요소, 가동 구성요소, 오목부

公开(公告)号：KR1020060087576A

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：KR1020067005697

申请日：2004-09-21

Applicant: 파나소닉 전공 주식회사

Inventor： 오카나오마사 ,  하라다히로시 ,  오기하라준 ,  후크시마히로시 ,  노게히로시 ,  스즈키유지 ,  가와노기요히코 ,  요시하라다카아키 ,  스즈무라마사히코

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  G02B6/35

CPC classification number: G02B26/0816 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00484 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/019 ,  G02B6/3516 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/355 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

Abstract: A process for fabricating a micro- electro-mechanical system (MEMS) composed of fixed components fixedly supported on a lower substrate and movable components movably supported on the lower substrate. The process utilizes an upper substrate separate from the lower substrate. The upper substrate is selectively etched in its top layer to form therein a plurality of posts which project commonly from a bottom layer of the upper substrate. The posts include the fixed components to be fixed to the lower substrate and the movable components which are resiliently supported only to one or more of the fixed components to be movable relative to the fixed components. The lower substrate is formed in its top surface with at least one recess. The upper substrate is then bonded to the top of the lower substrate upside down in such a manner as to place the fixed components directly on the lower substrate and to place the movable components upwardly of the recess. Finally, the bottom layer of the upper substrate is removed to release the movable components from the bottom layer for floating the movable components above the recess and allowing them to move relative to the lower substrate, while keeping the fixed components fixed to the top of the lower substrate.

Abstract translation: 一种用于制造微机电系统（MEMS）的方法，所述微机电系统由固定地支撑在下基板上的固定部件和可移动的部件可移动地支撑在所述下基板上。 该方法利用与下基板分开的上基板。 在其顶层中选择性地蚀刻上基板，以在其中形成多个从上基板的底层共同突出的柱。 支柱包括要固定到下基板的固定部件和仅弹性地支撑到一个或多个固定部件以相对于固定部件可移动的可动部件。 下基板在其顶表面上形成有至少一个凹部。 然后将上基板以这样的方式上下连接到下基板的顶部，以将固定部件直接放置在下基板上并将可移动部件放置在凹部的上方。 最后，去除上基板的底层以从底层释放可移动部件，用于使可移动部件浮动在凹部上方并允许​​它们相对于下基板移动，同时保持固定部件固定在 下基板。

公开(公告)号：KR100312432B1

公开(公告)日：2001-11-05

申请号：KR1019990052684

申请日：1999-11-25

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이종현 ,  이명래

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B6/358 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0833

Abstract: 대용량정보교환을위한광 통신(optical communication) 시스템에있어서, 광신호의전달방향을바꾸기위한광 스위치(optical switch)의구조가개시된다. 본발명은상기광 경로변경을위하여일 측에거울면을구비하며이 거울면에평행한방향으로전·후진구동이가능한가동구조체(mobile structure)와, 상기가동구조체의전·후진구동방향과수직방향으로가동구조체의양쪽에연결되어, 래치-업기능을가질수 있도록만곡된형상(shallow arch)으로적어도한 쌍이상설치된얇은판 스프링(leaf spring), 및상기가동구조체를움직이기위한액츄에이터(actuator)로포함하며, 상기만곡된판 스프링의구동전압을낮추기위하여, 상기판 스프링의연결부위인양쪽끝에판 스프링과수직으로연결되는탄성체를중간에삽입하여축 방향에대한운동자유도를높이며, 상기탄성체로는, 상기 'I'형빔, 굴곡을가진다층스프링, 또는각도변형이가능한 'S'형상의빔이사용된다.