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    마이크로 밸브
    76.
    发明公开
    마이크로 밸브 无效
    微型阀门

    公开(公告)号：KR1020060063122A

    公开(公告)日：2006-06-12

    申请号：KR1020040102197

    申请日：2004-12-07

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 김영일 ,  강정호 ,  박남수 ,  이문철 ,  박태식

    IPC: B81B3/00

    CPC classification number: B81B3/0035 ,  B81B1/002 ,  B81B2201/054 ,  F16K99/0001

    Abstract: 작동유체의 미세유량 제어가 가능한 마이크로 밸브가 개시된다. 본 발명에 따른 마이크로 밸브는, 작동유체가 유출 또는 유입되는 유체통로; 팽창 또는 수축하면서 상기 유체통로를 선택적으로 개폐시키는 챔버; 및 상기 챔버 내부의 구동유체를 가열 또는 냉각시켜 상기 챔버를 팽창 또는 수축시키는 열전소자;를 포함한다.
    열전소자, 펠티어 효과, 미세유량 제어, 밸브, 박막

    형상기억합금 박막을 이용한 나노 유량 제어용 마이크로밸브 및 이를 이용한 페하 센서 기준전극
    77.
    发明公开
    형상기억합금 박막을 이용한 나노 유량 제어용 마이크로밸브 및 이를 이용한 페하 센서 기준전극 失效
    用于通过使用形状记忆合金薄膜和PH传感器参考电极来控制纳米流速的微型阀

    公开(公告)号：KR1020040020350A

    公开(公告)日：2004-03-09

    申请号：KR1020020051944

    申请日：2002-08-30

    Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

    Inventor： 정우철 ,  김영덕

    IPC: B81B7/00 ,  B82Y15/00

    CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B2201/054 ,  B81B2207/01 ,  B82Y15/00

    Abstract: PURPOSE: A micro valve for controlling a nano flow rate and a pH sensor reference electrode by using the same are provided to improve detecting characteristics of the pH sensor reference electrode by using a shape memory alloy thin film. CONSTITUTION: A micro valve(26) includes a silicon wafer(24), an insulation layer(13), DLC layers(14,14'), a chamber(18), carbon nano tubes(16,16'), an SMA thin film(17), and electrodes(19,19'). The silicon wafer(24) has a cavity section(11) which is opened towards an opening of a reference electrode(30). The insulation layer(13) is formed on the silicon wafer(24) and has a perforated slot having a predetermined length and a width. The chamber(18) is surrounded by the insulation layer(13) and the DLC layers(14,14'). The SMA layer(17) receives electric energy from the electrodes(19,19').

    Abstract translation: 目的：通过使用形状记忆合金薄膜，提供用于控制纳米流量的微阀和使用该微阀的pH传感器参比电极，以改善pH传感器参比电极的检测特性。 构造：微型阀（26）包括硅晶片（24），绝缘层（13），DLC层（14,14'），腔室（18），碳纳米管（16,16'），SMA 薄膜（17）和电极（19,19'）。 硅晶片（24）具有朝向参考电极（30）的开口打开的空腔部分（11）。 绝缘层（13）形成在硅晶片（24）上，并且具有预定长度和宽度的穿孔槽。 室（18）被绝缘层（13）和DLC层（14,14'）包围。 SMA层（17）从电极（19,19'）接收电能。

    다공성 물질용 밸브
    78.
    发明授权
    다공성 물질용 밸브 有权
    多孔材料阀

    公开(公告)号：KR101530935B1

    公开(公告)日：2015-06-25

    申请号：KR20150012004

    申请日：2015-01-26

    Applicant: IUCF HYU

    Inventor： SONG SI MON ,  KIM JI TAE ,  KIM GANG JUNE ,  JANG IL HOON

    IPC: B81B3/00

    CPC classification number: B81B3/0097 ,  B81B2201/054

    Abstract: 본발명은다공성물질용밸브에관한것으로, 본발명에따른다공성물질용밸브는미세공이형성된다공성페이퍼(100), 및다공성페이퍼(100)에형성되어미세공을막고, 유체(230)의이송을차단하며, 파라핀왁스(210), 계면활성제, 및광열나노입자(220)의혼합물을포함하는밸브물질(200)을포함하고, 밸브물질(200)은레이저의조사에의해서가열되어녹으면, 다공성페이퍼(100)를따라이송된다.

    Abstract translation: 本发明涉及多孔材料的阀门材料。 形成在多孔纸上的本发明的多孔材料用阀材料（200）阻挡在多孔纸（100）上的孔。 和流体（230）的传送。 阀门材料包括石蜡（210），表面活性剂和光热纳米颗粒（220）的混合物。 当材料通过激光照射被加热和熔化时，阀材料（200）随着多孔纸（100）传送。

    멤브레인을 구비하는 열공압 마이크로밸브
    79.
    发明公开
    멤브레인을 구비하는 열공압 마이크로밸브 失效
    具有膜的热塑性微孔

    公开(公告)号：KR1020070061109A

    公开(公告)日：2007-06-13

    申请号：KR1020060046522

    申请日：2006-05-24

    Applicant: 한국전자통신연구원

    Inventor： 정광효 ,  이대식 ,  장원익 ,  전치훈 ,  표현봉 ,  최창억

    IPC: B81B3/00

    CPC classification number: B81B3/0035 ,  B81B3/0018 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054

    Abstract: A thermo-pneumatic micro valve with a membrane is provided to be applied for pumping liquid in a flow control chamber in a predetermined direction through a continuous heating and cooling. A thermo-pneumatic micro valve with a membrane includes a plurality of channels, a flow control chamber(102), a pressure control chamber(107), a pair of temperature control units(105,106), and a membrane(101). The channels are connected with the flow control chamber. The flow control chamber controls the flow and an amount of the fluid in the channels. The pressure control chamber is wrapped by a side wall formed in a second substrate, a top of which is wrapped by the membrane, a bottom of which is wrapped by a temperature control substrate(108). The temperature control unit controls a temperature of a medium of the pressure control chamber. The membrane controls the flow of the fluid of the channels.

    Abstract translation: 提供具有膜的热气动微型阀，用于通过连续的加热和冷却将预定方向上的液体泵送到流量控制室中。 具有膜的热气动微型阀包括多个通道，流量控制室（102），压力控制室（107），一对温度控制单元（105,106）和膜（101）。 通道与流量控制室连接。 流量控制室控制通道中的流量和流量。 压力控制室被形成在第二衬底中的侧壁包裹，第二衬底的顶部被膜包裹，其底部被温度控制衬底（108）包裹。 温度控制单元控制压力控制室的介质的温度。 膜控制通道流体的流动。

    마이크로 밸브 제조 방법
    80.
    发明公开
    마이크로 밸브 제조 방법 失效
    微阀制造方法

    公开(公告)号：KR1020060000766A

    公开(公告)日：2006-01-06

    申请号：KR1020040049730

    申请日：2004-06-29

    Applicant: 이상훈

    Inventor： 이상훈

    IPC: B81B3/00

    CPC classification number: B81B3/0035 ,  B81B1/006 ,  B81B2201/054 ,  F16K99/0001

    Abstract: 본 발명은 마이크로 밸브 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 체내로의 약물투입 등 의학용으로 사용되는 밸브를 공기 압력 등으로 개폐함으로써 미세한 양의 유체의 흐름 및 차단을 제어하도록 하는 마이크로 밸브의 제조 방법에 관한 것이다.
    본 발명은 제조 공정 중 PDMS로 된 밸브레이어와 홀레이어에 산소 플라즈마를 조사하였을 시 간결한 공정으로 밸브레이어의 중앙부가 접착성을 띄지 않도록 하여 마스크를 사용하지 않고도 밸브를 제조할 수 있도록 한 것으로, 이를 위하여 본 발명은 PVA(폴리비닐알콜)를 니들에 묻혀 밸브레이어의 중앙 저부에 찍어 줌으로써 PDMS에 산소 플라즈마 조사하였을 시 밸브레이어의 중앙 저부와 홀레이어 간에 접착성이 발생하지 않도록 하고, 전술한 바와 같은 공정으로 마이크로 밸브를 제조하여 작동시키기 전에 밸브를 열림 상태로 하고 물을 순환시켜 줌으로써, 전기 PVA가 용해되어 배출됨으로써 마이크로 밸브를 완성할 수 있게 된다.
    이에 따라, 본 발명은 마이크로 밸브 제조 공정에서 마스크를 사용하는 까다로운 공정과, 마스크를 제거하는 공정이 불필요하게 되어 작업성을 크게 향상 시킬 수 있게 되고 제조비용을 크게 절감할 수 있게 되는 효과가 있다.
    마이크로 밸브

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