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公开(公告)号：CN102849929A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210297275.7
申请日：2009-07-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/0026 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法。其中，掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。
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公开(公告)号：CN102378925A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201080015128.5
申请日：2010-03-11
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
Inventor： C·诺伊曼
CPC classification number: G02B5/208 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/30 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , G02B5/226
Abstract: 本发明涉及一种由掺杂的石英玻璃制成的滤光器材料，这种材料在低的掺杂剂浓度下展现出了对于254nm的工作辐射尽可能高的至少80％cm-1的光谱透射率、在低于约250nm的波长范围内的尽可能低的透射率、以及在230至250nm波段内的一个截止波长λc。在此已经发现，通过进行包含一种镓化合物的掺杂实现了这个目的，该镓化合物在低于250nm的波段具有吸收带的最大值并且因此确定了这个截止波段λc。
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公开(公告)号：CN101959820A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106555.1
申请日：2009-02-26
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B19/1415 , C03B2201/075 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/81 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用EUV光辐照时的范围内，其线性热膨胀系数基本为零，并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量％，线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。
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公开(公告)号：CN101959812A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106891.6
申请日：2009-02-27
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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公开(公告)号：CN101053060A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200580037965.7
申请日：2005-09-08
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
CPC classification number: H01J65/044 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/11 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , H01J61/302
Abstract: 一种用于发射紫外线和/或真空紫外线辐射的无电极灯和过程包含由超纯和/或低缺陷石英材料形成的封壳以及设置在封壳内部区域中的紫外线和/或真空紫外线发射性材料。由超纯和/或无缺陷石英材料形成的无电极灯在使用期间使退化最小化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1252327C
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN02813494.X
申请日：2002-07-03
Applicant: 圣戈班石英有限公司
Inventor： L·莫林斯
CPC classification number: C03C13/00 , C03C3/06 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , D01F9/08 , Y10T428/29 , Y10T428/2933
Abstract: 本发明涉及二氧化硅纱线，以及由所述纱线生产的纺织物或无纺织物，所述纱线以重量计包括：30～1500ppm的氧化形式的铝；10～200ppm的氧化形式的钛；不同于Si和O的化学元素的质量之和按重量计低于5000ppm；下面元素可不存在或以很少的含量存在于其中：硼、钠、钙、钾或锂。包括这种二氧化硅纱线的织物，具有优良的耐高温性，因此在高于600℃下长时间保持其挠性。它们尤其用于要求良好的高温挠性的应用中，例如用于炉密封。
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公开(公告)号：CN1569701A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN200410038506.8
申请日：2004-04-26
Applicant: 肖特玻璃公司
CPC classification number: C03C4/0085 , C03B19/1407 , C03B19/1415 , C03B19/1469 , C03C3/06 , C03C2201/06 , C03C2201/42 , Y02P40/57
Abstract: 本发明公开了一种制造掺杂石英玻璃的玻璃体的方法。该方法涉及火焰水解，其中用于形成掺杂玻璃的前体与燃料气体一起加入到单燃烧炉(14)中。第一成形体(24)在靶(28)上形成。用此方法制得的掺杂石英玻璃具有很低的缺陷密度和宽度很小的条痕。优选地，随后将第一成形体成形为比所述第一成形体具有较大宽度和较小长度的第二成形体。从而使得掺杂石英玻璃中的条痕宽度和缺陷密度进一步降低。
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公开(公告)号：CN1524139A
公开(公告)日：2004-08-25
申请号：CN02813494.X
申请日：2002-07-03
Applicant: 圣戈班石英有限公司
Inventor： L·莫林斯
CPC classification number: C03C13/00 , C03C3/06 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , D01F9/08 , Y10T428/29 , Y10T428/2933
Abstract: 本发明涉及二氧化硅纱线，以及由所述纱线生产的纺织物或无纺织物，所述纱线以重量计包括：30～1500ppm的氧化形式的铝；10～200ppm的氧化形式的钛；不同于Si和O的化学元素的质量之和按重量计低于5000ppm；下面元素可不存在或以很少的含量存在于其中：硼、钠、钙、钾或锂。包括这种二氧化硅纱线的织物，具有优良的耐高温性，因此在高于600℃下长时间保持其挠性。它们尤其用于要求良好的高温挠性的应用中，例如用于炉密封。
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公开(公告)号：CN1105699C
公开(公告)日：2003-04-16
申请号：CN99118655.9
申请日：1999-09-02
Applicant: 吉林大学
IPC: C04B35/624 , C03B20/00
CPC classification number: C03C3/06 , C03C1/006 , C03C2201/42 , C03C2203/27
Abstract: 本发明是一种复合本体溶胶-凝胶制备方法。本发明是在常温下制备具有光学性能的高纯度二氧化硅单块材料。其制备路线简单，操作方便，流程短(2天左右)，得到的二氧化硅形状可控(如：条状、片状、柱型、圆形、球形等)，无龟裂，体积收缩小。
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公开(公告)号：CN1353823A
公开(公告)日：2002-06-12
申请号：CN00807274.4
申请日：2000-05-08
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: G02B6/00
CPC classification number: G02B6/02114 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B37/01807 , C03B37/0183 , C03B2201/58 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C13/046 , C03C2201/10 , C03C2201/28 , C03C2201/31 , C03C2201/32 , C03C2201/3417 , C03C2201/42 , C03C2201/58 , C03C2203/40 , C03C2203/44 , G02B6/021 , G02B6/02138 , G02B6/0219
Abstract: 本发明涉及用作光纤(1)的玻璃制品,其纤芯(4)掺杂了一种可以明显增加折射率的硫族元素。本发明的主题是新颖的、掺杂的二氧化硅纤芯成分,采用等离子体增强化学汽相沉积法(PECVD)将二氧化硅中一部分氧用硫、硒或碲来置换。设计这些组份,使具有高于二氧化硅的折射率、低膨胀系数、高透光性以及适当的粘度和软化点,从而使之成为用作光纤的理想候选品。
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