다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
    81.
    发明公开
    다파장을 이용한 위상 천이 간섭계 有权
    使用多波长的空间相移干涉仪

    公开(公告)号:KR1020130049551A

    公开(公告)日:2013-05-14

    申请号:KR1020110114643

    申请日:2011-11-04

    Abstract: PURPOSE: A phase transition interferometer using multi-wavelength is provided to measure the information of two phases by using two wavelengths, thereby enlarging a measurement region and measuring a structure of a size less than a nano unit rapidly. CONSTITUTION: A phase transition interferometer using multi-wavelength comprises a laser oscillating unit(100), a mode mixer unit(200), a first beam splitter(350), a Mirau object lens, a wavelength divider, a pixel rated CCD camera(500), and a PC unit(600). The laser oscillating unit oscillates a plurality of lasers with different wavelengths. The mode mixer unit makes the coherence of the wavelengths of the laser oscillated by the laser oscillating unit shorter. The first beam splitter transmits and reflects the lasers penetrated through a lens(310) and a line polarizer(320) after coming out from the mode mixer. The Mirau object lens measures a target object(360) with the lasers reflected by the first beam splitter. The wavelength divider divides the lasers penetrated through a quarter wavelength board(340) into a plurality of wavelengths.

    Abstract translation: 目的:提供使用多波长的相变干涉仪,通过使用两个波长测量两相的信息,从而扩大测量区域并快速测量尺寸小于纳米单元的结构。 构成:使用多波长的相变干涉仪包括激光振荡单元(100),模式混合器单元(200),第一分束器(350),Mirau物镜,波长分配器,像素额定CCD相机 500)和PC单元(600)。 激光振荡单元振荡具有不同波长的多个激光器。 模式混合器单元使由激光振荡单元振荡的激光的波长的相干更短。 第一分束器在从模式混合器出来之后透射并反射穿过透镜(310)和线偏振器(320)的激光器。 Mirau物镜用第一分束器反射的激光测量目标物体(360)。 波长分配器将穿过四分之一波长板(340)的激光器分成多个波长。

    공간상 유동장 측정을 통한 수중 이동체 정밀 탐색 장치, 그 탐색 방법 및 그 탐색 장치를 탑재한 항공체
    82.
    发明公开
    공간상 유동장 측정을 통한 수중 이동체 정밀 탐색 장치, 그 탐색 방법 및 그 탐색 장치를 탑재한 항공체 有权
    使用移动目标和与其相同装置的空气车辆产生的观测场的空间测量来搜索移动的水下目标的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020120138985A

    公开(公告)日:2012-12-27

    申请号:KR1020110058471

    申请日:2011-06-16

    Abstract: PURPOSE: An underwater moving body precise exploration device, an exploration method and an aerial vehicle with the exploration device are provided to measure and analyze a flow field of water stream generated by an underwater moving body on a 2D or 3D space. CONSTITUTION: A scanner(2) irradiates a laser beam of a laser light source to a specific object area in underwater. An imaging optical system(3) transmits the laser beam to an optical detection unit(4). The laser beam is reflected after irradiating the laser beam from the laser light source to the specific object area. The optical detection unit(4) is installed in a location for sensing the reflected laser beam. The optical detection unit senses and processes the reflected laser beam by an optical method. A flow field analysis unit(5) analyzes flow field data of water stream generated by an underwater moving body on a 2D or 3D space by using the reflected laser beam and optical information of an irradiated laser beam. [Reference numerals] (AA) Object area; (BB) Flow field generated by water stream

    Abstract translation: 目的:提供一种具有探测装置的水下移动体精确探测装置,探测方法和航空器,用于测量和分析水下移动体在2D或3D空间上产生的水流的流场。 构成:扫描仪(2)将激光光源的激光束照射到水下的特定物体区域。 成像光学系统(3)将激光束传输到光学检测单元(4)。 激光束在将激光束从激光光源照射到特定物体区域之后被反射。 光学检测单元(4)安装在用于感测反射的激光束的位置。 光学检测单元通过光学方法来感测和处理反射的激光束。 流场分析单元(5)通过使用反射的激光束和照射的激光束的光学信息来分析由2D或3D空间上的水下移动体产生的水流的流场数据。 (附图标记)(AA)对象区域; (BB)由水流产生的流场

    광학식 엔코더 및 이를 이용한 변위 측정 방법
    83.
    发明公开
    광학식 엔코더 및 이를 이용한 변위 측정 방법 有权
    光学编码器和位移测量方法

    公开(公告)号:KR1020120138479A

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:KR1020110057981

    申请日:2011-06-15

    CPC classification number: G01D5/34738 G01D5/34776 G01D5/38

    Abstract: PURPOSE: An optical encoder and a displacement measuring method using the same are provided to measure the absolute displacement of high resolution and to reduce size and costs with one track. CONSTITUTION: An optical encoder comprises a light emitting unit(30), a reflecting member(20), a moving member(10), and a first light receiving unit(41). The reflecting member reflects lights of the light emitting unit. The moving member is arranged to a direction across a progressive direction of the lights between the light emitting and the reflecting member and comprises a diffraction screen. The diffraction screen is arranged at a constant pitch along a moving direction. [Reference numerals] (71) First signal processing unit; (72) Second signal processing unit

    Abstract translation: 目的:提供光学编码器和使用其的位移测量方法来测量高分辨率的绝对位移,并通过一个轨道减小尺寸和成本。 构成:光学编码器包括发光单元(30),反射构件(20),移动构件(10)和第一光接收单元(41)。 反射构件反射发光单元的光。 移动构件布置成沿着发光和反射构件之间的光的逐行方向的方向,并且包括衍射屏幕。 衍射屏沿着移动方向以恒定的间距排列。 (附图标记)(71)第一信号处理单元; (72)第二信号处理单元

    비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치
    84.
    发明授权
    비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치 有权
    轮廓测量仪使用散光镜片

    公开(公告)号:KR101133562B1

    公开(公告)日:2012-04-05

    申请号:KR1020100041061

    申请日:2010-04-30

    Abstract: 본 발명은 비점수차를 갖는 렌즈를 이용하여 초점오차신호를 검출하고, 이를 이용하여 미세 형상을 측정하는 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치에 관한 것이다.
    본 발명의 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치는 빛을 조사하는 광원과, 상기 광원으로부터 조사된 빛을 다점으로 통과시키는 다수의 구멍이 2차원 배열로 형성된 마스크를 포함하여 구성되어 측정대상물에 다점광을 제공하는 조명부와 ; 상기 측정대상물로부터 반사된 빛이 맺히는 결상수단와, 상기 결상수단과 측정 대상물 사이에 설치된 비점수차렌즈를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

    광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경 및 초점검출 방법
    85.
    发明授权
    광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경 및 초점검출 방법 有权
    没有光轴扫描过程的共聚焦显微镜和焦点检测方法

    公开(公告)号:KR101091111B1

    公开(公告)日:2011-12-09

    申请号:KR1020100020597

    申请日:2010-03-09

    Abstract: 본발명이해결하려는과제는종래공초점현미경의광축주사과정을제거하여한번의측정데이터로초점위치를검출하고 3차원형상을복원하는광축주사과정을제거한공초점현미경을제공하는것이다. 본발명광축주사과정을제거한공초점현미경은, 복수의광검출기로구성된공초점현미경과; 상기공초점현미경을통해검출된복수의광을이용하여초점위치를검출하는처리부로구성된것을특징으로한다. 상기처리부에서초점검출방법은복수의광검출기의광축위치를설정하는단계와; 상기광축위치에서복수의광검출기를이용하여광량을검출하는단계와; 상기광검출기의설정된광축위치와광축위치에서검출된광량을이용하여측정시편의초점위치를검출하는단계로구성된것을특징으로한다. 본발명에의하면, 종래공초점현미경의광축주사과정을제거하여한번의측정데이터로초점위치를검출하므로측정시편의초점위치를검출하는시간이감소하게되고, 초점을검출하는시간이감소함으로서 3차원형상을복원하는시간이감소하게된다. 아울러, 광축주사과정을제거하여광축주사과정으로인하여공초점현미경에미치는물리적영향을최소화하여정확한측정을할 수있다.

    Abstract translation: 问题本发明要解决这是消除共聚焦显微镜的传统的光学扫描过程中检测的聚焦位置到一者的测量数据,并提供共焦显微镜除去重建三维形状的光学扫描步骤。 根据本发明的没有光轴扫描过程的共聚焦显微镜包括由多个光电探测器组成的共焦显微镜; 以及处理器,用于使用通过共焦显微镜检测到的多个光来检测焦点位置。 处理部分中的焦点检测方法可以包括:设置多个光电检测器的光轴位置; 使用光轴位置处的多个光电检测器来检测光量; 并且使用在设定的光轴位置和光检测器的光轴位置处检测到的光量来检测测量样本的焦点位置。 根据本发明,由于传统的除去光轴为共焦显微镜的注射来检测聚焦位置的一个的测量数据,从而减少了检测的测定试样,三维的聚焦位置的时候,通过的时间来检测焦点减小 恢复形状的时间减少了。 另外,通过消除光轴扫描过程,光轴扫描过程可以最小化共焦显微镜上的物理效应,从而实现准确的测量。

    주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법
    86.
    发明授权
    주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법 有权
    用于稳定半导体激光器频率的装置和方法

    公开(公告)号:KR100925782B1

    公开(公告)日:2009-11-11

    申请号:KR1020070091211

    申请日:2007-09-07

    Abstract: 주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법이 개시된다. 반도체 레이저는 빔을 방출한다. 외부반사체는 공진 주파수를 가지며, 방출된 빔의 주파수와 공진 주파수가 동일한 경우에는 방출된 빔을 반도체 레이저로 피드백한다. 간섭신호 생성부는 방출된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 생성하고, 제어부는 생성된 간섭신호로부터 파장을 검출한다. 본 발명에 따른 주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법에 의하면, 반도체 레이저로부터 방출되는 빔의 주파수를 안정화시킬 수 있고 안정된 주파수를 갖는 빔을 장시간 출력가능하며, 반도체 레이저의 온도 또는 반도체 레이저로 인가되는 전류를 조절하여 각 프리 스펙트럴 범위(free spectral ranges) 별로 안정된 주파수를 갖는 빔을 선택적으로 장시간 출력가능하고 출력하는 빔의 주파수를 높은 분해능을 가지고 정확하게 산출할 수 있다.
    반도체 레이저, 안정화, 주파수, 파장, 간섭신호, 빔

    3차원 좌표측정 장치 및 방법
    87.
    发明授权
    3차원 좌표측정 장치 및 방법 失效
    3차원좌표측정장치및방법

    公开(公告)号:KR100908638B1

    公开(公告)日:2009-07-21

    申请号:KR1020070055145

    申请日:2007-06-05

    Abstract: 3차원 좌표측정 장치 및 방법이 개시된다. 광생성부는 광을 생성하고 기준 광섬유는 생성된 광을 조사하며 대상 광섬유는 측정대상물에 가설되어 생성된 광을 조사한다. 광검출기는 복수로 구비되면 기준 광섬유 및 대상 광섬유에서 각각 조사된 광에 의해 생성된 간섭무늬를 검출하고, 연산부는 검출된 복수의 간섭무늬로부터 측정대상물의 3차원 위치벡터를 산출한다. 본 발명에 따르면 측정대상물의 3차원 좌표를 고분해능을 가지고 신속하게 측정할 수 있고, 측정 대상범위가 넓어 측정대상물이 큰 구조물인 경우에도 그 형상을 용이하게 측정할 수 있다. 또한, 측정대상물의 이동에 따른 광원이나 광검출기의 동반 이동이 없이 자유로이 이동하는 측정대상물의 이동 경로에 대한 3차원 좌표를 측정할 수 있으며, 따라서 광원과 광검출기를 이동시키기 위한 별도의 이송축이 필요하지 않다.
    3차원 좌표, 광, 간섭무늬, 고분해능

    Abstract translation: 提供了一种用于测量三维坐标的设备和方法,以测量对象的移动标志,获得宽的测量范围并以高分辨率快速测量对象的三维坐标。 光发生器(410)产生光。 参考光纤照射产生的光。 物体光纤安装在待测物体中并照射光线。 多个光学检测器(441,449)检测由参考光纤(420)和物光光纤(430)中照射的光产生的干涉图案。 操作单元(450)从多个检测到的干涉图案计算待测量对象的3D位置矢量。

    오염 입자 검사를 위한 차동 영상 이미징 장치 및 측정 방법
    89.
    发明公开
    오염 입자 검사를 위한 차동 영상 이미징 장치 및 측정 방법 审中-实审
    用于污染颗粒检测的差分图像成像装置和方法

    公开(公告)号:KR1020170121491A

    公开(公告)日:2017-11-02

    申请号:KR1020160049965

    申请日:2016-04-25

    Abstract: 본발명은암시야조명현미경시스템및 암시야조명현미경의동작방법을제공한다. 본발명의일 실시예에따른암시야현미경은광학박막에의한산란광을관측한다. 상기암시야현미경의동작방법은상기광학박막에제1 조명광을조사하고상기광학박막으로부터산란된광을수집하여제1 조명영상을제공하는단계; 상기광학박막에상기제1 조명광과동일한광경로를통하여제2 조명광을조사하고상기광학박막으로부터산란된광을수집하여제2 조명영상을제공하는단계; 및상기제1 조명영상과상기제2 조명영상의차이로구성된차동영상을제공하는단계를포함한다. 상기제1 조명광은상기광학박막에대하여투과광을증가시키는조건으로선택되고, 상기제2 조명광은상기광학박막에대하여반사광을증가시키는조건으로선택된다.

    Abstract translation: 本发明提供了一种暗视场照明显微镜系统和一种操作暗视场照明显微镜的方法。 根据本发明实施例的暗视野显微镜通过光学薄膜观察散射光。 该方法包括:用第一照明光照射该光学薄膜并且收集来自该光学薄膜的散射光以提供第一照明图像; 用第二照明光通过与第一照明光相同的光路照射光学薄膜,并且收集来自光学薄膜的散射光以提供第二照明图像; 并且提供由第一照明图像和第二照明图像之间的差异组成的差异视频。 选择第一照明光作为增加相对于光学薄膜的透射光的条件,并且选择第二照明光作为用于增加相对于光学薄膜的反射光的条件。

    질량분석기 전극 오염물 제거를 위한 레이저 클리닝 장치 및 방법
    90.
    发明授权
    질량분석기 전극 오염물 제거를 위한 레이저 클리닝 장치 및 방법 有权
    用于消除质谱仪中污染物的激光清洁装置和方法

    公开(公告)号:KR101764122B1

    公开(公告)日:2017-08-02

    申请号:KR1020160023694

    申请日:2016-02-26

    CPC classification number: B08B1/02 B08B7/00 H01S3/00

    Abstract: 본발명의레이저세정질량분석장치및 그세정방법에관한것이다. 이레이저세정질량분석장치는 2차원스캐닝을하는이송스테이지; 상기이송스테이지에장착된반사광학부품; 상기반사광학부품에레이저클리닝빔을조사하는레이저광원; 및그 중심에중심개구부및 상기레이저클리닝빔이진행하는레이저빔 접근개구부를구비하고상기반사광학부품에서반사된레이저클리닝빔에의하여조사되는이온추출전극격판를포함한다. 상기레이저클리닝빔은오염된이온추출전극격판에형성된레이저빔 접근개구부를통과하여상기반사광학부품에제공되고, 상기반사된레이저클리닝빔은상기이온추출전극격판를조사하여세정한다.

    Abstract translation: 激光清洁质谱仪及其清洁方法本发明涉 该激光清洁质谱仪包括用于二维扫描的转印台; 安装在传输台上的反射光学部件; 用激光清洁光束照射反射光学部件的激光光源; 具有中心开口和激光束进入开口,以激光束行进到清洁mitgeu中心和包括离子引出电极gyeokpanreul照射由激光束从清洁反射光学元件反射。 清洁激光束穿过形成在受污染的离子提取电极板被设置在所述反射光学元件的激光束进入开口,反射激光束的清洁通过照射离子引出电极gyeokpanreul清洗。

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