基板的制造方法和用于该制造方法的蒸镀装置

    公开(公告)号:CN101083210A

    公开(公告)日:2007-12-05

    申请号:CN200710108757.2

    申请日:2007-05-31

    CPC classification number: C23C16/18 C23C16/4485

    Abstract: 本发明的基板的制造方法包括以下工序:分别配置包含铜层的构成材料的铜层形成用材料(20)和基材(21),使得在铜层形成用材料(20)的垂直方向上侧,基材(21)与所述铜层形成用材料(20)相对的工序;将铜层形成用材料(20)加热至90~200℃的温度范围,且将基材(21)加热至120~450℃的温度范围,从而在基材(21)上蒸镀铜以形成所述铜层的工序。提供一种适合于半导体基板和电子基板等、用于安全且低成本地制造铜纯度高且微细的铜层的基板的制造方法和其中使用的蒸镀装置。

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