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公开(公告)号：CN115052710A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202180013121.8
申请日：2021-01-20
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明不需要使加工工作台移动的移动机构且不需要波纹罩等保护罩，且包括：加工工作台2A、加工工作台2B，对加工对象物W加以保持；加工机构3，一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工；以及移动机构5，使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动，相对于至少固定于XY方向上的加工工作台2A、加工工作台2B而通过移动机构5移动的加工机构3对加工对象物W进行加工。
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公开(公告)号：CN105690462A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510761530.2
申请日：2015-11-10
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: B26D7/00 , B26D7/2621 , B26F2210/08
Abstract: 本发明提供切断装置及切断方法。在切断装置中，与切断负荷相对应地调整所供给的冷却水的流量。在切断装置中，在心轴中具备心轴电机、旋转轴、旋转刃及冷却水通路。在与凸缘相对置的位置设置位移传感器。在心轴电机上连接对驱动电流进行测定的电流测定单元，在冷却水通路上连接对冷却水的流量进行调整的流量调整单元。将由电流测定单元测定出的电流值的测定值与预先存储的电流值的存储值进行比较。当测定值大于存储值时，将最初流量的冷却水供给到心轴。当测定值为存储值以下时，减少流量来供给冷却水。因此，能够与心轴电机的负载电流的大小相对应地调整所供给的冷却水的流量。由于将适当流量的冷却水供给到心轴，因此能够削减冷却水的使用量。
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公开(公告)号：CN110098106B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201910062312.8
申请日：2019-01-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/683 , B23Q3/12
Abstract: 本发明涉及一种凸缘更换机构、切断装置、凸缘更换及切断品制造的方法。能实现凸缘的自动更换。凸缘更换机构(120)是能够更换对刀片(22)进行保持的凸缘的凸缘更换机构(120)，其包括：外凸缘更换部(130)，能将第一外凸缘(23a)更换为具有与第一外凸缘(23a)不同的直径的第二外凸缘；以及内凸缘更换部(140)，能将第一内凸缘(20a)更换为具有与所述第一内凸缘(20a)不同的直径的第二内凸缘(20b)。
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公开(公告)号：CN110064611B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN201910047528.7
申请日：2019-01-18
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明是使加工屑不易附着于浸渍于清洗液中的清洗辊的加工装置、及制品的制造方法，所述加工装置包括：加工机构(6A)、加工机构(6B)，对被加工物(W)实施加工；以及清洗机构(8)，对实施有加工的被加工物(W)进行清洗，清洗机构(8)包括：贮液槽(81)，贮存清洗液；以及清洗辊(82)，在一部分浸渍于所述贮液槽(81)内的清洗液中的状态下旋转，并与位于贮液槽(81)的上方的实施有加工的被加工物(W)接触，并且对贮液槽(81)内供给清洗液的液供给口(83)、与从贮液槽(81)内排出清洗液的液排出口(84)以隔着清洗辊(82)的方式配置。
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公开(公告)号：CN104114320B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280070118.0
申请日：2012-12-07
Applicant: 东和株式会社
IPC: B23Q3/08
CPC classification number: B23Q3/084
Abstract: 本发明涉及固定治具的制造方法以及固定治具。本发明的目的在于提供一种能够容易地并且以低廉的制造成本制造用于对板状被切断物进行吸附保持的固定治具的固定治具的制造方法，以及用该方法所制造的固定治具。本发明是一种固定治具的制造方法，包括具有吸附槽和吸附孔的板，以及具有分别与所述吸附孔相对应的贯通路的基底，该固定治具的制造方法具有：a)成型工序(S1)，向模具的模腔供给常温固化性液状树脂，所述模具具有对应于所述板的模腔，以及与设于所述模腔底面的所述吸附孔相对应的凸部；b)抵接工序(S3)，将基底定位并抵接于所述模具的模具表面；c)固化工序(S4),使所述树脂固化；d)脱模工序(S6)，利用脱模在所述基底上形成板；e)吸附孔制作工序(S7)，通过经由贯通路对板穿孔而在板上制作吸附孔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104114320A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201280070118.0
申请日：2012-12-07
Applicant: 东和株式会社
IPC: B23Q3/08
CPC classification number: B23Q3/084
Abstract: 本发明涉及固定治具的制造方法以及固定治具。本发明的目的在于提供一种能够容易地并且以低廉的制造成本制造用于对板状被切断物进行吸附保持的固定治具的固定治具的制造方法，以及用该方法所制造的固定治具。本发明是一种固定治具的制造方法，包括具有吸附槽和吸附孔的板，以及具有分别与所述吸附孔相对应的贯通路的基底，该固定治具的制造方法具有：a)成型工序(S1)，向模具的模腔供给常温固化性液状树脂，所述模具具有对应于所述板的模腔，以及与设于所述模腔底面的所述吸附孔相对应的凸部；b)抵接工序(S3)，将基底定位并抵接于所述模具的模具表面；c)固化工序(S4)，使所述树脂固化；d)脱模工序(S6)，利用脱模在所述基底上形成板；e)吸附孔制作工序(S7)，通过经由贯通路对板穿孔而在板上制作吸附孔。
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公开(公告)号：CN115052713A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202180012619.2
申请日：2021-01-19
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明不需要波纹罩等保护罩并且提高加工屑的回收率，且包括：加工工作台2A、加工工作台2B，至少固定于水平面上的XY方向上，对加工对象物W加以保持；加工机构3，一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工；移动机构5，使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动；以及加工屑收容部9，设置于加工工作台2A、加工工作台2B的下方，收容通过利用加工机构3的加工而产生的加工屑S。
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公开(公告)号：CN105742245B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201510726801.0
申请日：2015-10-30
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/782
Abstract: 本发明公开一种切断装置及切断方法。在该装置中，使用一个位移传感器来测定旋转刃的轴向的位移量和径向的位移量。在该装置中，在心轴(1)设置凸缘(6)，该凸缘具有从两侧夹着旋转刃(4)以进行固定的锥形部(5)。在心轴主体(2)中，在与凸缘的锥形部相对置的位置设置位移传感器(7)。通过测定从位移传感器的前端部到凸缘的锥形部的距离，从而能够测定轴向的位移量和径向的位移量。能够对因热膨胀而伸缩的旋转轴(3)的位移量进行校正，以使旋转刃的中心线的位置准确吻合于封装基板的切断线的位置来进行切断。通过捕捉旋转刃的振动用以作为从位移传感器的前端部到锥形部的距离发生位移的位移量，从而能够掌握旋转刃的振动的振幅大小。
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公开(公告)号：CN105364972B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510408920.1
申请日：2015-07-13
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在产品变小的情况下，产品也不会从吸附夹具偏移或飞出，从而能够稳定地对产品进行单片化的切割装置。在切割装置中，将吸附夹具安装在基台的上面而构成切割用工作台。在吸附夹具设置用于吸附已密封基板的各区域或单片化了的产品的吸附孔。通过减小吸附夹具厚度来缩短吸附孔长度。将具有多个贯通孔的蜂窝板及具有多个贯通孔的蜂窝板层叠并设置在基台。切割用工作台中的抽吸通道，使吸附孔、贯通孔、贯通孔及空间依次连通。通过将蜂窝板设置在基台，能够使基台的配管阻力变得非常小。由此，能够减小切割用工作台的配管阻力，因此能够增大用于吸附单片化了的产品的吸附力。据此，能够防止产品从吸附夹具偏移或飞出。
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公开(公告)号：CN105364972A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510408920.1
申请日：2015-07-13
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在产品变小的情况下，产品也不会从吸附夹具偏移或飞出，从而能够稳定地对产品进行单片化的切割装置。在切割装置中，将吸附夹具安装在基台的上面而构成切割用工作台。在吸附夹具设置用于吸附已密封基板的各区域或单片化了的产品的吸附孔。通过减小吸附夹具厚度来缩短吸附孔长度。将具有多个贯通孔的蜂窝板及具有多个贯通孔的蜂窝板层叠并设置在基台。切割用工作台中的抽吸通道，使吸附孔、贯通孔、贯通孔及空间依次连通。通过将蜂窝板设置在基台，能够使基台的配管阻力变得非常小。由此，能够减小切割用工作台的配管阻力，因此能够增大用于吸附单片化了的产品的吸附力。据此，能够防止产品从吸附夹具偏移或飞出。
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