公开(公告)号：CN113939892A

公开(公告)日：2022-01-14

申请号：CN202080042737.3

申请日：2020-05-20

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： H.弗里茨 ,  A.G.梅杰 ,  D.蔡德勒 ,  A.托马 ,  J.雅各比

IPC: H01J37/147

Abstract: 本发明说明揭露具有多束粒子源的粒子束系统，其配置成产生多个带电单独粒子束，并且具有用于在方位角方向上偏转单独粒子束的磁多偏转器阵列。磁多偏转器阵列在此包括具有多个开口的磁导多孔径板，其排列在粒子束的光束路径中，使得单独粒子束实质地穿过多孔径板的开口。该磁多偏转器阵列额外包括具有单独开口的磁导孔径板，其排列在粒子束的光路中，使得单独粒子束实质地穿过第一孔径板。此外，多孔径板和第一孔径板彼此连接，使得两个板之间形成一空腔。用于产生磁场的第一线圈排列在第一孔径板和多孔径板之间的空腔中，使得多个单独粒子束实质地穿过线圈。

公开(公告)号：CN115244645A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202180018794.2

申请日：2021-03-09

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： Y.萨罗夫 ,  U.比尔 ,  H.弗里茨 ,  D.蔡德勒 ,  G.库里杰 ,  R.伦科 ,  A.G.梅杰 ,  C.里德塞尔

IPC: H01J37/147

Abstract: 提供了多射束带电粒子显微镜的多射束光栅单元——诸如多射束生成单元、多射束偏转单元——的某些改进。改进包括多射束光栅单元的设计、制造和调整，包括特定形状和尺寸的孔。改进能够以更高的精度生成多射束生成和多射束偏转或消像散。这些改进与多射束带电粒子显微镜的常规应用相关，例如其中需要高可靠性和高再现性以及低机器对机器的偏差的半导体检验和审查中。

公开(公告)号：CN113939892B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202080042737.3

申请日：2020-05-20

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： H.弗里茨 ,  A.G.梅杰 ,  D.蔡德勒 ,  A.托马 ,  J.雅各比

IPC: H01J37/147

Abstract: 本发明说明揭露具有多束粒子源的粒子束系统，其配置成产生多个带电单独粒子束，并且具有用于在方位角方向上偏转单独粒子束的磁多偏转器阵列。磁多偏转器阵列在此包括具有多个开口的磁导多孔径板，其排列在粒子束的光束路径中，使得单独粒子束实质地穿过多孔径板的开口。该磁多偏转器阵列额外包括具有单独开口的磁导孔径板，其排列在粒子束的光路中，使得单独粒子束实质地穿过第一孔径板。此外，多孔径板和第一孔径板彼此连接，使得两个板之间形成一空腔。用于产生磁场的第一线圈排列在第一孔径板和多孔径板之间的空腔中，使得多个单独粒子束实质地穿过线圈。

公开(公告)号：CN115298791A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202180022773.8

申请日：2021-03-11

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.普雷克萨斯 ,  H.弗里茨 ,  A.G.梅杰

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J37/12

Abstract: 本发明揭示一种粒子束系统，其包括下列：多束粒子源，其设置成产生多重带电个别粒子束(3)；多极透镜序列(600)，其具有至少一个第一多极透镜阵列(601)和具有至少一个第二多极透镜阵列(602)，其中该第一多极透镜阵列(601)包括用于产生第一四极场(Q1)的多重个别可调第一多极透镜，并布置在粒子的光束路径中，使得所述个别粒子束(3)基本上穿过该第一多极透镜阵列(601)，且其中该第二多极透镜阵列(602)包括用于产生第二四极场(Q2)的多重个别可调第二多极透镜，并布置在所述粒子的光束路径中，如此穿过该第一多极透镜阵列(601)的所述个别粒子束(3)基本上也穿过该第二多极透镜阵列(602)；以及控制器(10)，其设置成控制该多极透镜序列的所述多极透镜，使得同一个别粒子束(3)在各种情况下通过的该多极透镜序列的相关多极透镜群组，对穿过其中的各别个别粒子束(3)共同整体施加个别可调与聚焦效果。