公开(公告)号：CN117897793A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202280055600.0

申请日：2022-05-25

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： Y·萨罗夫 ,  D·蔡德勒 ,  T·施密德 ,  G·库里杰 ,  M·凯斯特纳 ,  U·比尔 ,  W·辛格

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12

Abstract: 提供一种用于多射束系统的多射束产生单元，其具有用于多个一次带电粒子小射束中的每一者的较大个别聚焦功率。该多射束产生单元包含主动端末多孔板。该端末多孔板可用于较大的聚焦范围，其用于多个一次带电粒子小射束中的每个小射束的个别消像散焦点调节。

公开(公告)号：CN119497902A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202380052228.2

申请日：2023-06-21

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D·蔡德勒 ,  T·施密德 ,  W·辛格

IPC: H01J37/153 ,  H01J3/16

Abstract: 提供了一种具有减小场曲率的多束带电粒子系统(1)。该多束带电粒子系统包含带电粒子反射镜元件(700)，用于补偿带电粒子成像元件(102、103.1、103.2)的场曲。该带电粒子反射镜元件可配置成在使用期间产生用于反射一次带电粒子(3.1‑3.3)的弯曲形状的虚拟反射面(1321)。本发明能够适用于对射束均匀性和通过量有较高要求的多束带电粒子系统的应用。