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发明公开
成膜装置以及用于该成膜装置的材料供给装置审中-实审

公开(公告)号：CN119343475A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202380028002.9

申请日：2023-05-18

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 长谷川友和 , 渡边健 , 门肋亘成 , 庄司善纪 , 青山贵昭 , 宫内充祐 , 山口刚

IPC: C23C14/24

Abstract: 为了相对于炉床内衬的收纳体积供给适当的量的材料，成膜装置具有：成膜腔室(2)，其至少设置有成膜材料(M)和被成膜物(S)，并且该成膜腔室(2)能够设定为规定的成膜气氛；炉床内衬(23)，其设置于所述成膜腔室的内部，并收纳所述成膜材料；加热源(24)，其设置于所述成膜腔室的内部，并对收纳于所述炉床内衬的成膜材料进行加热；材料供给器(3)，其向所述炉床内衬供给所述成膜材料；以及高度测定器(4)，其测定收纳于所述炉床内衬的成膜材料的溶融面的高度；以及控制器(6)，其根据由所述高度测定器测定出的溶融面的高度来运算应供给的成膜材料的质量，并对所述材料供给器进行控制以将该运算出的质量的成膜材料供给至所述炉床内衬。

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