公开(公告)号：CN116419986A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202280005853.7

申请日：2022-02-04

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 大泷芳幸 ,  松平学幸 ,  山口刚 ,  宫内充祐

IPC: C23C14/54

Abstract: 成膜控制装置具有：光源(42)，其对配置于旋转体(25)的基板(S)照射光；受光部(46)，对于从所述光源照射的光，该受光部接收透过形成在所述基板上的薄膜的层的透过光或者被形成在所述基板上的薄膜的层反射的反射光；位置信息取得部(48)，其取得与所述旋转体的圆周方向的位置对应的位置信息；以及控制部(4)，其对成膜条件进行控制，所述控制部包含：时机控制部，其根据由所述位置信息取得部取得的所述旋转体的圆周方向的位置信息来确定作为目标的基板的位置，对接收从所述光源向该确定的位置的基板照射的光的透过光或者反射光的时机进行控制；膜厚判定部，其根据由所述受光部接收到的透过光或者反射光，计算由多个层构成的薄膜的各层的膜厚，判定所述各层的膜厚与构成具有期望的分光特性的薄膜的各层的目标膜厚的膜厚差；以及成膜条件设定部，其在所述各层的膜厚相对于所述目标膜厚存在规定值以上的膜厚差的情况下，对针对该层的成膜条件进行校正以使得存在该膜厚差的层的膜厚成为该层的目标膜厚，然后设定所述成膜条件。

公开(公告)号：CN119343475A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202380028002.9

申请日：2023-05-18

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 长谷川友和 ,  渡边健 ,  门肋亘成 ,  庄司善纪 ,  青山贵昭 ,  宫内充祐 ,  山口刚

IPC: C23C14/24

Abstract: 为了相对于炉床内衬的收纳体积供给适当的量的材料，成膜装置具有：成膜腔室(2)，其至少设置有成膜材料(M)和被成膜物(S)，并且该成膜腔室(2)能够设定为规定的成膜气氛；炉床内衬(23)，其设置于所述成膜腔室的内部，并收纳所述成膜材料；加热源(24)，其设置于所述成膜腔室的内部，并对收纳于所述炉床内衬的成膜材料进行加热；材料供给器(3)，其向所述炉床内衬供给所述成膜材料；以及高度测定器(4)，其测定收纳于所述炉床内衬的成膜材料的溶融面的高度；以及控制器(6)，其根据由所述高度测定器测定出的溶融面的高度来运算应供给的成膜材料的质量，并对所述材料供给器进行控制以将该运算出的质量的成膜材料供给至所述炉床内衬。