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公开(公告)号：CN105103263B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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公开(公告)号：CN105830193A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201480046186.2
申请日：2014-03-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/006
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其利用需要施加电压的检测器，而得到放置在气体气氛中的样本的显微镜像。具备：气体导入装置，其用于向样本释放气体；气体控制装置，其在该气体导入装置的气体释放过程中，控制上述气体导入装置的气体释放量使得设置有检测器(49～51、55)的空间内的真空度持续保持为不满设定值。
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公开(公告)号：CN105830193B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201480046186.2
申请日：2014-03-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/006
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其利用需要施加电压的检测器，而得到放置在气体气氛中的样本的显微镜像。具备：气体导入装置，其用于向样本释放气体；气体控制装置，其在该气体导入装置的气体释放过程中，控制上述气体导入装置的气体释放量使得设置有检测器(49～51、55)的空间内的真空度持续保持为不满设定值。
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公开(公告)号：CN105103263A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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