铜的高速填充方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106574390A

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201480078098.0

    申请日:2014-04-25

    CPC classification number: C25D7/12 C25D3/38 C25D5/02 C25D5/08 C25D5/34

    Abstract: 本发明提供一种改变以往的铜镀敷温度、浓度、电流密度等或其他条件,加快对基板上形成的孔或沟进行填充的速度的技术。本发明提供一种以铜镀敷高速填充基板上形成的孔或沟的方法,其特征在于,将形成有孔或沟的基板浸渍于含铜离子、硫酸离子及卤化物离子且为30~70℃的酸性铜镀敷液中,以电流密度3A/dm2以上,使用不溶性电极作为阳极进行镀敷。

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