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公开(公告)号：CN107039226B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201710020518.5
申请日：2017-01-12
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: H01J37/06 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/22 , G03F7/20
CPC classification number: H01J37/3177 , H01J37/045 , H01J37/065 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/06308 , H01J2237/0835 , H01J2237/31754
Abstract: 本发明提供一种曝光装置。一种曝光装置(100)，其具有形成试样上的照射位置不同的多个带电粒子束的形成部(122)，形成部(122)具有：粒子源(20)，其从在长边方向和与该长边方向垂直的短边方向上具有不同宽度的放射区域(21)放射带电粒子束；孔径阵列元件(60)，其在长边方向和与该长边方向垂直的短边方向上具有不同宽度的被照明区域(61)上配置有多个开口(62)；照明透镜(30、50)，其设置于粒子源(20)与孔径阵列元件(60)之间；以及束截面变形元件(40)，其设置于粒子源(20)与孔径阵列元件(60)之间，通过磁场或电场的作用使带电粒子束的截面形状变形成各向异性的形状。
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公开(公告)号：CN107039226A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710020518.5
申请日：2017-01-12
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: H01J37/06 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/22 , G03F7/20
CPC classification number: H01J37/3177 , H01J37/045 , H01J37/065 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/06308 , H01J2237/0835 , H01J2237/31754 , H01J37/226 , G03F7/70808 , H01J37/06 , H01J37/12 , H01J37/1478 , H01J2237/063 , H01J2237/12
Abstract: 本发明提供一种曝光装置。一种曝光装置(100)，其具有形成试样上的照射位置不同的多个带电粒子束的形成部(122)，形成部(122)具有：粒子源(20)，其从在长边方向和与该长边方向垂直的短边方向上具有不同宽度的放射区域(21)放射带电粒子束；孔径阵列元件(60)，其在长边方向和与该长边方向垂直的短边方向上具有不同宽度的被照明区域(61)上配置有多个开口(62)；照明透镜(30、50)，其设置于粒子源(20)与孔径阵列元件(60)之间；以及束截面变形元件(40)，其设置于粒子源(20)与孔径阵列元件(60)之间，通过磁场或电场的作用使带电粒子束的截面形状变形成各向异性的形状。
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公开(公告)号：CN107359102A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710159377.5
申请日：2017-03-17
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: H01J37/30 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/241 , H01J37/3177 , H01J2237/141 , H01J2237/1504 , H01J2237/152 , H01J2237/1526 , H01J2237/20285 , H01J37/3007 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明提供多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置，其中，每个柱的带电粒子束的特性的差异较小。在具有多个产生带电粒子束的柱部(122)的多柱式带电粒子束曝光装置中，柱部(122)具有：磁轭(53)，其由磁性体构成，绕柱的光轴产生规定的强度分布的磁场；和线圈部(52)，其卷绕于该磁轭(53)。该线圈部(52)由分割出的多个绕组(52a、52b)构成，且分别被不同的电源(A1～A3)驱动。
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