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公开(公告)号：CN104285272A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201280070267.7
申请日：2012-12-19
Applicant: 安特卫普大学
CPC classification number: H01J37/04 , G01N23/2251 , G01N2223/101 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/1504 , H01J2237/24557 , H01J2237/24564 , H01J2237/2614
Abstract: 一种用于向沿带电粒子束发生装置中的轴(105)传播的带电粒子波施加轨道角动量的设备(100)，所述设备包括：包括绕所述轴(105)安排的多个在角度上间隔开的多个电导体(112)的第一导电元件(110)；第二导电元件(120)，其中所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)沿所述轴(105)的方向间隔开，并且其中所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)适于透射沿所述轴(105)传播的带电粒子波；以及用于在所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)上提供电势差的连接装置(130)。所述连接装置(130)适于向所述多个在角度上间隔开的电导体(112)提供电势，以在所述带电粒子波沿所述轴(105)传送时感应出所述带电粒子波的相位的角梯度，其中所述电势沿所述轴(105)的投影根据相对于所述轴(105)的角位置而变化。
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公开(公告)号：CN102484026B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201080038384.6
申请日：2010-08-28
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/04
CPC classification number: H01J3/26 , H01J37/1472 , H01J37/1477 , H01J37/3026 , H01J2237/1504 , H01J2237/1518 , H01J2237/1526 , H01J2237/30416 , H01J2237/3045 , H01J2237/30461
Abstract: 一种引导带电粒子束的改进方法通过更改一个或更多偏转器信号来补偿带电粒子行经所述系统所需的时间。根据本发明的一个实施例，在数字到模拟(D/A)转换之前对扫描模式应用数字滤波器，以便减小或消除可能由TOF误差引起的过冲效应。在其他实施例中，模拟滤波器或者对具有较低带宽的信号放大器的使用也可以被用来补偿TOF误差。通过更改扫描模式，可以显著减小或消除过冲效应。
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公开(公告)号：CN104285272B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280070267.7
申请日：2012-12-19
Applicant: 安特卫普大学
CPC classification number: H01J37/04 , G01N23/2251 , G01N2223/101 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/1504 , H01J2237/24557 , H01J2237/24564 , H01J2237/2614
Abstract: 一种用于向沿带电粒子束发生装置中的轴(105)传播的带电粒子波施加轨道角动量的设备(100)，所述设备包括：包括绕所述轴(105)安排的多个在角度上间隔开的多个电导体(112)的第一导电元件(110)；第二导电元件(120)，其中所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)沿所述轴(105)的方向间隔开，并且其中所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)适于透射沿所述轴(105)传播的带电粒子波；以及用于在所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)上提供电势差的连接装置(130)。所述连接装置(130)适于向所述多个在角度上间隔开的电导体(112)提供电势，以在所述带电粒子波沿所述轴(105)传送时感应出所述带电粒子波的相位的角梯度，其中所述电势沿所述轴(105)的投影根据相对于所述轴(105)的角位置而变化。
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公开(公告)号：CN102484026A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080038384.6
申请日：2010-08-28
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/04
CPC classification number: H01J3/26 , H01J37/1472 , H01J37/1477 , H01J37/3026 , H01J2237/1504 , H01J2237/1518 , H01J2237/1526 , H01J2237/30416 , H01J2237/3045 , H01J2237/30461
Abstract: 一种引导带电粒子束的改进方法通过更改一个或更多偏转器信号来补偿带电粒子行经所述系统所需的时间。根据本发明的一个实施例，在数字到模拟(D/A)转换之前对扫描模式应用数字滤波器，以便减小或消除可能由TOF误差引起的过冲效应。在其他实施例中，模拟滤波器或者对具有较低带宽的信号放大器的使用也可以被用来补偿TOF误差。通过更改扫描模式，可以显著减小或消除过冲效应。
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公开(公告)号：CN104922803B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201510032773.2
申请日：2015-01-22
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 岩永慎二
CPC classification number: H01J37/304 , A61N5/1043 , A61N5/1048 , A61N5/1077 , A61N2005/1087 , A61N2005/1095 , G21K5/04 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J2237/1504 , H01J2237/152 , H01J2237/30472 , H05H7/12 , H05H13/04 , H05H2007/004 , H05H2007/122
Abstract: 本发明提供一种带电粒子线治疗装置及带电粒子线的射程调整方法，其目的在于缩短切换照射带电粒子线的层时的切换时间且缩短带电粒子线治疗的时间。控制部(130)在切换照射带电粒子线的被照射体的层时通过控制降能器(18)来降低带电粒子线的能量，并且提高在电磁铁电源(27)与电磁铁(25)之间串联连接的半导体(50)的电阻。由于半导体(50)能够在减少流向电磁铁(25)的电流时在必要时刻提高电阻来加大负载时间常数，因此能够缩短降低电流所需的时间。即，能够缩短切换照射带电粒子线的层时的切换时间，从而缩短带电粒子线治疗的时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107424892A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201610860614.6
申请日：2016-09-28
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/147 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1472 , C23C14/48 , C23C14/54 , G21K5/00 , H01J37/302 , H01J37/3171 , H01J2237/1504 , H01J2237/30472 , H01J2237/31701 , H01J37/147 , H01J37/3177 , H01J2237/30
Abstract: 本发明涉及束电流密度分布调整装置和离子注入机。提供了一种束电流密度分布调整装置。该装置包括在带状束的长侧方向上的构件对，所述构件对通过使用电场或磁场来调整在带状束的长侧方向上的束电流密度分布，所述构件对中的每一个构件对的构件被布置成使得带状束在所述构件中间。在带状束的长侧方向上彼此相邻的构件对的相对表面部分地不平行于带状束的行进方向。
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公开(公告)号：CN107123584A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710041635.X
申请日：2017-01-20
Applicant: FEI 公司
CPC classification number: H01J37/045 , H01J37/147 , H01J37/1474 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0432 , H01J2237/0435 , H01J2237/1504 , H01J2237/2446 , H01J2237/24495 , H01J2237/24585 , H01J2237/2802 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/266
Abstract: 一种使用带电粒子显微镜的方法，包括：—样本保持器，其用于保持样本；—源，其用于产生带电粒子的照射射束；—照明器，其用于引导所述射束从而照射样本；—检测器，其用于响应于所述照射而检测从样本放射的出射辐射通量，另外包括以下步骤：—在所述照明器中，提供包括孔径阵列的孔径板；—使用偏转装置来跨所述阵列扫描所述射束，从而交替地使射束中断和透射以便产生一串射束脉冲；—用所述脉冲串照射所述样本，并且使用所述检测器来执行伴随的出射辐射的位置分辨（时间辨别）检测。
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公开(公告)号：CN107359102A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710159377.5
申请日：2017-03-17
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: H01J37/30 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/241 , H01J37/3177 , H01J2237/141 , H01J2237/1504 , H01J2237/152 , H01J2237/1526 , H01J2237/20285 , H01J37/3007 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明提供多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置，其中，每个柱的带电粒子束的特性的差异较小。在具有多个产生带电粒子束的柱部(122)的多柱式带电粒子束曝光装置中，柱部(122)具有：磁轭(53)，其由磁性体构成，绕柱的光轴产生规定的强度分布的磁场；和线圈部(52)，其卷绕于该磁轭(53)。该线圈部(52)由分割出的多个绕组(52a、52b)构成，且分别被不同的电源(A1～A3)驱动。
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公开(公告)号：CN104922803A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510032773.2
申请日：2015-01-22
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 岩永慎二
CPC classification number: H01J37/304 , A61N5/1043 , A61N5/1048 , A61N5/1077 , A61N2005/1087 , A61N2005/1095 , G21K5/04 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J2237/1504 , H01J2237/152 , H01J2237/30472 , H05H7/12 , H05H13/04 , H05H2007/004 , H05H2007/122
Abstract: 本发明提供一种带电粒子线治疗装置及带电粒子线的射程调整方法，其目的在于缩短切换照射带电粒子线的层时的切换时间且缩短带电粒子线治疗的时间。控制部(130)在切换照射带电粒子线的被照射体的层时通过控制降能器(18)来降低带电粒子线的能量，并且提高在电磁铁电源(27)与电磁铁(25)之间串联连接的半导体(50)的电阻。由于半导体(50)能够在减少流向电磁铁(25)的电流时在必要时刻提高电阻来加大负载时间常数，因此能够缩短降低电流所需的时间。即，能够缩短切换照射带电粒子线的层时的切换时间，从而缩短带电粒子线治疗的时间。
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公开(公告)号：CN104254900A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201380022012.8
申请日：2013-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22 , H01J37/147 , H01J37/24 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J2237/1504 , H01J2237/216 , H01J2237/2485 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明提供一种能够支援具有三维观察功能的带电粒子束装置的调整作业并降低调整值输入所需要的人力资源工时的带电粒子束调整支援装置。调整值获取部根据基于从带电粒子束调整者终端输入的信息而生成的二维调整值信息、和二维一三维调整值对应信息，来生成最佳的三维调整值信息，并发送给带电粒子束装置，进行设定。因此，带电粒子束调整者能降低三维观察所需要的调整作业，能容易地进行三维图像的观察作业。
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