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公开(公告)号：KR102046226B1
公开(公告)日：2019-11-18
申请号：KR1020170166360
申请日：2017-12-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 스즈키아유타 , 야마모토고우스케 , 마츠자키가즈요시 , 가가야무네히토 , 모리야츠요시 , 미츠나리다다시 , 구보아츠시
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , C23C16/455
