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公开(公告)号：KR200484875Y1
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：KR2020120006034
申请日：2012-07-10
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: B01D46/52 , B01D46/42 , H01L21/677
Abstract: 본고안은, 도포처리를행하는복수개의처리유닛에청정한기체를균일하게유하시킬수 있는공통의필터엘리먼트를포함하는공기청정용필터장치를제공하는것을목적으로한다. 기판에액 처리를실시하는액 처리컵을복수개 구비하는액 처리유닛의상부로부터아래쪽에위치하는적어도상기복수개의처리컵의면에대하여균일한기류를유하시키기위한필터엘리먼트를포함하는공기청정용필터장치로서, 여과기재를플리츠가공하고, 보형부재에의해플리츠형상이유지되는필터엘리먼트(10)와, 적어도상기여과기재의상면의여과전기체가통과하는여과영역에피착되는합성수지제의부직포시트(52)와, 부직포시트의상측을눌러고정하는라스망부재(53)를구비한다.
Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种空气净化过滤装置，其包括能够将清洁气体均匀地输送到多个处理单元以执行涂覆处理的通用过滤元件。 包含用于液体处理杯过滤元件，用于从具有多个液体处理单元的顶部的基底相对于向下流动的均匀气流的表面上的至少所述多个治疗杯，其位于所述清洁过滤器的底部的执行溶液处理空气 一种由合成树脂制成的无纺织物片（52），该无纺织物片至少附着在过滤材料上表面上的过滤体所通过的过滤区域和无纺织物片 以及锉刀构件53，用于压迫和固定无纺布片的上侧。
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公开(公告)号：KR1020170015210A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020160095918
申请日：2016-07-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/324 , H01L21/67 , H01L21/60 , H01L21/02 , G03F7/20
Abstract: [과제] 웨이퍼를가열처리함에있어서, 웨이퍼의처리에의해생기는승화물을분해하여, 승화물이배기로에부착되는것을억제하는것. 또한, 광원부로부터의광에의해웨이퍼(W)에대하여가열등의처리를행함에있어서, 광투과창에부착된승화물을제거하는것. [해결수단] 처리용기(2)의내면에열촉매층(5)을형성하여, 이열촉매층(5)을가열하고있다. 이때문에웨이퍼(W) 상의도포막으로부터승화하여처리용기(2) 내에받아들여진승화물이열촉매층(5) 근방에도달했을때에, 열촉매층(5)의열활성화에의해분해제거된다. 또한, 광투과창(42)에부착된승화물을제거함에있어서는, 표면에열촉매층(5)을형성한클리닝용기판(6)을처리용기(2) 내에반입하여, 열촉매층(5)을광투과창(42)에가깝게한 후, 클리닝용기판(6)을가열함으로써, 광투과창(42)의표면에부착된승화물(9)을제거한다.
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公开(公告)号：KR2020130001222U
公开(公告)日：2013-02-25
申请号：KR2020120006034
申请日：2012-07-10
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: B01D46/52 , B01D46/42 , H01L21/677
CPC classification number: B01D46/522 , B01D46/4227 , H01L21/67739
Abstract: 본 고안은, 도포 처리를 행하는 복수 개의 처리 유닛에 청정한 기체를 균일하게 유하시킬 수 있는 공통의 필터 엘리먼트를 포함하는 공기 청정용 필터 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
기판에 액 처리를 실시하는 액 처리컵을 복수 개 구비하는 액 처리 유닛의 상부로부터 아래쪽에 위치하는 적어도 상기 복수 개의 처리컵의 면에 대하여 균일한 기류를 유하시키기 위한 필터 엘리먼트를 포함하는 공기 청정용 필터 장치로서, 여과 기재를 플리츠 가공하고, 보형 부재에 의해 플리츠 형상이 유지되는 필터 엘리먼트(10)와, 적어도 상기 여과 기재의 상면의 여과전 기체가 통과하는 여과 영역에 피착되는 합성수지제의 부직포 시트(52)와, 부직포 시트의 상측을 눌러 고정하는 라스망 부재(53)를 구비한다.
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