公开(公告)号：KR1020130101056A

公开(公告)日：2013-09-12

申请号：KR1020137009396

申请日：2011-10-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야츠요시 ,  가타오카겐이치 ,  센자키시게루 ,  시마누키요우이치 ,  가노가즈히코

IPC: C02F1/58 ,  B01J3/00 ,  C02F1/74 ,  B01J3/02

CPC classification number: C02F1/02 ,  B01J3/006 ,  B01J19/006 ,  B01J19/0066 ,  B01J19/121 ,  B01J19/1812 ,  B01J19/2415 ,  B01J2219/00153 ,  B01J2219/0877 ,  C02F1/30 ,  C02F1/441 ,  C02F11/086 ,  C02F2101/30 ,  C02F2301/066 ,  C02F2303/08

Abstract: 본 발명은, 피처리수에 포함되는 유기물을 분해함으로써, 후류의 여과 장치에서의 부하를 경감시킬 수 있고, 게다가 배관 등의 부식을 회피할 수 있는 수처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이러한 수처리 장치(12)는, 유기물을 함유하는 피처리수(15a)를 소정의 압력으로 가압하는 대구경 유로(22), 소구경 유로(23) 및 가압 펌프(24)와, 가압된 피처리수(15a)에 레이저광(27)을 조사하여 소정 온도로 가열하는 레이저 광원(25) 및 집광 렌즈(26)를 가지며, 레이저 광원(25)으로부터 조사된 레이저광(27)을, 가압된 피처리수(15a)가 유통되는 소구경 유로(23)에 있어서 해당 유로 내의 유로벽으로부터 이격된 영역(29)에 집광 렌즈(26)에 의해 집광시켜, 이 영역(29) 내의 피처리수(15a)를 가열하며 초임계수 또는 아임계수를 생성시키고, 피처리수(15a) 중의 유기물을 분해한다.

公开(公告)号：KR1020140029359A

公开(公告)日：2014-03-10

申请号：KR1020137011945

申请日：2011-11-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야츠요시 ,  가타오카겐이치 ,  센자키시게루 ,  시마누키요오이치 ,  가노가즈히코 ,  와무라유 ,  강송윤 ,  니시무라에이이치

IPC: B01D69/02 ,  B01D71/02 ,  B01D67/00 ,  B01D63/00

CPC classification number: B01D67/0023 ,  B01D61/025 ,  B01D67/0034 ,  B01D67/0062 ,  B01D69/10 ,  B01D71/022 ,  B01D71/024 ,  B01D2323/225 ,  B01D2323/24 ,  B01D2323/283 ,  B01D2325/02 ,  B01D2325/08 ,  B01D2325/48 ,  Y10T156/10

Abstract: 상수나 담수를 손쉽게 얻을 수 있는 여과용 필터의 제조 방법을 제공한다.
실리콘으로 이루어지는 기판(1)을, 상기 기판(1)의 표면 상에 형성된 상기 표면의 일부를 노출시키는 다수의 개구부를 갖는 마스크막을 사용하여 에칭하여 기판(1)에 직경이 약 100㎚인 다수의 둥근 구멍(2)을 형성하고, 형성된 둥근 구멍(2)의 내표면에 산화규소막(3)을 퇴적시켜 산화규소막(3)에 의해 축소되는 둥근 구멍(2)의 개구부 근방의 최소 직경부(4)에 있어서의 직경 D1을 1㎚∼100㎚로 조정한다.