公开(公告)号：KR1020140029359A

公开(公告)日：2014-03-10

申请号：KR1020137011945

申请日：2011-11-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야츠요시 ,  가타오카겐이치 ,  센자키시게루 ,  시마누키요오이치 ,  가노가즈히코 ,  와무라유 ,  강송윤 ,  니시무라에이이치

IPC: B01D69/02 ,  B01D71/02 ,  B01D67/00 ,  B01D63/00

CPC classification number: B01D67/0023 ,  B01D61/025 ,  B01D67/0034 ,  B01D67/0062 ,  B01D69/10 ,  B01D71/022 ,  B01D71/024 ,  B01D2323/225 ,  B01D2323/24 ,  B01D2323/283 ,  B01D2325/02 ,  B01D2325/08 ,  B01D2325/48 ,  Y10T156/10

Abstract: 상수나 담수를 손쉽게 얻을 수 있는 여과용 필터의 제조 방법을 제공한다.
실리콘으로 이루어지는 기판(1)을, 상기 기판(1)의 표면 상에 형성된 상기 표면의 일부를 노출시키는 다수의 개구부를 갖는 마스크막을 사용하여 에칭하여 기판(1)에 직경이 약 100㎚인 다수의 둥근 구멍(2)을 형성하고, 형성된 둥근 구멍(2)의 내표면에 산화규소막(3)을 퇴적시켜 산화규소막(3)에 의해 축소되는 둥근 구멍(2)의 개구부 근방의 최소 직경부(4)에 있어서의 직경 D1을 1㎚∼100㎚로 조정한다.