公开(公告)号：KR1020170113354A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170039954

申请日：2017-03-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이나도미히로아키 ,  나카무라도오루 ,  기모토고우지 ,  기요하라야스오 ,  오카무라사토시 ,  비와사토시 ,  야마모토노부야 ,  오오카와가츠히로 ,  야하타게이이치 ,  나카하라데츠로

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B08B3/024 ,  B08B3/08 ,  B08B3/10 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67745

Abstract: 본발명은, 건조처리후의기판에처리액이전착되는것을방지하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 기판(7)을처리액을이용하여액 처리하는액 처리부(14)와, 상기액 처리부에서액 처리한후의습윤상태의상기기판을건조처리하는건조처리부(15)와, 상기액 처리부로처리전의상기기판을반송하는제1 반송부(25)와, 상기액 처리부로부터상기건조처리부로습윤상태의상기기판을반송하는제2 반송부(26)와, 상기액 처리부에서액 처리하기전의상기기판을반송하고, 상기건조처리부로부터건조처리후의상기기판을반송하는제3 반송부(10)를가지며, 상기제3 반송부와면하는쪽에상기제1 반송부와상기제2 반송부와상기건조처리부가배치되고, 상기제1 반송부와상기제2 반송부에면하고상기제3 반송부와반대쪽에상기액 처리부가배치되는것으로하였다.

Abstract translation: 本发明的一个目的是防止处理液在干燥处理后电沉积在基底上。 和液体处理部分14，干燥处理使用用于基板7的处理溶液通过液体处理部处理的液体处理溶液后的基板在湿状态下的干燥部15，在本发明中，该液体 和用于传送基板的第一传送单元25预处理的零件处理，第二输送单元26，用于在湿态下部分干燥过程从液体处理部搬送基板，以通过液体处理部处理后的液体 以及第三输送部（10），用于在干燥处理之前输送基板并在干燥处理之后从干燥处理部输送基板，其中第一输送部和第二输送部 设置干燥处理部，并且液体处理部设置在第一输送部和第二输送部的相反侧，并且设置在第三输送部的相对侧。