公开(公告)号：KR1020140141450A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：KR1020140059698

申请日：2014-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카무라도오루

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/02 ,  H01L21/08

CPC classification number: H01L21/67051 ,  H01L21/67017

Abstract: 본 발명은 송풍기를 항상 동작시켰다 하더라도, 송풍기보다 상류측에 있는 필터의 수명을 연장시킬 수 있는 청정 가스 공급 기구를 제공하는 것을 과제로 한다.
액처리 장치의 처리실(10)에 청정 가스를 공급하는 청정 가스 공급 기구(30)는, 상류단에 기체 취입구를 가지며 하류단이 처리실에 접속된 공급 경로(32)를 갖고 있다. 공급 경로(32)에는, 송풍기(34)와, 송풍기보다 상류측에 설치된 필터(36)와, 송풍기보다 하류측이고 처리실보다 상류측인 제1 위치(32a)에서 공급 경로로부터 분기되고, 필터보다 하류측이고 송풍기보다 상류측인 제2 위치(32b)에서 공급 경로에 접속된 복귀 경로(38)가 마련되어 있다. 송풍기로부터 하류측으로 보내어진 청정 가스를 처리실에 흘리는 제1 상태와, 송풍기로부터 하류측으로 보내어진 청정 가스를 복귀 경로를 통해 공급 경로로 복귀시키는 제2 상태를 선택적으로 전환하는 전환 기구(40)가 설치된다.

Abstract translation: 本发明提供一种能够延长设置在风扇上游的过滤器的使用寿命的清洁气体供给机构，即使风扇始终保持操作。 向处理室（10）供给清洁气体的清洁气体供给机构30包括：供给管道，其具有形成有气体导入口和与处理室连接的下游端的上游端， 。 鼓风机（34）设置在供给管道（32）中。 过滤器（36）设置在供给管道（32）中的鼓风机（34）上游的位置处。 在供气管道（32）的第一位置（32a）位于鼓风机（34）下游和处理室（10）的上游，返回管道（38）从供气管道（32）分支。 返回管道（38）在过滤器（36）下游和鼓风机（34）的上游的供应管道（32）的第二位置（32b）处连接到供应管道（32）。 提供了一种切换阻尼器（40），其选择性地采取第一状态，其中切换阻尼器（40）使得从鼓风机的下游流动的清洁空气朝向处理室（10）流动;以及第二状态，其中切换阻尼器 40）使得从鼓风机下游流动的氏族空气通过返回管道（38）流向供应管道。

公开(公告)号：KR102147001B1

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：KR1020140059698

申请日：2014-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카무라도오루

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/02 ,  H01L21/08

公开(公告)号：KR1020170113354A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170039954

申请日：2017-03-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이나도미히로아키 ,  나카무라도오루 ,  기모토고우지 ,  기요하라야스오 ,  오카무라사토시 ,  비와사토시 ,  야마모토노부야 ,  오오카와가츠히로 ,  야하타게이이치 ,  나카하라데츠로

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B08B3/024 ,  B08B3/08 ,  B08B3/10 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67745

Abstract: 본발명은, 건조처리후의기판에처리액이전착되는것을방지하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 기판(7)을처리액을이용하여액 처리하는액 처리부(14)와, 상기액 처리부에서액 처리한후의습윤상태의상기기판을건조처리하는건조처리부(15)와, 상기액 처리부로처리전의상기기판을반송하는제1 반송부(25)와, 상기액 처리부로부터상기건조처리부로습윤상태의상기기판을반송하는제2 반송부(26)와, 상기액 처리부에서액 처리하기전의상기기판을반송하고, 상기건조처리부로부터건조처리후의상기기판을반송하는제3 반송부(10)를가지며, 상기제3 반송부와면하는쪽에상기제1 반송부와상기제2 반송부와상기건조처리부가배치되고, 상기제1 반송부와상기제2 반송부에면하고상기제3 반송부와반대쪽에상기액 처리부가배치되는것으로하였다.

Abstract translation: 本发明的一个目的是防止处理液在干燥处理后电沉积在基底上。 和液体处理部分14，干燥处理使用用于基板7的处理溶液通过液体处理部处理的液体处理溶液后的基板在湿状态下的干燥部15，在本发明中，该液体 和用于传送基板的第一传送单元25预处理的零件处理，第二输送单元26，用于在湿态下部分干燥过程从液体处理部搬送基板，以通过液体处理部处理后的液体 以及第三输送部（10），用于在干燥处理之前输送基板并在干燥处理之后从干燥处理部输送基板，其中第一输送部和第二输送部 设置干燥处理部，并且液体处理部设置在第一输送部和第二输送部的相反侧，并且设置在第三输送部的相对侧。

公开(公告)号：KR1020160008985A

公开(公告)日：2016-01-25

申请号：KR1020150099946

申请日：2015-07-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와타나베쇼 ,  아오키다이스케 ,  나카무라도오루

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67051

Abstract: 본발명은챔버의내압을적정하게유지하는것을목적으로한다. 실시형태에따른기판처리장치는, 챔버와, 급기부와, 배기부와, 조정기구와, 측정부와, 제어부를구비한다. 챔버는처리대상이되는기판을수용한다. 급기부는챔버내에기체를공급한다. 배기부는챔버내를배기한다. 조정기구는배기부로부터배기되는배기량을조정한다. 측정부는챔버의내압을측정한다. 제어부는기판처리의내용을나타내는레시피정보에따라일련의기판처리를실행시킨다. 또한, 제어부는측정부의측정결과에기초하여챔버의내압을규정범위내로유지하도록조정기구의개방도를제어하는피드백제어를행하고, 챔버의내압을규정범위외로변화시키는것이예상되는소정의이벤트가발생하는경우에, 피드백제어를대신하여미리규정된제어값에기초하여조정기구의개방도를제어하는비(非)피드백제어를행한다.

Abstract translation: 本发明是适当地保持室的内部压力。 根据实施例的基板处理装置包括：室; 供应单位 排放单元; 调整机制; 测量单元; 和控制单元。 该室容纳作为待处理物体的基板。 供应单元将气体供应到室中。 排放单元从腔室排出气体。 调节机构调节从排出单元排出的气体量。 测量单元测量腔室的内部压力。 控制单元根据表示衬底处理的内容的配方信息执行一系列衬底处理。 此外，控制单元进行反馈控制，以根据测量单元的测量结果来控制调节机构的开度以将室内压保持在特定范围内，并执行非反馈 控制以当期望将室内的内部压力改变到特定范围之外的预定事件发生时，基于预定控制值而不是反馈控制来调节调节机构的打开程度。