公开(公告)号：KR100681807B1

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：KR1020057012886

申请日：2004-12-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도쿠노요시치카 ,  이토노리히로 ,  오리이다케히코 ,  나카모리미츠노리 ,  이이노다다시 ,  오노히로키 ,  사이토유스케

IPC: C01B13/11 ,  C01B13/10 ,  H01L21/302 ,  B01D47/05

CPC classification number: H01L21/68721 ,  B01D53/002 ,  B01D2257/106 ,  C01B13/10 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68785

Abstract: 방전식 오존 발생기에 의해 생성된 O
3 가스에 수증기가 혼합된다. 혼합 유체는 냉각 수단에 의해 냉각되며, 이것에 의해 O
3 가스에 함유되어 있던 금속 및 질소 산화물 등의 불순물이 응축수 속에 융해된다. 계속해서, 기액 분리기에 의해 O
3 가스가 응축수로부터 분리된다. O
3 가스에 수증기가 재차 혼합된다. 혼합 유체는 금속 흡착재로서, 다수의 실리콘 칩을 수용한 용기로 이루어지는 금속 칩을 통과함으로써, 잔존 금속이 제거된다.

公开(公告)号：KR1020060024331A

公开(公告)日：2006-03-16

申请号：KR1020057012886

申请日：2004-12-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도쿠노요시치카 ,  이토노리히로 ,  오리이다케히코 ,  나카모리미츠노리 ,  이이노다다시 ,  오노히로키 ,  사이토유스케

IPC: C01B13/11 ,  C01B13/10 ,  H01L21/302 ,  B01D47/05

CPC classification number: H01L21/68721 ,  B01D53/002 ,  B01D2257/106 ,  C01B13/10 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68785

Abstract: Water vapor is mixed into an O3 gas generated by a discharge ozone generator. The mixed fluid is cooled by a cooling means, whereby impurities such as metals and nitrogen oxides contained in the O3 gas are dissolved into condensed water. Following that, the O3 gas is separated from the condensed water using a gas-liquid separator. Then, water vapor is mixed into the O 3 gas again. The resulting mixed fluid is passed through a metal trap composed of a container holding many silicon chips as a metal adsorbing material, whereby remaining metals are removed.

Abstract translation: 将水蒸汽混入由排放臭氧发生器产生的O 3气体中。 混合流体通过冷却装置冷却，由此O 3气体中所含的金属和氮氧化物等杂质溶解在冷凝水中。 之后，使用气液分离器将O 3气体与冷凝水分离。 然后再将水蒸气混入O 3气体中。 将所得混合流体通过由容纳许多硅芯片的容器组成的金属捕集器作为金属吸附材料，由此除去剩余的金属。