公开(公告)号：KR1020160045012A

公开(公告)日：2016-04-26

申请号：KR1020150139667

申请日：2015-10-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미야자키가즈히토 ,  미네요우스케 ,  미야자키후미히로

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05C13/02 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00 ,  B05D7/00

Abstract: 본발명은액적토출장치에있어서의처리효율을향상시키면서상기액적토출장치의점유면적을작게하는것을과제로한다. 액적토출장치(1)는, 액적토출헤드(24)와, 워크스테이지(40)와, 플러싱유닛(50)과, 토출검사유닛(60)과, 토출검사카메라(31)와, 묘화검사카메라(32)를갖는다. 워크스테이지(40), 플러싱유닛(50) 및상기토출검사유닛(60)은주주사방향으로이 순서로배치된다. 토출검사카메라(31)와묘화검사카메라(32)는, 액적토출헤드(24)를사이에두고서주주사방향으로배치되고, 또한토출검사카메라(31)는플러싱유닛(50) 측에배치되며, 묘화검사카메라(32)는워크스테이지(40) 측에배치된다.

Abstract translation: 本发明的目的是在提高液体排放装置的处理效率的同时减少液体排出装置的占用面积。 液体排放装置（1）包括液体排放头（24），工作台（40），冲洗单元（50），排放监视单元（60），排放监控摄像机（31）和曝光监视 相机（32）。 工作台（40），冲洗单元（50）和排放监视单元（60）按顺序布置在水平扫描方向上。 放电监视摄像机（31）和曝光监视摄像机（32）在水平扫描方向上设置在喷墨头（24）之间，排出监视摄像机（31）位于冲洗单元（50）的一侧 ）。 曝光监视摄像机（32）设置在工作台（40）的一侧。

公开(公告)号：KR101494924B1

公开(公告)日：2015-02-23

申请号：KR1020100084761

申请日：2010-08-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다후미히코 ,  미네요우스케 ,  오니시다쓰미 ,  나가타히로시

IPC: H01L21/302

Abstract: 굴림대 반송에 의해 기판의 반출입을 효율적으로 안전하고 원활하게 행하여, 감압 건조 처리중에 임의의 두께의 핀으로 기판을 지지하면서 기판상의 도포막에 기판 접촉부의 전사 흔적이 남는 것을 가급적으로 억제한다.
이 감압 건조 유닛(12)은, 피처리기판(G)의 평류 반송을 행하는 굴림대 반송로(38B)를 챔버(40) 내로 끌어들여, 기판 리프트 기구(60)에 의해 챔버(40) 내에서 기판(G)을 리프트 핀(62)으로 오르내린다. 그리고, 리프트 핀(62)의 핀 끝부분보다 다소(통상 10mm 이하) 낮은 위치에 차폐판(100)을 수평으로 마련하고, 이 차폐판 (100)의 높이 위치를 차폐판 승강기구(102)에 의해 가변할 수 있도록 하고 있다.

公开(公告)号：KR1020110041984A

公开(公告)日：2011-04-22

申请号：KR1020100084761

申请日：2010-08-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다후미히코 ,  미네요우스케 ,  오니시다쓰미 ,  나가타히로시

IPC: H01L21/302

Abstract: PURPOSE: A reduced-pressure drying unit is provided to improve the quality of the spread layer by lowering the variation of the temperature of the atmosphere inside the chamber through the overall process time. CONSTITUTION: A chamber(40) be decompressed and has the space for accepting the substrate(G) to the horizontal state. A delivering apparatus has the roller carrier way continuing in outside and inside of the chamber. The delivering apparatus carries in the substrate into the roller return on the roller carrier way in the chamber, or it in other words takes out from the chamber. A substrate lift apparatus(60) support the substrate horizontally and has a plurality of lift pins arranged inside the chamber.

Abstract translation: 目的：提供减压干燥装置，通过在整个处理时间内降低室内气氛的温度变化来提高扩散层的质量。 构成：室（40）被减压，并具有用于接受基板（G）到水平状态的空间。 输送装置具有在室的外部和内部连续的滚子承载方式。 输送装置将基板输送到辊室中的滚筒回程中，或者换句话说，从腔室中取出。 基板升降装置（60）水平地支撑基板，并且具有布置在室内的多个提升销。