公开(公告)号：KR100560867B1

公开(公告)日：2006-03-13

申请号：KR1020010023353

申请日：2001-04-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토쇼이치 ,  하세베가즈히데 ,  우메자와고타

IPC: H01L21/316

Abstract: 수산기 활성종 및 산소 활성종을 생성하는 처리용기내에서 진공분위기로 소정의 온도로 가열된 피처리체의 표면을 산화하는 산화방법이다. 수산기 활성종 및 산소 활성종은 처리용기내의 피처리체의 표면을 산화한다. 산화막의 막내 두께 균일성 및 품질이 개선되며, 산화율이 비교적 높은 수준으로 유지된다.

公开(公告)号：KR1020030062366A

公开(公告)日：2003-07-23

申请号：KR1020037007373

申请日：2001-12-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히시야신고 ,  후루사와요시카즈 ,  우메자와고타 ,  하야시데루유키 ,  사이토미사코 ,  사토쇼이치

IPC: H01L21/31

CPC classification number: H01L21/02046 ,  C30B33/00 ,  H01L21/02238 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/02301 ,  H01L21/02312 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/31662 ,  H01L21/67109

Abstract: 열처리장치(1)는 승온용 히터(12)를 갖아, 유기물이 부착한 웨이퍼(10)를 수용하는 반응관(2)과, 반응관(2)내에 산소가스를 공급하는 제 1 가스도입관(13)과, 수소가스를 공급하는 제 2 가스도입관(14)을 구비하고 있다. 제 1 가스도입관(13)에 의해 산소가스, 제 2 가스도입관(14)에 의해 수소가스가 반응관(2)내에 공급되어, 승온용 히터(12)에 의해 반응관(2)이 산소가스 및 수소가스가 활성화가능한 온도로 가열된다. 그리고, 반응관(2)내에서 연소반응이 일어나, 웨이퍼(10)에 부착한 유기물이 산화, 분해하여, 제거된다.

Abstract translation: 热处理装置1包括：用于容纳被有机物污染的晶片10的反应管2，该反应管2具有能够加热反应管的加热器12; 用于将氧气输送到反应管2中的第一气体供给管13; 和用于将氢气输送到反应管2中的第二气体供给管14.将氧气和氢气分别通过第一气体供给管13和第二气体供给管14供给到反应管2中，并且将加热器12 在能够活化氧气和氢气的温度下加热反应管2。 在反应管2中发生燃烧反应，从而附着在晶片10上的有机物质被氧化，分解并除去。 ＆lt;图像＆GT;

公开(公告)号：KR100886997B1

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：KR1020037007373

申请日：2001-12-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히시야신고 ,  후루사와요시카즈 ,  우메자와고타 ,  하야시데루유키 ,  사이토미사코 ,  사토쇼이치

IPC: H01L21/31

CPC classification number: H01L21/02046 ,  C30B33/00 ,  H01L21/02238 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/02301 ,  H01L21/02312 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/31662 ,  H01L21/67109

Abstract: 열처리장치(1)는 승온용 히터(12)를 갖아, 유기물이 부착한 웨이퍼(10)를 수용하는 반응관(2)과, 반응관(2)내에 산소가스를 공급하는 제 1 가스도입관(13)과, 수소가스를 공급하는 제 2 가스도입관(14)을 구비하고 있다. 제 1 가스도입관(13)에 의해 산소가스, 제 2 가스도입관(14)에 의해 수소가스가 반응관(2)내에 공급되어, 승온용 히터(12)에 의해 반응관(2)이 산소가스 및 수소가스가 활성화가능한 온도로 가열된다. 그리고, 반응관(2)내에서 연소반응이 일어나, 웨이퍼(10)에 부착한 유기물이 산화, 분해하여, 제거된다.

公开(公告)号：KR1020010100932A

公开(公告)日：2001-11-14

申请号：KR1020010023353

申请日：2001-04-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토쇼이치 ,  하세베가즈히데 ,  우메자와고타

IPC: H01L21/316

Abstract: 수산기 활성종 및 산소 활성종을 생성하는 처리용기내에서 진공분위기로 소정의 온도로 가열된 피처리체의 표면을 산화하는 산화방법이다. 수산기 활성종 및 산소 활성종은 처리용기내의 피처리체의 표면을 산화한다. 산화막의 막내 두께 균일성 및 품질이 개선되며, 산화율이 비교적 높은 수준으로 유지된다.