公开(公告)号：KR101967490B1

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：KR1020137028485

申请日：2012-03-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 첸리 ,  레인바톤 ,  펑크메릿 ,  자오지안핑 ,  선다라라잔래드하

IPC: H01J49/04

公开(公告)号：KR1020140030168A

公开(公告)日：2014-03-11

申请号：KR1020137028485

申请日：2012-03-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 첸리 ,  레인바톤 ,  펑크메릿 ,  자오지안핑 ,  선다라라잔래드하

IPC: H01J49/04

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J49/488 ,  H05H1/0081 ,  Y10T29/49002

Abstract: 플라즈마의 이온 에너지 분포를 결정하는 이온 에너지 분석기(74, 122, 174)는 입구 그리드(80, 126, 160), 선택 그리드(82, 134, 134') 및 이온 컬렉터(84, 136, 136')를 구비한다. 입구 그리드(80, 126, 160)는, 플라즈마(66)의 드바이 길이보다 작은 치수의 복수의 제1 개구를 구비한다. 이온 컬렉터(84, 136, 136')는 제1 전압 소스(182)를 매개로 입구 그리드(80, 126, 160)에 결합된다. 선택 그리드(82, 134, 134')는 입구 그리드(80, 126, 160)와 이온 컬렉터(84, 136, 136') 사이에 위치 결정되고, 제2 전압 소스(180)를 매개로 입구 그리드(80, 126, 160)에 결합되어 있다. 이온 전류 미터(106)가 이온 컬렉터(84, 136, 136')에 결합되어 이온 컬렉터(84, 136, 136')에 대한 이온 플럭스를 측정하고 그에 관련한 신호를 전달한다.