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公开(公告)号：KR102029538B1
公开(公告)日：2019-10-07
申请号：KR1020170133983
申请日：2017-10-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 오다기리마사야 , 구와다히로타카 , 에하라히로키 , 다메가이유키히로 , 다카하시츠요시 , 나카무라히데오 , 야마자키가즈요시 , 이데노요시카즈
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/285
