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公开(公告)号：KR1020170103455A
公开(公告)日：2017-09-13
申请号：KR1020160026393
申请日：2016-03-04
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L51/56 , H01L51/00 , B41J29/393 , H01L21/66
Abstract: 본발명은피토출체에토출되는액적을적절히검사하는것을목적으로한다. 액적검사장치(1)는, 액적(21)을포함하는검사시트(20) 상의조사(照射) 영역(22)에자외선을조사하는조사부(10)와, 액적(21)[또는검사시트(20)]이발광한조사영역(22)을촬상하는촬상부(11)와, 촬상부(11)의광축상에설치되고, 검사시트(20)에서반사된자외선(31)을차단하는자외선차단필터(12)와, 촬상부(11)에의해촬상된촬상화상에기초하여, 액적(21)의크기및 검사시트(20) 상의액적(21)의위치를계측하는계측부(13a)를갖는다.
Abstract translation: 本发明的目的是适当检查喷射到目标物体上的液滴。 液滴检查装置1具有照射部10，该照射部10对包含液滴21和液滴21的检查用片20上的照射区域22照射紫外线 设置在图像捕获单元11的光轴上并阻挡由测试片20反射的紫外线31的紫外线阻挡滤光片（未示出） 以及计量部13a，用于基于由成像部11拾取的捕获图像来测量液滴21的尺寸和液滴21在检查片20上的位置。
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公开(公告)号：KR1020160018363A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：KR1020150105839
申请日：2015-07-27
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본발명은조기에불량을검출하여효율적으로제조라인을개선시키는것을과제로한다. 실시형태에따른검사장치는, 조사부와, 촬상부와, 제어부를구비한다. 조사부는, 직렬로배열된복수의발광소자를가지고, 이러한발광소자로부터주면상에적어도유기 EL층에있어서의발광층이형성된기판을향하여자외광을조사한다. 촬상부는자외광의조사를받은기판을미리정해진촬상영역에있어서촬상한다. 제어부는촬상부에의해촬상된촬상화상에기초하여기판의불량을검출시킨다.
Abstract translation: 本发明的目的是通过早期检测错误来有效地改善生产线。 根据实施例的测试装置包括测试部分和成像部分以及控制部分。 测试部分具有串联布置的发光元件，并将紫外线照射到在发光元件的主表面上的至少一个有机EL层中具有发光层的基板。 成像部件在预定的成像区域中照射照射有紫外线的基板。 控制部基于由摄像部拍摄的图像来检测基板的误差。
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公开(公告)号：KR1020170004866A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：KR1020160080142
申请日：2016-06-27
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 액적토출장치의기능액적토출헤드와워크상의뱅크를고정밀도로위치맞춤한다. 액적토출장치(1)는, 액적토출헤드(34)와, 워크스테이지(20)와, 제1 촬상장치(41)를가지고, 워크(W)가주주사방향(X축방향)을따라미리정해진거리를이동하였을때에제1 촬상장치(41)에서취득되는촬상화상에기초하여워크(W) 상에형성된기준마크의위치를검출하며, 이동량검출기구(23)에서검출되는워크스테이지(20)의이동량에기초하여기준마크의위치를추정한다. 그리고, 촬상화상에기초하여검출되는기준마크의위치와, 워크스테이지(20)의이동량에기초하여추정되는기준마크의위치의상관관계에기초하여, 워크(W)와액적토출헤드(34)의상대적인위치를보정한다.
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公开(公告)号：KR1020160117181A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020160027535
申请日：2016-03-08
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 기판에형성된유기막의막 두께분포를단시간에측정한다. 실시형태에따른막 두께측정장치는, 조사부와, 촬상부와, 제어부를구비한다. 조사부는, 유기막이형성된기판상의조사영역에자외광을조사한다. 촬상부는, 자외광의조사를받은조사영역을촬상한다. 제어부는, 촬상부에의해촬상된촬상화상의휘도분포에기초하여유기막의막 두께분포를구한다.
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