公开(公告)号：KR1020130102007A

公开(公告)日：2013-09-16

申请号：KR1020130023182

申请日：2013-03-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야마시게루 ,  다나카시게키

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/2004 ,  G03F7/16 ,  G03F7/2022 ,  H01L21/0274

Abstract: PURPOSE: A secondary exposure apparatus is provided to improve the film thickness of a resist pattern after a developing process or the accuracy of a line width or the uniformity of a surface in optical lithography. CONSTITUTION: A secondary exposure apparatus (10) radiates ultraviolet rays in a predetermined wavelength to a resist film on the surface of a substrate. The secondary exposure apparatus comprises: an ultraviolet ray radiation unit (32) obtained by arranging radiation areas with plural radiation elements radiating the ultraviolet rays to a first direction; a radiation driving unit (34) supplying driving current to the radiation elements of each radiation area; a scanning device transferring the ultraviolet ray radiation unit to a second direction crossing the first direction for exposing and scanning the resist film on the surface of the substrate; an illumination property acquisition unit acquiring the command value-illumination property; an illuminance control unit controlling the radiation driving unit based on the command value-illumination property for each radiation area; and a temperature management unit controlling temperatures of each radiation area into a same or similar temperature. [Reference numerals] (32) Ultraviolet ray radiation unit; (34) Radiation driving unit; (36) Cooling device; (38) Illumination intensity measuring unit; (40) Control unit; (42) Memory; (50) Injection driving unit

Abstract translation: 目的：提供二次曝光装置，以改善显影处理后的抗蚀剂图案的膜厚度或光学光刻中的线宽或表面的均匀性的精度。 构成：二次曝光装置（10）将预定波长的紫外线照射到基板表面上的抗蚀剂膜。 二次曝光装置包括：通过将具有将辐射紫外线的多个辐射元件布置在第一方向上的辐射区域而获得的紫外线辐射单元（32） 辐射驱动单元（34），其向每个辐射区域的辐射元件提供驱动电流; 扫描装置将紫外线辐射单元传送到与第一方向交叉的第二方向，用于在基板的表面上曝光和扫描抗蚀剂膜; 获取所述命令值照明特性的照明特性获取单元; 照度控制单元，根据各辐射区域的指示值照明特性来控制所述放射线驱动单元; 以及温度管理单元，其将每个辐射区域的温度控制在相同或相似的温度。 （附图标记）（32）紫外线辐射单元; （34）辐射驱动单元; （36）冷却装置; （38）照明强度测量单元; （40）控制单元; （42）记忆; （50）注射驱动单元

公开(公告)号：KR1020160117181A

公开(公告)日：2016-10-10

申请号：KR1020160027535

申请日：2016-03-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야히로슌이치 ,  오노우에고우타로우 ,  다나카시게키

IPC: G01B11/02 ,  H01L51/00 ,  H01L51/56 ,  H01L21/66

Abstract: 기판에형성된유기막의막 두께분포를단시간에측정한다. 실시형태에따른막 두께측정장치는, 조사부와, 촬상부와, 제어부를구비한다. 조사부는, 유기막이형성된기판상의조사영역에자외광을조사한다. 촬상부는, 자외광의조사를받은조사영역을촬상한다. 제어부는, 촬상부에의해촬상된촬상화상의휘도분포에기초하여유기막의막 두께분포를구한다.

公开(公告)号：KR102006504B1

公开(公告)日：2019-08-01

申请号：KR1020130023182

申请日：2013-03-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 모리야마시게루 ,  다나카시게키

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：KR1020160018363A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：KR1020150105839

申请日：2015-07-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 시노기다케토라 ,  하야시데루유키 ,  다나카시게키 ,  오노우에고우타로우

IPC: H01L51/56 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은조기에불량을검출하여효율적으로제조라인을개선시키는것을과제로한다. 실시형태에따른검사장치는, 조사부와, 촬상부와, 제어부를구비한다. 조사부는, 직렬로배열된복수의발광소자를가지고, 이러한발광소자로부터주면상에적어도유기 EL층에있어서의발광층이형성된기판을향하여자외광을조사한다. 촬상부는자외광의조사를받은기판을미리정해진촬상영역에있어서촬상한다. 제어부는촬상부에의해촬상된촬상화상에기초하여기판의불량을검출시킨다.

Abstract translation: 本发明的目的是通过早期检测错误来有效地改善生产线。 根据实施例的测试装置包括测试部分和成像部分以及控制部分。 测试部分具有串联布置的发光元件，并将紫外线照射到在发光元件的主表面上的至少一个有机EL层中具有发光层的基板。 成像部件在预定的成像区域中照射照射有紫外线的基板。 控制部基于由摄像部拍摄的图像来检测基板的误差。