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公开(公告)号：KR1020170110035A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：KR1020170035263
申请日：2017-03-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01J37/32174 , H01J37/32091 , H01J37/32165 , H01J37/32183 , H01J37/32449 , H01J37/32577
Abstract: 제 1 가스를포함하는제 1 처리가스의플라즈마를생성하는제 1 단계와제 1 가스및 제 2 가스를포함하는제 2 처리가스의플라즈마를생성하는제 2 단계를각각이포함하는복수회의사이클을실행하는플라즈마처리방법에있어서, 제 2 단계가행해지는기간의개시시점과가스공급계로부터의제 2 가스의출력의개시시점간의시간차를레시피에따라자동적으로결정한다. 제 2 단계의제 1 가스의유량및 제 2 가스의유량에대응하는지연시간이함수또는테이블을이용하여특정된다. 가스공급계로부터의제 2 가스의출력은지연시간에기초하여설정되는시간차만큼, 제 2 단계의개시시점보다전에개시된다.
Abstract translation: 第一气体的第一步骤和多个循环权利要求包括生成包含第二气体的第二工艺气体的等离子体的第二步骤中，每一个产生所述第一处理气体的等离子体，其包括第一气体 在用于执行该等离子体处理方法，根据周期的开始的开始时间之间的时间差自动地确定它执行的第二气体的时和气体供应系统robuteoui输出到第二阶段配方。 使用函数或表格来指定第二步骤中的第一气体的流量和与第二气体的流量相对应的延迟时间。 来自气体供给系统的第二气体的输出在第二步骤的开始时间之前由基于延迟时间设定的时间差开始。
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公开(公告)号：KR102223327B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020170035263
申请日：2017-03-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 제 1 가스를포함하는제 1 처리가스의플라즈마를생성하는제 1 단계와제 1 가스및 제 2 가스를포함하는제 2 처리가스의플라즈마를생성하는제 2 단계를각각이포함하는복수회의사이클을실행하는플라즈마처리방법에있어서, 제 2 단계가행해지는기간의개시시점과가스공급계로부터의제 2 가스의출력의개시시점간의시간차를레시피에따라자동적으로결정한다. 제 2 단계의제 1 가스의유량및 제 2 가스의유량에대응하는지연시간이함수또는테이블을이용하여특정된다. 가스공급계로부터의제 2 가스의출력은지연시간에기초하여설정되는시간차만큼, 제 2 단계의개시시점보다전에개시된다.
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公开(公告)号：KR1020160120660A
公开(公告)日：2016-10-18
申请号：KR1020160038419
申请日：2016-03-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G05D7/0647 , H01L21/02 , G05D7/0113 , H01L21/67005 , H01L2021/60187
Abstract: 챔버내에신속하게원하는유량의가스를공급한다. 압력제어식유량계와, 압력제어식유량계의상류측의제 1 밸브와, 하류측의제 2 밸브를이용한가스공급제어방법으로서, 압력제어식유량계는, 제 1및제 2 밸브에접속되는컨트롤밸브와, 컨트롤밸브와제 2 밸브사이에마련되는오리피스를가지고, 오리피스및 컨트롤밸브간의가스공급관의용적(V)과오리피스및 제 2 밸브간의가스공급관의용적(V)은 V/ V≥ 9이며, 오리피스및 컨트롤밸브간의가스공급관의압력(P)과오리피스및 제 2 밸브간의가스공급관의압력(P)은, 가스를공급하는동안 P> 2 × P로유지되고, 제 1 밸브를열고, 컨트롤밸브를제어한상태에서제 2 밸브의개폐제어에의해가스의공급을제어하는가스공급제어방법이제공된다.
Abstract translation: 气体供给控制方法使用压力控制用流量计和分别设置在气体供给管路中的压力控制用流量计的上游和下游的第一阀和第二阀。 压力控制流量计包括控制阀和孔。 气体供给控制方法包括：保持孔和控制阀之间的第一气体供给管的压力P1和孔与第二阀之间的第二气体供给管的压力P2，以满足P1> 2×P2。 通过控制第一阀打开并控制控制阀来控制第二阀的打开和关闭来控制气体供应。 第一气体供给管的体积V1和第二气体供给管的体积V2具有V1 /V2≥9的关系。
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