公开(公告)号：KR1020140032327A

公开(公告)日：2014-03-14

申请号：KR1020130106699

申请日：2013-09-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다케우치야스시

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67373 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67772

Abstract: The present invention relates to a device for opening and closing a cover capable of rapidly and sufficiently performing nitrogen substitution when detaching the cover from FOUP, a heat processing device using the same, and a method for opening and closing the cover. The device for opening and closing a cover closely arranges an opening part of a substrate outlet of the FOUP to an opening part of a conveying hole (20) which opens and closes with an opening and closing door (5) and detaches the cover of the FOUP with a cover removing tool mounted at the opening and closing door, wherein the cover removing unit comprises a latch key (67) combined with the cover of the FOUP, a driving unit for driving the latch key, an accommodating part (61) for accommodating the driving unit, and an exhaustion system (604) for exhaustion of a space in the accommodating part. [Reference numerals] (AA) N_2 substitution in a latch mechanism; (BB) N_2 substitution in a FIMS mechanism; (CC) N_2 substitution in a FOUP cover; (DD) N_2 substitution in FOUP; (EE) N_2 substitution in sampling line·supply system

Abstract translation: 本发明涉及一种用于打开和关闭能够快速并充分地进行氮置换的盖子的装置，该装置能够从FOUP分离盖子，使用该盖子的热处理装置以及打开和关闭盖子的方法。 用于打开和关闭盖子的装置将FOUP的基板出口的开口部分紧密地布置到用开闭门（5）打开和关闭的输送孔（20）的开口部分，并且将盖 FOUP，其具有安装在开闭门处的盖拆卸工具，其中盖拆卸单元包括与FOUP的盖组合的闩锁键（67），用于驱动闩锁键的驱动单元，用于 容纳驱动单元，以及用于在容纳部分中排出空间的排气系统（604）。 （AA）N_2替换在锁定机构中; （BB）N_2替代FIMS机制; （CC）N_2替换; （DD）N_2替代FOUP; （EE）N_2替代在采样线·供应系统

公开(公告)号：KR1020170098704A

公开(公告)日：2017-08-30

申请号：KR1020170021363

申请日：2017-02-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다카하시기이치 ,  다케우치야스시 ,  아이카와가츠요시

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02 ,  H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67

CPC classification number: C23C16/4584 ,  C23C16/401 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/52

Abstract: 본실시형태의성막장치는, 용기내에서서로반응하는적어도 2개의반응가스를차례로공급해서기판에막을퇴적시키는성막장치이며, 상기용기내에회전가능하게설치되고, 저부에관통구멍을갖는오목부가상면에형성된회전테이블과, 상기오목부에착탈가능하게적재되고, 상면에상기기판이적재되는적재부를갖는기판지지부재와, 상기회전테이블을승강시키고또한회전시키는구동기구와, 상기용기내에있어서상기회전테이블보다도하방에설치되고, 에어의공급에의해회전가능한회전유닛과, 상기회전유닛주위에설치되고, 상기회전유닛에에어를공급함으로써상기회전유닛을회전시키는에어공급부와, 상기구동기구에의해상기회전테이블을하강시킴으로써, 상기회전유닛에의해상기기판지지부재의하면을보유지지하고, 상기기판지지부재의하면을보유지지한상태에서, 상기에어공급부로부터상기회전유닛에에어를공급함으로써, 상기회전테이블에대하여상기기판지지부재를소정의각도만큼회전시키는제어부를구비한다.

Abstract translation: 根据本实施例的成膜装置是一种成膜装置，用于通过在容器中以可旋转方式安装在容器中的方式供应至少两种在容器中彼此反应的反应气体来在基底上顺序地沉积膜， 衬底支撑部件，可拆卸地安装在所述凹部上，并具有安装部分，所述衬底的上表面安装在所述安装部分上;驱动机构，用于升高和降低所述旋转工作台并旋转所述旋转工作台; 空气供应单元，其设置在所述桌子的下方并且可通过供应空气而旋转;空气供应单元，其设置在所述旋转单元周围，并且通过向所述旋转单元供应空气来旋转所述旋转单元; 旋转台降低以通过旋转单元保持基板支撑构件的下表面，并且保持基板支撑构件的下表面 以及控制单元，用于通过从所述空气供应单元向所述旋转单元供应空气而使所述基板支撑构件相对于所述旋转台旋转预定角度。

公开(公告)号：KR1020170089411A

公开(公告)日：2017-08-03

申请号：KR1020170010277

申请日：2017-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다카하시기이치 ,  다케우치야스시 ,  아이카와가츠요시

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02 ,  H01L21/687 ,  H01L21/683

Abstract: 성막장치는, 용기내에서서로반응하는적어도 2개의반응가스를차례로공급하여기판에막을퇴적시키는성막장치이며, 상기용기내에회전가능하게설치되며, 저부에관통구멍을가지는오목부가상면에형성된회전테이블과, 상기오목부에착탈가능하게적재되며, 상면에상기기판이적재되는적재부를가지고, 하면에제1 돌기부를가지는기판지지부재와, 상기회전테이블을승강시키고, 또한, 회전시키는구동기구와, 상기용기내에있어서상기회전테이블보다도하방에설치되며, 상면에제2 돌기부를가지는덮개부재와, 상기구동기구에의해상기회전테이블을하강시킨후, 상기회전테이블을회전시켜서상기제1 돌기부와상기제2 돌기부를접촉시키고, 상기기판지지부재를이동시킴으로써, 상기회전테이블에대하여상기기판지지부재를소정의각도만큼회전시키는제어부를구비한다.

Abstract translation: 成膜装置是通过在容器内供给至少两种相互反应的反应气体而在基板上依次沉积膜的成膜装置，该成膜装置包括可旋转地安装在容器内的旋转台， 并且，对于上述的驱动机构在所述凹口可拆卸地装载，与在该基片放置在上表面，并且衬底支撑构件的提升和旋转台在其下，另外，旋转的第一突起部分负荷， 盖部件，其设置于容器的旋转台的下方，在旋转台的上表面具有第二突起;以及盖部件，其通过驱动机构而下降而使旋转台旋转， 以及控制单元，用于通过接触两个突起并使基板支撑构件相对于旋转台旋转预定角度 的。

公开(公告)号：KR101731144B1

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：KR1020140042243

申请日：2014-04-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다케우치야스시 ,  아사리신지

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67389 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772

Abstract: FOUP 등의기판의수납용기내를, 고속으로불활성가스로치환할수 있는수납용기내의분위기관리방법을제공한다. 개폐도어(5)에의해개폐되는반송구(20)를구비한격벽(2)으로구획된기판반송영역(S1)과용기반송영역(S2)을구비하고, 상기용기반송영역에마련되며, 덮개의개폐에의해복수의기판(W)을밀폐수납가능한수납용기(C)를일시배치하여대기시키는용기보관선반(18)과, 상기개폐도어에마련되고, 상기반송구의입구가장자리에밀착된상기수납용기의상기덮개를제거하면서상기수납용기내를불활성가스로치환가능한덮개개폐기구(6)를구비한처리장치(1, 10)에있어서의상기수납용기내의분위기관리방법으로서, 상기덮개개폐기구를이용하여, 미처리의상기기판을수납한상기수납용기내를, 상기불활성가스로치환하는공정과, 상기불활성가스로내부가치환된상기수납용기를, 상기용기보관선반에반송하여배치하는공정과, 상기수납용기를상기용기보관선반에서대기시키는공정을포함한다.

Abstract translation: 一种控制储存容器中的气氛的方法，所述储存容器能够用惰性气体高速替换诸如FOUP的基板的储存容器的内部。 基板承载区域S1由分隔壁2隔开，该分隔壁2具有由开闭门5和敷贴器承载区域S2开闭的承载口20， 容器收纳架18，用于临时放置并保持通过容器W的开闭而能够气密地收纳多个基板W的收纳容器C; 一种用于控制储存容器（1,10）中的气氛的方法，所述储存容器（1,10）具有能够在移除容器的盖的同时用惰性气体替换储存容器的内部的盖打开/关闭机构（6） 将惰性气体置换为容纳有未处理基板的惰性气体的容器内部的工序;以及将内部更换为惰性气体的容器输送到容器收纳架的工序， 在容器存储架上等待的过程 它包括。

公开(公告)号：KR102115069B1

公开(公告)日：2020-05-25

申请号：KR1020170021363

申请日：2017-02-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다카하시기이치 ,  다케우치야스시 ,  아이카와가츠요시

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02 ,  H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR1020140123425A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：KR1020140042243

申请日：2014-04-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다케우치야스시 ,  아사리신지

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67389 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67766

Abstract: Provided is a method for managing atmosphere in a storage container capable of filling the inside of a container for a substrate such as FOUP with inert gas at a high speed. The present invention includes a container return area (S2) and a substrate return area (S1) separated by a partition (2) having a return part (20) which is opened or closed by an opening/closing door (5). Processing devices (1, 10) include; a container storage shelf (18) for arranging storage containers (C) capable of containing a plurality of substrates (W) airtight by the opening or closing of a cover and keeping the same, arranged in the container return area; and a cover opening device (6) capable of filling the inside of container with inert gas by removing the cover of a storage container attached on the edge of the entrance of a returning part, arranged at the opening/closing door. The method comprises the following steps: a step of filling the inside of storage container storing the unprocessed substrate with inert gas using the cover opening device; a step of returning the storage container in which the inside is filled with inert gas to the container storage shelf and arranging the same; and a step of arranging the storage containers on the container storage shelf.

Abstract translation: 本发明提供一种用于管理能够以惰性气体高速填充用于诸如FOUP的基板的容器的内部的存储容器中的气氛的方法。 本发明包括容器返回区域（S2）和由具有由打开/关闭门（5）打开或关闭的返回部件（20）的分隔件（2）分开的基板返回区域（S1）。 处理装置（1,10）包括： 用于布置在容器返回区域中的能够通过打开或关闭盖并保持盖子而容纳多个基板（W）的多个基板（W）的容纳储存架（18）; 以及盖子打开装置（6），其能够通过移除安装在打开/关闭门上的返回部件的入口的边缘上的存储容器的盖子而用惰性气体填充容器的内部。 该方法包括以下步骤：使用盖打开装置用惰性气体填充未处理的基板的储存容器的内部; 将内部填充有惰性气体的储存容器返回到容器储存架并将其排列的步骤; 以及将储存容器布置在容器储存架上的步骤。

公开(公告)号：KR102207031B1

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：KR1020170010277

申请日：2017-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다카하시기이치 ,  다케우치야스시 ,  아이카와가츠요시

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02 ,  H01L21/687 ,  H01L21/683

Abstract: 성막장치는, 용기내에서서로반응하는적어도 2개의반응가스를차례로공급하여기판에막을퇴적시키는성막장치이며, 상기용기내에회전가능하게설치되며, 저부에관통구멍을가지는오목부가상면에형성된회전테이블과, 상기오목부에착탈가능하게적재되며, 상면에상기기판이적재되는적재부를가지고, 하면에제1 돌기부를가지는기판지지부재와, 상기회전테이블을승강시키고, 또한, 회전시키는구동기구와, 상기용기내에있어서상기회전테이블보다도하방에설치되며, 상면에제2 돌기부를가지는덮개부재와, 상기구동기구에의해상기회전테이블을하강시킨후, 상기회전테이블을회전시켜서상기제1 돌기부와상기제2 돌기부를접촉시키고, 상기기판지지부재를이동시킴으로써, 상기회전테이블에대하여상기기판지지부재를소정의각도만큼회전시키는제어부를구비한다.

公开(公告)号：KR101761445B1

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：KR1020130106699

申请日：2013-09-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다케우치야스시

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67373 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67772

Abstract: 본발명은 FOUP로부터덮개를떼어낼때, 질소치환을신속하고충분히행할수 있는덮개개폐장치와, 이것을이용한열 처리장치, 및덮개개폐방법을제공하는것을목적으로한다. 개폐도어(5)에의해개폐하는반송구(20)의구연부에 FOUP의기판취출구의구연부를밀착시키며, 상기개폐도어에설치된덮개제거기구에의해상기 FOUP의덮개를떼어내는덮개개폐장치로서, 상기덮개제거기구는, 상기 FOUP의덮개와결합하는래치키(67)와, 이래치키를구동하는구동기구와, 이구동기구를수용하는수용부(61)를포함하고, 이수용부내의공간을배기하는배기시스템(604)을구비한덮개개폐장치.

Abstract translation: 本发明naelttae从FOUP取下盖子，其目的在于提供一种盖开闭装置，其可与氮，使用该方法的热处理设备，和盖打开和关闭方法快速且充分吹扫。 释放的FOUP sikimyeo紧密接触的盖的盖开闭装置guyeonbu的FOUP的基板出口到转移工具（20）的guyeonbu，由盖去除在开口提供机构和关闭门，用于打开和由开口关闭和关闭门（5），则 盖去除机构，该排气包括用于驱动闩锁键67和驱动机构的容置部61中，由于chicky附上FOUP的盖，容纳yigudong机构，和抽真空的空间yisuyong部 （604）。

公开(公告)号：KR1020150089924A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：KR1020140193408

申请日：2014-12-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  가네코히로후미 ,  기쿠치히로시 ,  바바노리오

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67769 ,  Y10T29/49826

Abstract: 본발명은직경 300 ㎜의웨이퍼에대응한기판열처리장치와같은정도의풋프린트를유지하면서, 장치내부에직경 450 ㎜의웨이퍼를수납한운반용기라도충분한수량보관할수 있는기판열처리장치를제공하는것을목적으로한다. 웨이퍼를복수매 수납한복수의운반용기를보관하는제1 보관부및 제2 보관부와, 운반용기를반송하는반송기구부를포함하는반송보관유닛과, 다수매의웨이퍼를다단으로유지한유지구를수납하고, 웨이퍼에열처리를실시하는열처리로가설치된열처리유닛을가지며, 반송보관유닛의제1 보관부의하방에는, 운반용기내의웨이퍼를열처리유닛의유지구로이송하기위해서, 운반용기를배치하는이송부의배치대가설치되고, 제2 보관부는반송기구부의하방에배치되며, 제2 보관부의운반용기를배치하는면은, 이송부의배치대의운반용기를배치하는면보다낮아지도록배치되어있는기판열처리장치를제공한다.

Abstract translation: 本发明提供一种基板热处理设备，其能够在设备中存储足够数量的容纳直径为450mm的晶片的运输容器，同时保持与对应于基板热处理设备的基板热处理设备相同的占地面积 晶片直径为300mm。 根据本发明，基板热处理装置包括：重新转移存储单元，包括用于存储容纳多个晶片的多个转移容器的第一和第二存储单元，以及重新传送转移容器的再传输装置单元; 以及热处理单元，用于容纳将多个晶片保持在多级中的保持构件，并且其中安装有热处理炉，对所述晶片进行热处理。 将配置转移容器的转移单元的放置台安装在再转储存单元的第一存储单元的下面，以将转移容器中的晶片转移到热处理单元的保持构件。 此外，第二存储单元设置在再转印器件单元下方，并且设置第二存储单元的转印容器的表面设置在低于设置转印单元的放置台的转印容器的表面 。

公开(公告)号：KR1020140040652A

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：KR1020130112777

申请日：2013-09-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  다케우치야스시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/677 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67396 ,  H01L21/67772

Abstract: Provided is a transporting apparatus which prevents wafers accommodated therein from getting contaminated by particles existing inside the transporting apparatus, even when wafers charged with electricity are accommodated in the transporting apparatus. The transporting apparatus comprises a holding table which includes a first positioning pin for positioning an article to be transported and which transfers an object to be processed, accommodated in the article; an arm unit for gripping the article so as to load the article on the holding table; and a support unit for fixing the article disposed to the holding table. At least one among the first positioning pin, the arm unit, and the support unit includes a ground element.

Abstract translation: 提供一种防止在其中容纳的晶片被传送装置内存在的颗粒污染的传送装置，即使在装载有电的晶片被容纳在传送装置中的情况下也是如此。 所述输送装置包括保持台，所述保持台包括：第一定位销，用于定位要运输的物品，并传送容纳在所述物品中的待处理物体; 用于夹持物品以将物品装载在保持台上的臂单元; 以及用于固定设置在保持台上的物品的支撑单元。 第一定位销，臂单元和支撑单元中的至少一个包括接地元件。