公开(公告)号：KR1020090033036A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：KR1020080094007

申请日：2008-09-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마모토야스히토 ,  오자와가즈히로 ,  가가미후미토

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R31/2886 ,  G01R1/07307 ,  G01R31/2865

Abstract: A probe apparatus and a probing method are provided to miniaturize a device by reducing an amount of movement of a wafer chuck. An alignment bridge(5A) moves in the height position between a wafer chuck and a probe card in a horizontal direction. Micro cameras(71,72) are prepared in the alignment bridge for capturing an image of a wafer. Optical axes of the micro cameras are separated each other. In each micro camera, a viewing direction for capturing a surface of the wafer is directed downward. The distance between micro cameras is controlled to a distance between two specific points on the wafer.

Abstract translation: 提供探针装置和探测方法以通过减少晶片卡盘的移动量来使装置小型化。 对准桥（5A）在水平方向上在晶片卡盘和探针卡之间的高度位置移动。 在对准桥中制备微型摄像机（71,72）以捕获晶片的图像。 微型摄像机的光轴彼此分离。 在每个微照相机中，用于捕获晶片表面的观察方向被向下指向。 微型摄像机之间的距离被控制在晶片上的两个特定点之间的距离。

公开(公告)号：KR101020396B1

公开(公告)日：2011-03-08

申请号：KR1020080094007

申请日：2008-09-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마모토야스히토 ,  오자와가즈히로 ,  가가미후미토

IPC: G01R1/073

Abstract: 본 발명은 장치의 소형화를 도모해 또한 높은 스루풋을 얻는 할 수 있는 프로브 장치를 제공한다.
웨이퍼 척 및 프로브 카드의 사이의 높이 위치에서 수평 방향으로 이동 가능한 얼라이먼트 브리지에, 각각 그 광축이 서로 이간되고, 웨이퍼 표면을 촬상하기 위한 시야가 하향인 웨이퍼 촬상용의 마이크로 카메라(71, 72)을 마련하고 있으므로, 웨이퍼의 위치 정보를 얻기 위해서 웨이퍼를 촬상 할 때에 웨이퍼 척의 이동량이 적다. 이것 때문에 장치의 소형화를 도모할 수 있고, 또 웨이퍼의 위치 정보의 취득에 요하는 시간도 단축 가능하므로 고스루풋화에 기여할 수 있다. 또한 마이크로 카메라(71, 72)를 서로 접리 자유롭게 마련하여, 그 이간 거리가 웨이퍼상의 2개의 특정점의 서로의 이간 거리가 되도록 조정 할 수 있기 위해서, 웨이퍼 척을 정지시킨 채 다른 1개의 특정점의 촬상을 실행할 수 있어, 한층 높은 고스루풋화에 기여할 수 있다.

公开(公告)号：KR100960411B1

公开(公告)日：2010-05-28

申请号：KR1020080044646

申请日：2008-05-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  오비카네다다시 ,  스즈키마사루 ,  야마모토야스히토 ,  야노가즈야 ,  아사카와유지 ,  야마가타가즈미 ,  나카무라시게키 ,  마츠자와에이이치 ,  오자와가즈히로 ,  가가미후미토 ,  고지마신지

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2893

Abstract: 프로브 카드를 이용하여 웨이퍼 상의 IC 칩의 전기적 특성을 조사하는 프로브 장치에 있어서, 소형화 및 고스루풋화를 도모한다.
서로 마주 향하도록 2개의 캐리어를 각기 탑재하기 위한 제 1 및 제 2 로드 포트(11, 12)와, 이들 로드 포트(11, 12)의 중간 위치에 회전 중심을 가지는 웨이퍼 반송 기구(3)와, 이들 로드 포트(11, 12)의 나열에 따라 배치되고 또한 서로 대칭인 제 1 및 제 2 검사부(21A, 21B)를 마련하고, 그리고 상기 캐리어와 검사부(21A)(또는 21B)의 웨이퍼 척(4A)(또는 4B)의 사이에서 웨이퍼 반송 기구(3)에 의해 웨이퍼의 수수를 직접 실행하도록 구성한다. 또한 웨이퍼 반송 기구(3)에 3개의 아암을 갖게 하여, 캐리어로부터 2장씩 웨이퍼를 반출하도록 한다.

公开(公告)号：KR1020080101708A

公开(公告)日：2008-11-21

申请号：KR1020080044646

申请日：2008-05-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아키야마슈지 ,  오비카네다다시 ,  스즈키마사루 ,  야마모토야스히토 ,  야노가즈야 ,  아사카와유지 ,  야마가타가즈미 ,  나카무라시게키 ,  마츠자와에이이치 ,  오자와가즈히로 ,  가가미후미토 ,  고지마신지

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2893

Abstract: A probe apparatus is provided to improve the test efficiency of the substrate by directly performing the transfer between the carrier and the substrate mounting table. A probe apparatus comprises the first and the second load port(11,12) for respectively mounting two carriers in order to be confronted; the wafer return apparatus(3) having the center of rotation in the intermediate position of load ports; the first and the second testing station(21A, 21B) which is symmetry and is arranged according to the list of load ports. The wafer return apparatus has three arms and carries out two wafers from the carrier.

Abstract translation: 提供探针装置，通过直接执行载体和基板安装台之间的转移来提高基板的测试效率。 探针装置包括用于分别安装两个载体以便面对的第一和第二负载端口（11,12） 所述晶片返回装置（3）在所述装载口的中间位置具有旋转中心; 第一和第二测试台（21A，21B），其是对称的并且根据负载端口列表来布置。 晶片返回装置具有三个臂并从载体执行两个晶片。