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公开(公告)号：KR1020120118440A
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：KR1020120040281
申请日：2012-04-18
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: B08B3/10 , B08B3/02 , B08B3/022 , B08B3/024 , B08B3/04 , B08B3/041 , B08B3/048 , H01L21/67017 , H01L21/67034 , H01L21/67051 , H01L21/6715 , Y10S134/902
Abstract: PURPOSE: A liquid processing apparatus, a liquid processing method and a computer readable memory medium with a program are provided to lift two cups without synchronization control by transferring driving force of a first driving unit installed in the first cup to the second cup. CONSTITUTION: A spin chuck(21) holds a wafer(W). A rotary shaft(22) rotates the spin chuck by a rotary motor(23). A processing liquid nozzle(31) supplies various processing liquid on the upper surface of the wafer. Three cups(51,52,53) receive the processing liquid scattered from a gap. An organic liquid supply unit(42) supplies isopropyl alcohol(IPA) to the wafer. [Reference numerals] (1) Liquid processing device; (21) Spin chuck; (31) Processing liquid nozzle; (42) Organic liquid; (43) Acid; (44) Alkali; (45) Rinse liquid; (51) First cup; (52) Second cup; (53) Third cup; (7) Controller; (AA) Wafer; (BB) Actuator
Abstract translation: 目的：提供具有程序的液体处理装置，液体处理方法和具有程序的计算机可读存储介质，以通过将安装在第一杯中的第一驱动单元的驱动力传递到第二杯来提升两个杯而不进行同步控制。 构成：旋转卡盘（21）保持晶片（W）。 旋转轴（22）通过旋转马达（23）旋转旋转卡盘。 处理液喷嘴（31）在晶片的上表面上提供各种处理液。 三杯（51,52,53）接收从间隙散开的处理液。 有机液体供应单元（42）向晶片提供异丙醇（IPA）。 （附图标记）（1）液体处理装置; （21）旋转卡盘 （31）加工液体喷嘴; （42）有机液体; （43）酸; （44）碱 （45）冲洗液体; （51）第一杯; （52）第二杯; （53）第三杯; （7）控制器; （AA）晶圆; （BB）执行机构
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150035392A
公开(公告)日：2015-04-06
申请号：KR1020140120268
申请日：2014-09-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67051 , B08B17/00 , H01L21/67017 , H01L21/6719
Abstract: 컵체의주위의분위기를청정한상태로유지하는것이가능한액 처리장치를제공한다. 액처리장치(16)는, 회전하는기판(W)에대하여처리액을공급하여액 처리를행하고, 포위부재(20, 23, 24)는, 회전하는기판(W)을둘러싸고기판의상방에개구가마련된컵체(50)의상방공간을포함하는영역을, 상기컵체(50)보다외방측에서둘러싼다. 기류형성부(21)는, 컵체(50)의상방측으로부터하강기류를형성하고, 바닥면부(28)는, 컵체(50)와포위부재(20, 23, 24) 사이를둘레방향을따라막는다. 컵체(50)보다외측에는, 배기구(241, 231)가마련되어, 바닥면부(28)보다상방으로서, 포위부재(20, 23, 24) 및바닥면부(28)로둘러싸이는영역을배기한다.
Abstract translation: 提供一种能够保持杯体周边部分清洁的液体处理装置。 液体处理装置（16）将处理液供给旋转晶片（W）并进行液体处理。 围绕构件（20,23,24）围绕围绕旋转晶片（W）的区域包围杯体（50）的上部空间，杯体（50）的上部空间在杯体的外部具有在基底的上部的开口 身体（50）。 气流形成部（21）从杯体（50）的上部形成向下的气流。 底部（28）在圆周方向上阻挡杯体（50）和周围构件（20,23,24）之间的间隙。 排出孔（241,231）在杯体（50）的外部设置，高于底面部（28），并排出由底面部（28）和盖部件（20）包围的区域中的空气， 23，24）。
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公开(公告)号：KR1020150077351A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020140188281
申请日：2014-12-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67051 , H01L21/6715 , H01L21/68728
Abstract: 본발명은복수의처리액을미리결정된배액유로로배출하는것이가능한기판액 처리장치를제공하는것을목적으로한다. 기판처리장치(16)는, 기판유지부(31)에유지된기판(W)에, 처리액공급부로부터복수의처리액을전환하여공급하고, 승강가능하게구성된내측컵(50a, 50b)은, 기판유지부(31)를측방으로부터둘러싸며, 기판(W)에공급된제1 처리액을하방으로안내하여배액하는제1 배액유로를형성하고, 외측컵(50c)은, 내측컵(50a, 50b)을둘러싸며, 기판(W)에공급된후의제2 처리액을하방으로안내하여배액하는제2 배액유로를형성한다. 커버부(54)는, 외측컵(50c)을외방측으로부터덮고, 원통부(543)의상부측으로부터내측을향하여연장된차양부(541)를구비하며, 외측컵(50c)과의사이에서, 배기유로를형성한다. 배기유로는, 상기제1 배액유로및 상기제2 배액유로의입구의상방측에서상기제1 배액유로및 상기제2 배액유로와접속된다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够将多种处理液体排出到规定的排出流路的基板液体处理装置。 基板处理装置（16）从处理液供给单元转换多个处理液，并将多个处理液供给到保持在基板保持单元（31）中的基板（W）。 能够升高的内杯（50a，50b）从一侧围绕基板保持单元（31）; 通过将供给到基板（W）的第一处理液引导到下侧，形成用于排水的第一排水流路径; 并且通过在供给到基板（W）之后引导第二处理液体而形成用于排水的第二排水流路。 盖单元（54）从外侧覆盖外杯（50c），并且包括从上侧朝向气缸单元（543）的内侧延伸的遮蔽单元（541），并且形成排气流路 与外部杯（50c）的位置。 排气流路在第一和第二排水流路的入口的上侧与第一和第二排水流路连接。
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公开(公告)号：KR101899167B1
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：KR1020130083959
申请日：2013-07-17
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302
CPC classification number: B08B3/04 , H01L21/67051
Abstract: 배기경로에있어서의드레인부주변이외의부분의세정을행할수 있는액 처리장치및 세정방법을제공한다. 액처리장치(10)는, 드레인부(71 내지 74)의근방에마련되고, 기판유지부(52)에의해유지된기판(W)의주위의분위기를배기하기위한배기부(76)와, 배기부(76)에연결되는배기경로(77)를형성하는배기경로형성부재(66)와, 배기경로(77)측의배기경로형성부재(66)에세정액을공급하는제1 세정부(90)를구비하고있다.
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公开(公告)号：KR101791269B1
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：KR1020120040281
申请日：2012-04-18
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: B08B3/10 , B08B3/02 , B08B3/022 , B08B3/024 , B08B3/04 , B08B3/041 , B08B3/048 , H01L21/67017 , H01L21/67034 , H01L21/67051 , H01L21/6715 , Y10S134/902
Abstract: 본발명은간소한방법으로 2개의컵을일체로상승시킬수 있는액처리장치를제공하는것을과제로한다. 액처리장치(1)에있어서, 피처리기판의회전유지부(21)를둘러싸도록설치된제1, 제2 컵(51, 52)은회전하는피처리기판(W)으로부터비산된처리액을하방측으로안내하고, 제1 구동부(610) 및제2 구동부(620)는처리액을받아내는위치와그 하방측위치사이에서제1 컵(51) 및제2 컵(52)을승강시킨다. 제어부(7)는제1, 제2 컵(51, 52)의동시상승시에, 제1 컵(51)의상승속도를제2 컵(52)의상승속도보다높게하여, 제1 컵(51) 또는그 제1 승강부재가상기제2 컵(52) 또는그 제2 승강부재와하방측으로부터서로겹쳐져, 제1 구동부의구동력을전달시킴으로써, 이들제1 컵(51)과제2 컵(52)을동시에상승시킨다.
Abstract translation: 本发明克服了提供能够以简单的方式一体地提升两个杯子的液体处理设备的问题。 在溶液中处理单元（1），设置成在第一和第二杯（51，52）以包围所述基板朝向下侧将被处理国会拨款部21具有从旋转的基板的处理液飞散到被处理（W） 导，并且所述第一驱动部610，第二驱动部620 mitje从而提升第一杯子之间51 mitje第二杯（52）接收到的处理液位置和其下侧的位置。 控制单元7控制第一杯子51和第二杯子51，使得当第一和第二杯子51和52上升时第一杯子51的提升速度高于第二杯子52的提升速度， 第一提升构件虚拟基2杯52或第二，通过从提升构件和下侧彼此重叠，用于从第一驱动部驱动力的传递，这些第一杯（51）的任务2提高了杯52在同一时间 从而。
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公开(公告)号：KR1020140013937A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020130083959
申请日：2013-07-17
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302
CPC classification number: B08B3/04 , H01L21/67051
Abstract: Provided are a liquid processing apparatus capable of performing a cleaning process on a region except the peripheral region of a drain part in a purge line and a cleaning method. A liquid processing apparatus (10) includes a purge part (76) prepared near a drain part (71 to 74) and discharging the atmosphere of a substrate (W) hold by a substrate holding part (52), a purge path forming member (66) forming a purge path (77) connected to the purge part (76), a first cleaning part (90) supplying a cleaning solution to the purge path formation member (66) in the purge path (77).
Abstract translation: 提供一种液体处理装置，其能够对清除管线中的排出部分的周边区域以外的区域进行清洁处理和清洁方法。 液体处理装置（10）包括在排出部分（71至74）附近准备的排出部分（76），并且通过基板保持部分（52）将基板（W）的气氛排出，并将净化通路形成部件 66），形成连接到所述吹扫部分（76）的吹扫路径（77）;第一清洁部分（90），其将净化溶液供应到所述吹扫路径（77）中的所述吹扫路径形成部件（66）。
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