公开(公告)号：KR100549879B1

公开(公告)日：2006-02-06

申请号：KR1020050005393

申请日：2005-01-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사또후미오 ,  사카이미쯔히로 ,  쯔가모또다게시 ,  혼다요이찌 ,  야마구찌기요미쯔 ,  모또다기미오 ,  마쯔다요시다가 ,  사다데쯔야 ,  다테야마기요히사

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은 물체가 처리되는 경우 외부로 유동하거나 외부로 비산하는 처리액을 회수하기 위한 용기와, 세정액을 상기 용기내로 공급함으로써 용기의 내부 벽 표면을 세정하기 위한 세정 수단과, 용기의 내부 벽 표면이 세정 수단에 의해 세정되는 경우 용기로부터 배출된 액체를 회수하고, 회수된 액체를 세정 수단으로 공급하기 위한 순환 시스템을 포함하는 처리 장치를 제공한다.

Abstract translation: 清洁装置技术领域本发明涉及一种清洁装置，用于在处理物体时通过将清洁液供应到容器中来清洁容器的内壁表面， 还有一种循环系统，用于当清洁装置清洁容器时回收从容器中排出的液体并将回收的液体供应到清洁装置。

公开(公告)号：KR1019980024865A

公开(公告)日：1998-07-06

申请号：KR1019970048207

申请日：1997-09-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카이미쯔히로 ,  쯔가모또다게시 ,  혼다요이찌 ,  야마구찌기요미쯔 ,  모또다기미오 ,  마쯔다요시다가 ,  사다데쯔야 ,  다테야마기요히사 ,  사또후미오

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 물체가 처리되는 경우 외부로 유동하거나 외부로 비산하는 처리액을 회수하기 위한 용기와, 세정액을 상기 용기내로 공급함으로써 용기의 내부 벽 표면을 세정하기 위한 세정 수단과, 용기의 내부 벽 표면이 세정 수단에 의해 세정되는 경우 용기로부터 배출된 액체를 회수하고, 회수된 액체를 세정 수단으로 공급하기 위한 순환 시스템을 포함하는 처리 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR100508575B1

公开(公告)日：2005-10-21

申请号：KR1019970048207

申请日：1997-09-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카이미쯔히로 ,  쯔가모또다게시 ,  혼다요이찌 ,  야마구찌기요미쯔 ,  모또다기미오 ,  마쯔다요시다가 ,  사다데쯔야 ,  다테야마기요히사 ,  사또후미오

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 물체가 처리되는 경우 외부로 유동하거나 외부로 비산하는 처리액을 회수하기 위한 용기와, 세정액을 상기 용기내로 공급함으로써 용기의 내부 벽 표면을 세정하기 위한 세정 수단과, 용기의 내부 벽 표면이 세정 수단에 의해 세정되는 경우 용기로부터 배출된 액체를 회수하고, 회수된 액체를 세정 수단으로 공급하기 위한 순환 시스템을 포함하는 처리 장치를 제공한다.