Patent search ap:("도쿄엘렉트론가부시키가이샤" OR "도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤") AND inv:"아라이노리유키" Page 1

1.

发明授权
세정용브러시를가지는기판세정장치및기판세정방법 失效
Title translation: 具有清洁刷和基板清洁方法的基板清洁设备

公开(公告)号：KR100186043B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019930009372

申请日：1993-05-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다노우에고오이치 , 기타무라신지 , 아라이노리유키 , 사토다카미 , 도모에다다카유키 , 이와사키다쓰야 , 미조사키겐고

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판세정장치는, LCD용 유리기판의 양면을 브러시 세정하기 위한 상하 브러시 부재를 가지는 브러시 세정기구와, 상하 브러시 부재의 각각을 회전시키는 회전기구와, 상하 브러시 부재의 각각에 순수한 물을 공급하는 세정액 공급기구와, 기판을 상하 브러시 부재 상호간에 반송하며, 상하 브러시 부재의 상호간 위치로서 기판을 반송방향으로 왕복 운동시키는 반송기구와, 상기 반송수단의 동작을 제어하는 콘트롤러를 가진다.

Patent Agency Ranking