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公开(公告)号:KR102003215B1
公开(公告)日:2019-07-25
申请号:KR1020160141353
申请日:2016-10-27
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/004 , H01L21/027 , G03F7/00
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公开(公告)号:KR1020170054987A
公开(公告)日:2017-05-18
申请号:KR1020160141353
申请日:2016-10-27
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/004 , H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: C08G73/0644 , C09D5/006 , C09D179/04 , G03F7/091
Abstract: 유기코팅조성물, 특히제1 양태에있어서하기화학식 (I)의구조를포함하는가교결합제성분을포함하는, 오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다:
Abstract translation: 提供了一种抗反射涂料组合物,其与第一方面中包含有机涂料组合物,特别是包含式(I)结构的交联剂组分的外涂光刻胶一起使用:
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公开(公告)号:KR102159557B1
公开(公告)日:2020-09-25
申请号:KR1020180064164
申请日:2018-06-04
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/09 , G03F7/11 , G02B1/11 , C09D5/00 , C09D201/08 , C09D201/02 , G03F7/20 , G03F7/26
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