公开(公告)号：KR101982103B1

公开(公告)日：2019-05-27

申请号：KR1020160109283

申请日：2016-08-26

Applicant: 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 매튜그랑부아 ,  김명열 ,  류의현 ,  심재환 ,  장민경 ,  이정준

IPC: G03F7/09 ,  C09D5/00 ,  G03F7/38 ,  G03F7/16

公开(公告)号：KR101909884B1

公开(公告)日：2018-10-22

申请号：KR1020160151375

申请日：2016-11-14

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 심재환 ,  조정규 ,  조은혜 ,  이혜원 ,  박진홍 ,  류의현 ,  임재봉

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/004 ,  C08L61/14 ,  C09D161/14

CPC classification number: G03F7/091 ,  C08F220/18 ,  C08F220/30 ,  C08F220/32 ,  C08F2220/302 ,  C08F2220/325 ,  C08G63/685 ,  C08G63/78 ,  C09D5/006 ,  C09D133/08 ,  C09D133/14 ,  C09D167/00 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/327

Abstract: 바람직한양태에서, 1) 하나이상의글리시딜기; 및 2) 각각히드록시, 티올및/또는아민잔기를포함하는둘 이상의치환기를포함하는하나이상의방향족기를포함하는유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다. 또한, 카테콜-함유중합체및 이의제조방법이제공된다.

公开(公告)号：KR101785426B1

公开(公告)日：2017-10-17

申请号：KR1020160048413

申请日：2016-04-20

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 류의현 ,  장민균 ,  홍창영 ,  김동영 ,  홍동제 ,  임해진 ,  김명열 ,  전현

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/028 ,  C08L33/26 ,  G03F7/42 ,  G03F7/32 ,  G03F7/11 ,  G03F7/075

CPC classification number: G03F7/325 ,  G03F7/0397

Abstract: 네가티브톤 현상공정을포함하는다양한도포에유용한신규포토레지스트가제공된다. 바람직한레지스트는 (i) 산불안정한그룹을포함하는질소함유모이어티를포함하는제1 단위; 및 (ii)(1) 하나이상의소수성그룹을포함하고, (2) 상기제1 단위와구별되는제2 단위를포함하는제1 폴리머를포함한다.

公开(公告)号：KR102262033B1

公开(公告)日：2021-06-07

申请号：KR1020197010392

申请日：2017-09-29

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 류의현 ,  김명열 ,  조은혜 ,  이정준 ,  심재환

IPC: G03F7/16 ,  G03F7/09 ,  C09D5/00 ,  B05D3/02

公开(公告)号：KR101971505B1

公开(公告)日：2019-04-23

申请号：KR1020170121597

申请日：2017-09-21

Applicant: 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 류의현 ,  피터트레포나스3세 ,  이복희

IPC: G01N27/12 ,  H01L21/768

公开(公告)号：KR101939062B1

公开(公告)日：2019-01-17

申请号：KR1020170039470

申请日：2017-03-28

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 심재환 ,  이혜원 ,  조은혜 ,  조정규 ,  박진홍 ,  류의현 ,  임재봉

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  C09D163/00

公开(公告)号：KR1020170044582A

公开(公告)日：2017-04-25

申请号：KR1020160121813

申请日：2016-09-23

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 장민경 ,  류의현 ,  홍창영 ,  김동영

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  C08L75/04 ,  G03F7/00 ,  G03F1/76

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C271/12 ,  C07D211/48 ,  C08F220/36 ,  C08F2220/365 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/162 ,  G03F7/20 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/325 ,  G03F7/40

Abstract: 네거티브-톤현상공정을포함하는, 다양한적용에서유용한새로운포토레지스트가제공된다. 바람직한레지스트는중합체백본으로부터간격을두고떨어진반응성질소-함유모이어티를포함하는제1 단위를포함하는제1 중합체를포함하며, 여기서상기질소-함유모이어티는포토레지스트조성물의리소그래픽가공동안염기성절단생성물을생산한다.

Abstract translation: 在各种应用提供了有用的新的光刻胶，其中包括音调发展步伐阴性。 它包括：包括第一单元，其包括含有部分，其中氮，优选的光刻胶活性氮俯伏在从含聚合物骨架部分的距离被光致抗蚀剂组合物的光刻处理过程中基本切削的第一聚合物 它产生的产物。

公开(公告)号：KR1020160130151A

公开(公告)日：2016-11-10

申请号：KR1020160048413

申请日：2016-04-20

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 류의현 ,  장민균 ,  홍창영 ,  김동영 ,  홍동제 ,  임해진 ,  김명열 ,  전현

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/028 ,  C08L33/26 ,  G03F7/42 ,  G03F7/32 ,  G03F7/11 ,  G03F7/075

CPC classification number: G03F7/325 ,  G03F7/0397

Abstract: 네가티브톤 현상공정을포함하는다양한도포에유용한신규포토레지스트가제공된다. 바람직한레지스트는 (i) 산불안정한그룹을포함하는질소함유모이어티를포함하는제1 단위; 및 (ii)(1) 하나이상의소수성그룹을포함하고, (2) 상기제1 단위와구별되는제2 단위를포함하는제1 폴리머를포함한다.

Abstract translation: 提供了新的光刻胶，可用于各种应用，包括负音发展过程。 优选的抗蚀剂包括第一聚合物，其包含（i）包含含酸部分的第一单元，其包含酸不稳定基团; 和（ii）（1）包含一个或多个疏水基团的第二单元和（2）不同于第一单元。

公开(公告)号：KR102163911B1

公开(公告)日：2020-10-12

申请号：KR1020170173018

申请日：2017-12-15

Applicant: 다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨 ,  롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 류의현 ,  피터트레포나스3세 ,  이복희 ,  필립,디.휴스타드

IPC: G01N27/12

公开(公告)号：KR101995719B1

公开(公告)日：2019-07-03

申请号：KR1020170108574

申请日：2017-08-28

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 류의현 ,  장민경 ,  김정우 ,  최광-모 ,  전현 ,  이우-형 ,  김명-열

IPC: C08G63/21 ,  G03F7/038 ,  C08G63/682 ,  H01L21/027 ,  C07C69/65