公开(公告)号：KR101952586B1

公开(公告)日：2019-02-27

申请号：KR1020180085331

申请日：2018-07-23

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 장민경 ,  류의현 ,  홍창영 ,  김명열 ,  이정준 ,  홍동제 ,  김동영 ,  임해진 ,  안재윤 ,  전옥민

IPC: C07C271/08 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  G03F1/76

公开(公告)号：KR1020160135095A

公开(公告)日：2016-11-24

申请号：KR1020160054286

申请日：2016-05-02

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 장민경 ,  류의현 ,  홍창영 ,  김명열 ,  이정준 ,  홍동제 ,  김동영 ,  임해진 ,  안재윤 ,  전옥민

IPC: C07C271/08 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  G03F1/76

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C271/12 ,  C07C271/14 ,  C07C2603/14 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/325

Abstract: 포토레지스트에서사용하는데적합한, 식 (I)에대응하는신규광염기발생제가제공된다: X-R-O-C(=O)N(R)R(I) 식중, X은임의로치환된방향족기이고; R은링커이고; 그리고 R및 R은동일또는상이한임의로치환된선형, 분지형또는사이클릭지방족기 또는임의로치환된방향족기이고, 여기서 R및 R중적어도하나는 4개이상의탄소원자를갖는임의로치환된분지형알킬기이다.

Abstract translation: 其中X1是任选取代的芳基; R1是连接体; 并且R 2和R 3是相同或不同的任选取代的直链，支链或环状脂族基团或任选取代的芳族基团，其中R 2和R 3中的至少一个是具有4个或更多个碳原子的任选取代的支化烷基。