레이저 시스템
    4.
    发明公开
    레이저 시스템 有权
    激光系统

    公开(公告)号:KR1020110091788A

    公开(公告)日:2011-08-12

    申请号:KR1020117014864

    申请日:2006-10-20

    Abstract: 제1가스방전 엑시머 또는 분자 플루오르 레이저 챔버, 및 제1오실레이터 캐비티 내의 라인 내로우잉 모듈을 포함하는 레이저 출력 광 빔 펄스를 포함하는 출력을 산출하는 시드 레이저 오실레이터; 레이저 출력 광 빔 펄스를 포함하는 레이저 시스템 출력을 형성하기 위해 시드 레이저 오실레이터의 출력을 수신하고, 시드 레이저 오실레이터의 출력을 증폭하는 제2가스방전 엑시머 또는 분자 플루오르 레이저 챔버 내에 증폭 이득 매체를 포함하는 레이저 증폭 스테이지; 및 링 파워 증폭 스테이지를 포함하는 라인 내로우드 펄스 엑시머 또는 분자 플루오르 가스방전 레이저 시스템을 포함할 수 있는 방법 및 장치가 개시된다.

    Abstract translation: 种子激光振荡器,用于在第一振荡器腔中产生包括激光输出光束脉冲的输出,所述激光输出光束脉冲包括第一气体放电准分子或分子氟激光腔室和机翼模块; 其中以形成一个激光系统输出,其包括一个光束脉冲接收种子激光振荡器的激光腔中的输出和第二气体排出准分子或分子氟放大增益介质,用于放大种子激光器振荡器的输出激光输出的激光 放大阶段; 公开了一种方法和设备,其可以将木材脉冲准分子或分子氟气体放电激光系统包括到包括环形功率放大级的线路中。

    방전 타이밍을 통한 멀티 챔버 가스 방전 레이저 대역폭제어 시스템 및 그 방법
    7.
    发明授权
    방전 타이밍을 통한 멀티 챔버 가스 방전 레이저 대역폭제어 시스템 및 그 방법 有权
    通过放电时间进行多功能气体放电激光带宽控制

    公开(公告)号:KR101346609B1

    公开(公告)日:2014-01-02

    申请号:KR1020087004734

    申请日:2006-07-12

    Abstract: 라인 협대화된 시드 펄스를 증폭 레이저 시스템부로 제공하는 제 1 라인 협대화된 오실레이터 레이저 시스템부를 구비하는 멀티-부분으로 구성된 레이저 시스템에서의 대역폭 제어를 위한 방법 및 장치로서, 상기 방법 및 장치는 대역폭이 아닌 제 1 레이저 시스템 동작 파라미터와 타이밍 차이 사이의 관계를 정의하는 타이밍 차 곡선과 및 원하는 타이밍 차이를 정의하는 곡선상의 원하는 포인트를 활용하는 것을 포함하고, 여기서 곡선상의 각 고유한 동작 포인트는 각각의 대역폭 값에 대응하고; 곡선상의 원하는 포인트에서의 타이밍 차이로부터 곡선상의 실제 동작 포인트까지의 실제 오프셋을 판정하고; 실제 오프셋과 원하는 대역폭에 상당하는 원하는 오프셋 사이의 오차를 판정하고; 실제 오프셋과 원하는 오프셋 사이의 오차를 제거하기 위해 발사 차동 타이밍을 변형하는 것을 포함한다.
    라인 협대화, 시드 펄스, 제 2 이득 생성기 레이저 시스템부, 제 1 라인 협대화, 오실레이터, 멀티-부분으로 구성된 레이저 시스템, 대역폭 제어, 레이저 이득 매체, 차동 발사 시간, 레이저 출력 광 펄스, 대역폭 타겟, 함수, 현재 동작 포인트

    레이저 시스템
    8.
    发明公开
    레이저 시스템 有权
    激光系统

    公开(公告)号:KR1020080066974A

    公开(公告)日:2008-07-17

    申请号:KR1020087013076

    申请日:2006-10-20

    Abstract: A method and apparatus may comprise a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system which may comprise a seed laser oscillator producing an output comprising a laser output light beam of pulses which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module within a first oscillator cavity; a laser amplification stage containing an amplifying gain medium in a second gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber receiving the output of the seed laser oscillator and amplifying the output of the seed laser oscillator to form a laser system output comprising a laser output light beam of pulses, which may comprise a ring power amplification stage wherein the output of the seed laser oscillator passes through the amplifying gain medium of the ring power amplification stage at least two times per loop.

    Abstract translation: 一种方法和装置可以包括线变窄的脉冲准分子或分子氟气放电激光系统,其可以包括种子激光振荡器,其产生包括可以包括第一气体放电准分子或分子氟激光室的脉冲的激光输出光束的输出; 第一振荡器腔内的线窄模块; 在第二气体放电准分子或分子氟激光室中包含放大增益介质的激光放大级,其接收种子激光振荡器的输出并放大种子激光振荡器的输出,以形成激光系统输出,该激光系统输出包括:激光输出光束 脉冲,其可以包括环形功率放大级,其中种子激光振荡器的输出通过环形功率放大级的放大增益介质至少每循环两次。

    방전 타이밍을 통한 멀티 챔버 가스 방전 레이저 대역폭제어 시스템 및 그 방법
    9.
    发明公开
    방전 타이밍을 통한 멀티 챔버 가스 방전 레이저 대역폭제어 시스템 및 그 방법 有权
    通过放电时间进行多室气体放电激光带宽控制

    公开(公告)号:KR1020080033465A

    公开(公告)日:2008-04-16

    申请号:KR1020087004734

    申请日:2006-07-12

    Abstract: A method and apparatus are disclosed for controlling bandwidth in a multi-portion laser system comprising a first line narrowed oscillator laser system portion providing a line narrowed seed pulse to an amplifier laser system portion, may comprise utilizing a timing difference curve defining a relationship between a first' laser system operating parameter other than bandwidth and the timing difference and also a desired point on the curve defining a desired timing difference, wherein each unique operating point on the curve corresponds to a respective bandwidth value; determining an actual offset from the timing difference at the desired point on the curve to an actual operating point on the curve; determining an error between the actual offset and a desired offset corresponding to a desired bandwidth; modifying the firing differential timing to remove the error between the actual offset and the desired offset.

    Abstract translation: 公开了一种用于控制多部分激光系统中的带宽的方法和装置,其包括向放大器激光系统部分提供线窄化种子脉冲的第一线窄化振荡器激光器系统部分,可以包括利用定时差分曲线来定义 第一'激光系统操作参数而不是带宽和定时差异,并且还在曲线上的期望点定义期望的时序差,其中曲线上的每个唯一操作点对应于相应的带宽值; 确定曲线上期望点处的定时差与曲线上的实际工作点的实际偏移; 确定实际偏移与对应于期望带宽的期望偏移之间的误差; 修改击发差分定时以消除实际偏移和所需偏移之间的误差。

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