公开(公告)号：KR1020040032991A

公开(公告)日：2004-04-17

申请号：KR1020047003079

申请日：2002-08-16

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 왓슨톰에이. ,  우자즈도우스키리차드씨. ,  이바스첸코알렉스피. ,  샤논로버트에이. ,  샌드스트롬리차드엘. ,  웨브로버트카일 ,  팔렌스차트프레데릭에이. ,  호프만토마스 ,  레티그커티스엘. ,  네스리차드엘. ,  멜체르폴씨. ,  에르쇼브알렉산더아이.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/0385 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70333 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0387 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2366

Abstract: 본원발명은 초당 6,000-10,000 펄스 범위의 반복률에서 프로덕션 라인 커패시티내의 신뢰가능한 장기간 동작가능한 가스 방전 레이저 시스템을 제공한다. 바람직한 실시예는 포토리소그래피에 사용된 KrF, ArF, F
2 레이저로 구성되어 있다. 개선점에는 가스 플로를 증가시키기 위해 애노드(542) 바로 옆에 흡입 팬(555)이 포함된다. 팬(555)의 흡입구는 애노드(542)와 절연 스페이서(544B) 사이에 있다.

Abstract translation: 本发明提供了气体放电激光系统，其能够以6,000至10,0000个脉冲功率秒的重复率在生产线中进行可靠的长期操作。 优选实施例被配置为用于集成电路光刻的光源的KrF，ArF和F＆amp; SUB＆lt; /＆gt;激光器。 改进包括改进的高压电源，其能够将磁压缩脉冲电力系统的初始电容器充电至每秒6,000至10,0000次的精确目标电压，以及用于监测脉冲能量并且确定脉冲宽度调制器上的目标电压的反馈控制器， 逐个脉冲的基础。 公开了若干技术用于在放电之间的间隔期间从激光电极之间的放电区域去除放电产生的碎屑。 在一个实施例中，放电区域的宽度从大约3mm减小到大约1mm，使得针对4000Hz操作设计的气体循环系统可以用于10,000Hz操作。 在其他实施例中，电极之间的气流充分增加以允许10,000Hz的操作，放电区域宽度为3mm。 为了提供这些实质上增加的气体流速，申请人已经公开了利用现有技术的切向形式的优选实施例，但是具有改进的和更强大的电动机以及新颖的轴承设计。 新的轴承设计包括陶瓷轴承和磁性轴承。 在其他实施例中，气体循环功率中的一些或全部设置有位于激光室外部的鼓风机。 外部鼓风机可以位于激光柜内或分开的位置。

公开(公告)号：KR100906112B1

公开(公告)日：2009-07-07

申请号：KR1020047003079

申请日：2002-08-16

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 왓슨톰에이. ,  우자즈도우스키리차드씨. ,  이바스첸코알렉스피. ,  샤논로버트에이. ,  샌드스트롬리차드엘. ,  웨브로버트카일 ,  팔렌스차트프레데릭에이. ,  호프만토마스 ,  레티그커티스엘. ,  네스리차드엘. ,  멜체르폴씨. ,  에르쇼브알렉산더아이.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/0385 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70333 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0387 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2366

Abstract: 본원발명은 초당 6,000-10,000 펄스 범위의 반복률에서 프로덕션 라인 커패시티내의 신뢰가능한 장기간 동작가능한 가스 방전 레이저 시스템을 제공한다. 바람직한 실시예는 포토리소그래피에 사용된 KrF, ArF, F
2 레이저로 구성되어 있다. 개선점에는 가스 플로를 증가시키기 위해 애노드(542) 바로 옆에 흡입 팬(555)이 포함된다. 팬(555)의 흡입구는 애노드(542)와 절연 스페이서(544B) 사이에 있다.
챔버, 레이저, 반복률, 피드백, 엑시머, 광원