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    가스 방전 레이저용 연장가능한 전극
    1.
    发明公开
    가스 방전 레이저용 연장가능한 전극 有权
    用于气体放电激光器的可扩展电极

    公开(公告)号：KR1020090129492A

    公开(公告)日：2009-12-16

    申请号：KR1020097022448

    申请日：2008-03-25

    Applicant: 사이머 엘엘씨

    Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  정태에이치. ,  우자즈도우스키리차드씨.

    IPC: H01S3/097

    CPC classification number: H01S3/038 ,  H01S3/0381 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2366

    Abstract: Disclosed herein are systems and methods for extending one or both of the discharge electrodes in a transverse discharge gas laser chamber in which one or both the electrodes are subject to a dimensional change due to erosion. Electrode extension can be performed to increase the chamber life, increase laser performance over the life of the chamber, or both. Operationally, the inter-electrode spacing may be adjusted to maintain a specific target gap distance between the electrodes or to optimize a specific parameter of the laser output beam such as bandwidth, pulse-to-pulse energy stability, beam size, etc.

    Abstract translation: 本文公开了用于在横向放电气体激光室中延伸一个或两个放电电极的系统和方法，其中一个或两个电极由于侵蚀而经受尺寸变化。 可以执行电极延伸以增加室的寿命，在室的寿命或两者都增加激光器性能。 可操作地，可以调整电极间间隔以保持电极之间的特定目标间隙距离或者优化激光输出光束的特定参数，例如带宽，脉冲到脉冲能量稳定性，光束尺寸等。

    방전 레이져용 진동 컨트롤과 컷오프 조립체를 갖춘 횡류 팬
    3.
    发明授权
    방전 레이져용 진동 컨트롤과 컷오프 조립체를 갖춘 횡류 팬 有权
    방전레이져용진동컨트롤과컷오프조립체를갖춘횡류팬팬

    公开(公告)号：KR100421275B1

    公开(公告)日：2004-03-09

    申请号：KR1020017002622

    申请日：1999-08-04

    Applicant: 사이머 엘엘씨

    Inventor： 호프만토마스 ,  호웨이제임즈케이 ,  샤논로버트에이. ,  우자즈도우스키리차드씨. ,  왓슨톰에이. ,  웨브알.카일

    IPC: H01S3/22

    CPC classification number: H01S3/036 ,  G03F7/708 ,  H01S3/225

    Abstract: An electric discharge laser apparatus including a tangential fan comprising a laser chamber comprising a laser gas, at least two longitudinal electrodes configured to produce electric discharges defining a discharge region in said gas, a tangential fan for circulating said laser gas said fan defining a rotation axis and a circumference substantially concentric with said rotation axis and fan structure comprising a plurality of blade members disposed proximate to said circumference, a plurality of hub members supporting said blade members and defining fan blade segments, characterized by said blade members and said hub members being machined as a monolithic unit from a single blank of a selected material.

    Abstract translation: 一种包括切向风扇的放电激光装置，该切向风扇包括包含激光气体的激光腔室，至少两个纵向电极，被配置为产生在所述气体中限定出放电区域的放电，用于使所述激光气体循环的切向风扇，所述风扇限定旋转轴线 以及与所述旋转轴基本上同心的圆周，并且所述风扇结构包括设置在所述圆周附近的多个叶片构件，支撑所述叶片构件并限定风扇叶片段的多个毂构件，其特征在于，所述叶片构件和所述毂构件被加工 作为选定材料的单个空白单块单元。

    방전 레이져용 진동 컨트롤과 컷오프 조립체를 갖춘 횡류 팬
    5.
    发明公开
    방전 레이져용 진동 컨트롤과 컷오프 조립체를 갖춘 횡류 팬 有权
    用于放电激光器的横流风扇，带振动控制和切断组件

    公开(公告)号：KR1020010074876A

    公开(公告)日：2001-08-09

    申请号：KR1020017002622

    申请日：1999-08-04

    Applicant: 사이머 엘엘씨

    Inventor： 호프만토마스 ,  호웨이제임즈케이 ,  샤논로버트에이. ,  우자즈도우스키리차드씨. ,  왓슨톰에이. ,  웨브알.카일

    IPC: H01S3/22

    Abstract: 레이져를 발하는 가스(108) 혼합물을 재 순환하기 위한 횡류 팬(140) 및 컷오프 조립체는, 끝부에서 끝부로 계단식으로 원주상 위치로 가변하는 블레이드 부재(144) 및/또는 테이퍼진 양극 조립체(120)를 가지고 있다. 블레이드 부재(144)의 개수는 일정하거나 가변할 수 있다. 블레이드 부재(144)의 원주상 위치는 끝부들 사이에서 단일 방향으로 또는 역방향으로 변할 수 있다. 블레이드 부재(144)는 허브부재(212)의 위치 및 개수를 최적 선택함으로써 강화되어 팬의 고유 진동수를 제어한다. 횡류 팬을 성형하는 방법은 단일 블럭으로부터 캐스팅하는 단계, 기계가공하는 단계를 포함한다. 단편으로된 구조는 전자 빔 용접으로부터 전형적으로 결합될 수 있다. 캐스팅, 용접 및 기계가공 처리는 어떠한 추가적인 오염물질을 도입하지 않는다. 생산된 횡류 팬은 기계 강성, 정확한 허용오차, 오염 물질의 낮은 농도를 갖는다. 블레이드 부재(144)는 에어포일 형상으로 성형될 수 있다.

    가스 방전 레이저용 연장가능한 전극
    6.
    发明授权
    가스 방전 레이저용 연장가능한 전극 有权
    用于气体放电激光器的可扩展电极

    公开(公告)号：KR101430516B1

    公开(公告)日：2014-08-18

    申请号：KR1020097022448

    申请日：2008-03-25

    Applicant: 사이머 엘엘씨

    Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  정태에이치. ,  우자즈도우스키리차드씨.

    IPC: H01S3/097

    CPC classification number: H01S3/038 ,  H01S3/0381 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2366

    Abstract: 하나 또는 2개 전극 모두가 부식으로 인해 크기가 변화되기 쉬운 횡단 방전 가스 레이저 챔버에서의 방전 전극 중 하나 또는 2개 모두를 연장하는 시스템 및 방법이 본문에 개시된다. 전극 연장은 챔버의 수명을 증가시키고, 챔버의 수명동안 레이저 성능을 증가시키거나, 그 둘 모두를 위해 수행될 수 있다. 동작가능하게, 전극간 공간 간격은 전극들 사이의 특정한 타겟 갭 거리를 유지하거나, 또는 대역폭, 펄스-투-펄스 에너지 안정성, 빔 크기등과 같은 레이저 출력 빔의 특정한 파라미터를 최적화하기 위해 조정될 수 있다.
    하우징, 제 1 전극, 방전 갭, 제 2 전극, 메커니즘, 제 1 에지, 제 2 에지, 가요성 부재, 실드, 주름, 톱니구조, 디바이스 파라미터, 제어 신호, 컨트롤러

    향상된 전극을 구비한 고반복률 레이저
    9.
    发明授权
    향상된 전극을 구비한 고반복률 레이저 有权
    具有改进电极的高倍率激光

    公开(公告)号：KR100940782B1

    公开(公告)日：2010-02-11

    申请号：KR1020047003801

    申请日：2002-09-06

    Applicant: 사이머 엘엘씨

    Inventor： 모르톤리차드지. ,  다이어티모시에스. ,  스테이거토마스디. ,  우자즈도우스키리차드씨. ,  왓슨톰에이. ,  무스만브라이언 ,  이바스첸코알렉스피. ,  길레스피에왈터디 ,  레티그커티스엘.

    IPC: H01S3/22

    CPC classification number: H01S3/038 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0381 ,  H01S3/0388 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/225

    Abstract: The present invention provides a gas discharge laser having at least one long-life elongated electrode for producing at least 12 billion high voltage electric discharges in a fluorine containing laser gas. In a preferred embodiment at least one of the elctrodes is comprised of a first material having a relatively low anode erosion rate and a second anode material having a relatively higher anode erosion rate. The first anode material is positioned at a desired anode discharge region of the electrode. The second anode material is located adjacent to the first anode material along at least two long sides of the first material. During operation of the laser erosion occurs on both materials but the higher ero sion rate of the second material assures that any tendency of the discharge to spread onto the second material will quickly erode away the second material enough to stop the spread of the discharge. In a preferred embodiment the anode is as described above and the cathode is also a two-material electrode with the first material electrode with the first material at the discharge region being C26000 brass and the second material being C36000 brass. A pulse power system provides electrical pulses at rates of at least 1 KHz. A blower circulates laser gas between the electrodes at speeds of at least 5 m/s and a heat exchanger is provided to remove heat produced by the blower and the discharges.

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