公开(公告)号：KR101015336B1

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：KR1020080082266

申请日：2008-08-22

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 민경수 ,  지창순

IPC: H01L21/20

CPC classification number: C23C14/243

Abstract: 본 발명은 증착용 도가니 장치 및 이 증착용 도가지 장치에 사용되는 내부 플레이트에 관한 것이다. 본 발명의 증착용 도가니 장치는 증착물질을 수용하기 위한 내부 공간과 그 상부에 개구부를 구비하는 본체와, 본체의 개구부를 덮는 내부 플레이트와, 상부에 홀을 구비하고 내부 플레이트를 게재하며 본체에 결합하는 캡과, 증착물질의 증기가 본체의 내부 공간에서 내부 플레이트의 외측면과 캡의 내측면 사이를 경유하여 캡의 홀을 통해 외부로 방출되도록 구비된 내부 채널을 포함한다.
증착, 도가니, 내부 플레이트, 내부 채널, 증착물질, 막힘, 튐

公开(公告)号：KR1020100130786A

公开(公告)日：2010-12-14

申请号：KR1020090049479

申请日：2009-06-04

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 심혜연 ,  이종우 ,  지창순 ,  민경수 ,  조용훈 ,  권도성

IPC: C23C14/26 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

Abstract: PURPOSE: A deposition apparatus and a manufacturing method of an organic light emitting diode using the same are provided to facilitate the deposition on a large substrate and enable simultaneous deposition of different materials. CONSTITUTION: A deposition apparatus comprises a deposition source unit including a first deposition source(11) and a second deposition source(12). The first deposition source has a first and a second side(13,14) which meet at the right angle, wherein the first side is shorter than the second side. The second deposition source has a third and a fourth side(15,16) which meet at the right angle, wherein the third side is shorter than the fourth side. The third side is arranged adjacent to the first side.

Abstract translation: 目的：提供使用其的有机发光二极管的沉积设备和制造方法，以便于在大的衬底上沉积并且能够同时沉积不同的材料。 构成：沉积装置包括包括第一沉积源（11）和第二沉积源（12）的沉积源单元。 第一沉积源具有以直角相交的第一和第二侧（13,14），其中第一侧比第二侧短。 第二沉积源具有以直角相遇的第三和第四侧（15,16），其中第三侧比第四侧短。 第三侧被布置成与第一侧相邻。

公开(公告)号：KR1020100023483A

公开(公告)日：2010-03-04

申请号：KR1020080082266

申请日：2008-08-22

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 민경수 ,  지창순

IPC: H01L21/20

CPC classification number: C23C14/243

Abstract: PURPOSE: An inner plate and a crucible assembly for deposition thereof are provided to multiply the internal pressure of the crucible assembly by changing the steam path of a depositing material from a linear form to a bypass curve form. CONSTITUTION: A main body(10) comprises an internal space and an opening(14) for storing a deposition material. An inner plate(30) covers the opening of the main body. A cap(50) includes a hole(52) in the top and covers the inner plate. An inner channel is included in order to emit the steam vapor of the deposition material through a hole to the outside. The inner plate comprises a first channel(35) and a second channel(37).

Abstract translation: 目的：提供用于沉积的内板和坩埚组件，以通过将沉积材料的蒸汽路径从线性形式改变为旁路曲线形式来乘以坩埚组件的内部压力。 构成：主体（10）包括内部空间和用于存储沉积材料的开口（14）。 内板（30）覆盖主体的开口。 盖（50）在顶部包括孔（52）并覆盖内板。 包括内部通道以便通过孔向外部喷射沉积材料的蒸气蒸气。 内板包括第一通道（35）和第二通道（37）。