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公开(公告)号：KR1020110082418A
公开(公告)日：2011-07-19
申请号：KR1020100002381
申请日：2010-01-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001 , H01L51/0002 , H01L51/0014 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition device is provided to increase manufacturing yield and deposition efficiency. CONSTITUTION: A deposition source(110) radiates a deposition material(115). A deposition source nozzle unit(120) is formed on one side of the deposition source. A plurality of deposition source nozzles(121) is formed in the deposition source nozzle unit in a first direction. A patterning slit sheet(150) faces the deposition source nozzles. The patterning slit sheet includes patterning slits(151) which is formed in a second direction.
Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置以提高制造成品率和沉积效率。 构成：沉积源（110）辐射沉积材料（115）。 沉积源喷嘴单元（120）形成在沉积源的一侧上。 在沉积源喷嘴单元中沿着第一方向形成多个沉积源喷嘴（121）。 图案化缝隙片（150）面向沉积源喷嘴。 图形化缝隙片包括沿第二方向形成的图案化缝隙（151）。
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2.发明授权박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 有权薄膜沉积设备，制造使用其的有机发光显示设备的方法以及由此制造的有机发光显示设备
公开(公告)号：KR101127578B1
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020090078171
申请日：2009-08-24
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 본 발명은 대형 기판의 양산 공정에 더욱 적합하고, 고정세의 패터닝이 가능하도록 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 위하여, 증착 물질을 방사하는 증착원과, 상기 증착원의 일 측에 배치되며 제1방향을 따라 복수개의 증착원 노즐들이 형성된 증착원 노즐부와, 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고 상기 제1방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트와, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1방향을 따라 배치되어 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수개의 증착 공간들로 구획하는 복수개의 차단판들을 포함하는 차단판 어셈블리를 포함하는 박막 증착 어셈블리를 구비하며, 상기 차단판들 각각은 상기 패터닝 슬릿 시트로부터 이격된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 제공한다.
Abstract translation: 本发明的成膜装置，制造有机光使用相同的，并且因此根据更适合于大规模生产的大型基板的制造的有机发光显示装置的发光显示装置的方法，以允许固定的三个图案，发光的沉积材料 多个蒸发源的，以及设置在所述蒸发源的一侧上的蒸发源喷嘴单元与在所述第一方向上的多个沉积源喷嘴的形成，并设置沿第一方向面对沉积源喷嘴单元 和图案化缝隙片图案化缝隙被设置，它被安排沿着沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片的沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间之间的第一方向分割成多个沉积空间 1。一种薄膜沉积组件，包括：屏蔽板组件，其包括用于分隔的多个屏蔽板， 每个屏蔽板提供了一种薄膜沉积设备，制造使用相同的，并且因此根据制造的有机发光显示装置，其特征在于，从所述图案化缝隙片隔开的有机发光显示装置的方法。
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3.发明公开박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 有权用于薄层沉积的装置，使用其制造有机发光显示装置的方法以及由该方法制造的有机发光显示装置
公开(公告)号：KR1020110020517A
公开(公告)日：2011-03-03
申请号：KR1020090078171
申请日：2009-08-24
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus, a method for manufacturing an organic light emitting display device using the apparatus, and an organic light emitting display device manufactured by the method are provided to enable application to a large substrate production line and high-precision patterning. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises an evaporator(110), an evaporator nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), and a blocking plate assembly(130). The evaporator emits materials being deposited. The evaporator nozzle unit includes a plurality of evaporator nozzles arranged in a first direction. The patterning slit sheet, in which patterning slits are arranged in the first direction, is arranged to be faced with the evaporator nozzle unit. The blocking plate assembly including a plurality of blocking plates is arranged between the evaporator nozzle unit and the patterning slit sheet in the first direction so as to divide the space between the evaporator nozzle unit and the patterning slit sheet into multiple deposition spaces.
Abstract translation: 目的：提供一种薄膜沉积装置，使用该装置的有机发光显示装置的制造方法以及通过该方法制造的有机发光显示装置，能够应用于大型基板生产线和高精度图案化。 构成：薄膜沉积装置包括蒸发器（110），蒸发器喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150）和阻挡板组件（130）。 蒸发器发出正在沉积的物质。 蒸发器喷嘴单元包括沿第一方向布置的多个蒸发器喷嘴。 图案化狭缝片沿其第一方向排列，其中图案化狭缝布置成面对蒸发器喷嘴单元。 在蒸发器喷嘴单元和图案化缝隙片之间沿第一方向布置有包括多个阻挡板的阻挡板组件，以将蒸发器喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分隔成多个沉积空间。
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公开(公告)号：KR101084184B1
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：KR1020100002381
申请日：2010-01-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001
Abstract: 본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착 물질을 방사하는 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 증착원 노즐들이 형성되는 증착원 노즐부; 및 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향에 대해 수직인 제2 방향을 따라 복수 개의 패터닝 슬릿들이 형성되는 패터닝 슬릿 시트를 포함하고, 상기 기판이 상기 박막 증착 장치에 대하여 상기 제1 방향을 따라 이동하면서 증착이 수행되고, 상기 증착원, 상기 증착원 노즐부 및 상기 패터닝 슬릿 시트는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치를 제공한다.Abstract translation: 本发明涉及的成膜装置，并且更特别地，可以容易地应用到大尺寸的板的制造方法，本发明涉及一种制造成品率得以提高成膜装置。
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