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1.发明公开박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 有权用于薄层沉积的装置，使用其制造有机发光显示装置的方法以及由该方法制造的有机发光显示装置
公开(公告)号：KR1020110019138A
公开(公告)日：2011-02-25
申请号：KR1020090076732
申请日：2009-08-19
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition device, a manufacturing method of an organic light emitting display using the same, and an organic light emitting display manufactured by the method are provided to perform fine patterning. CONSTITUTION: A thin film deposition device comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), a blocking plate assembly(130), and a blocking plate temperature controller(160). The evaporation source emits deposition materials. The evaporation source nozzle unit comprises a plurality of evaporation source nozzles(121) arranged in a first direction.
Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置，使用其的有机发光显示器的制造方法和通过该方法制造的有机发光显示器，以执行精细图案化。 构成：薄膜沉积装置包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150），阻挡板组件（130）和阻挡板温度控制器（160）。 蒸发源发射沉积材料。 蒸发源喷嘴单元包括沿第一方向布置的多个蒸发源喷嘴（121）。
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2.发明授权박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 有权用于薄层沉积的装置，使用该装置的有机发光显示装置的制造方法以及通过该方法制造的有机发光显示装置
公开(公告)号：KR101127577B1
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020090076732
申请日：2009-08-19
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 대형 기판의 양산 공정에 더욱 적합하고, 고정세의 패터닝이 가능하도록 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 위하여, 증착 물질을 방사하는 증착원과, 상기 증착원의 일 측에 배치되며 제1방향을 따라 복수개의 증착원 노즐들이 형성된 증착원 노즐부와, 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고 상기 제1방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트와, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1방향을 따라 배치되어 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수개의 증착 공간들로 구획하는 복수개의 차단판들을 포함하는 차단판 어셈블리와, 상기 차단판들 각각의 일부와 다른 일부의 온도를 상이하게 조절할 수 있는 차단판 온도조절부를 포함하는 박막 증착 어셈블리를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR101097334B1
公开(公告)日：2011-12-23
申请号：KR1020100014277
申请日：2010-02-17
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H05B33/10 , C23C16/04 , H01L21/205
Abstract: 본발명은박막증착장치에관한것으로, 상세하게는대형기판양산공정에용이하게적용될수 있고, 제조수율이향상된박막증착장치에관한것이다. 본발명은기판상에박막을형성하기위한박막증착장치에있어서, 증착물질을방사하는증착원; 상기증착원의일 측에배치되며, 제1 방향을따라복수개의증착원노즐들이형성되는증착원노즐부; 및상기증착원노즐부와대향되게배치되고, 상기제1 방향을따라복수개의패터닝슬릿들이형성되는패터닝슬릿시트를포함하고, 상기패터닝슬릿들은각각복수개의서브슬릿들을포함하는것을특징으로하는박막증착장치를제공한다.
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公开(公告)号：KR1020110102686A
公开(公告)日：2011-09-19
申请号：KR1020100021835
申请日：2010-03-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C16/52 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/54 , C23C14/568 , C23C16/042 , H01L51/5253 , H01L51/56
Abstract: 본 발명은, 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치를 제공하기 위하여, 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착 물질을 방사하는 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 증착원 노즐들이 형성된 증착원 노즐부; 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향을 따라 복수 개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트; 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1 방향을 따라 배치되어, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수 개의 증착 공간들로 구획하는 복수 개의 차단판들을 구비하는 차단판 어셈블리; 상기 패터닝 슬릿 시트에 대한 상기 기판의 상대적인 위치를 검출하는 위치 검출 부재; 및 상기 위치 검출 부재에서 검출된 상기 상대적인 위치를 이용하여, 상기 기판에 대한 상기 패터닝 슬릿 시트의 상대적인 위치를 변화시키는 얼라인 제어 부재;를 포함하고, 상기 박막 증착 장치와 상기 기판이 서로 이격되도록 배치되며, 상기 박막 증착 장치와 상기 기판은 서로 상대적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치를 제공한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110082418A
公开(公告)日：2011-07-19
申请号：KR1020100002381
申请日：2010-01-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001 , H01L51/0002 , H01L51/0014 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition device is provided to increase manufacturing yield and deposition efficiency. CONSTITUTION: A deposition source(110) radiates a deposition material(115). A deposition source nozzle unit(120) is formed on one side of the deposition source. A plurality of deposition source nozzles(121) is formed in the deposition source nozzle unit in a first direction. A patterning slit sheet(150) faces the deposition source nozzles. The patterning slit sheet includes patterning slits(151) which is formed in a second direction.
Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置以提高制造成品率和沉积效率。 构成：沉积源（110）辐射沉积材料（115）。 沉积源喷嘴单元（120）形成在沉积源的一侧上。 在沉积源喷嘴单元中沿着第一方向形成多个沉积源喷嘴（121）。 图案化缝隙片（150）面向沉积源喷嘴。 图形化缝隙片包括沿第二方向形成的图案化缝隙（151）。
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公开(公告)号：KR1020110043396A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：KR1020100014277
申请日：2010-02-17
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H05B33/10 , C23C16/04 , H01L21/205
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/205 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H05B33/10
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus is provided to help a user to easily recycle deposition material while improving production yield. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus includes a deposition source, a deposition nozzle, and a pattern silt sheet(150). A deposition material(115) discharged from a deposition source is passed through the nozzle of the deposition source and the patterning slit sheet to be deposited on a substrate by a desired pattern. The thin film deposition apparatus is relatively moved to the substrate to perform deposition. A deposition material accepted within the deposition source is deposited in the substrate. A pattern slit sheet is separated from the substrate by a certain interval between them.
Abstract translation: 目的：提供一种薄膜沉积设备，以帮助用户容易地回收沉积材料，同时提高产量。 构成：薄膜沉积装置包括沉积源，沉积喷嘴和图案淤泥片（150）。 从沉积源排出的沉积材料（115）通过沉积源的喷嘴和图案化缝隙片，以通过期望的图案沉积在基底上。 薄膜沉积装置相对移动到基板以进行沉积。 在沉积源内接受的沉积材料沉积在衬底中。 图案狭缝片在它们之间以一定的间隔与衬底分离。
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公开(公告)号：KR1020110014442A
公开(公告)日：2011-02-11
申请号：KR1020090072111
申请日：2009-08-05
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus and a method for manufacturing an organic light emitting display using the same are provided to reduce the size of shadow formed in a substrate by securing the straightness of deposited materials using cutoff plates. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises a plurality of thin film deposition assemblies. Each thin film deposition assembly comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), and a cutoff plate assembly(130). A plurality of evaporation source nozzles are formed in a first direction in the evaporation source nozzle unit. The patterning slit sheet has a plurality of patterning slits formed in the first direction. The cutoff plate assembly comprising a plurality of cutoff plates(131) is arranged in the first direction between the evaporation source nozzle unit and the patterning slit sheet. The thin film deposition apparatus is separated from a substrate(400), and one of the thin film deposition apparatus and the substrate is movable relative to the other.
Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置和使用其的有机发光显示器的制造方法，以通过使用切割板确保沉积材料的平直度来减小形成在基底中的阴影的尺寸。 构成：薄膜沉积装置包括多个薄膜沉积组件。 每个薄膜沉积组件包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150）和切割板组件（130）。 多个蒸发源喷嘴在蒸发源喷嘴单元中沿第一方向形成。 图案化缝隙片具有沿着第一方向形成的多个图形缝隙。 包括多个切断板（131）的切割板组件沿蒸发源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的第一方向布置。 薄膜沉积设备与基板（400）分离，并且薄膜沉积设备和基板之一可相对于另一个移动。
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公开(公告)号：KR101156441B1
公开(公告)日：2012-06-18
申请号：KR1020100021835
申请日：2010-03-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C16/52 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/54 , C23C14/568 , C23C16/042 , H01L51/5253 , H01L51/56
Abstract: A thin film deposition apparatus includes: a deposition source that discharges a deposition material; a deposition source nozzle unit disposed at a side of the deposition source and including a plurality of deposition source nozzles arranged in a first direction; a patterning slit sheet disposed opposite to the deposition source nozzle unit and including a plurality of patterning slits arranged in the first direction; a position detection member that detects a relative position of the substrate to the patterning slit sheet; and an alignment control member that controls a relative position of the patterning slit sheet to the substrate by using the relative position of the substrate detected by the position detection member, wherein the thin film deposition apparatus and the substrate are separated from each other, and the thin film deposition apparatus and the substrate are moved relative to each other.
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公开(公告)号：KR101084184B1
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：KR1020100002381
申请日：2010-01-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001
Abstract: 본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착 물질을 방사하는 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 증착원 노즐들이 형성되는 증착원 노즐부; 및 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향에 대해 수직인 제2 방향을 따라 복수 개의 패터닝 슬릿들이 형성되는 패터닝 슬릿 시트를 포함하고, 상기 기판이 상기 박막 증착 장치에 대하여 상기 제1 방향을 따라 이동하면서 증착이 수행되고, 상기 증착원, 상기 증착원 노즐부 및 상기 패터닝 슬릿 시트는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치를 제공한다.Abstract translation: 本发明涉及的成膜装置，并且更特别地，可以容易地应用到大尺寸的板的制造方法，本发明涉及一种制造成品率得以提高成膜装置。
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