公开(公告)号：KR101127577B1

公开(公告)日：2012-03-23

申请号：KR1020090076732

申请日：2009-08-19

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 오지숙 ,  조창목 ,  최용섭 ,  김종헌 ,  류재광 ,  이윤미

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56

Abstract: 본 발명은 대형 기판의 양산 공정에 더욱 적합하고, 고정세의 패터닝이 가능하도록 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 위하여, 증착 물질을 방사하는 증착원과, 상기 증착원의 일 측에 배치되며 제1방향을 따라 복수개의 증착원 노즐들이 형성된 증착원 노즐부와, 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고 상기 제1방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트와, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1방향을 따라 배치되어 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수개의 증착 공간들로 구획하는 복수개의 차단판들을 포함하는 차단판 어셈블리와, 상기 차단판들 각각의 일부와 다른 일부의 온도를 상이하게 조절할 수 있는 차단판 온도조절부를 포함하는 박막 증착 어셈블리를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020110014442A

公开(公告)日：2011-02-11

申请号：KR1020090072111

申请日：2009-08-05

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 오지숙 ,  최용섭 ,  김종헌 ,  강희철 ,  이윤미 ,  조창목

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/001 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus and a method for manufacturing an organic light emitting display using the same are provided to reduce the size of shadow formed in a substrate by securing the straightness of deposited materials using cutoff plates. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises a plurality of thin film deposition assemblies. Each thin film deposition assembly comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), and a cutoff plate assembly(130). A plurality of evaporation source nozzles are formed in a first direction in the evaporation source nozzle unit. The patterning slit sheet has a plurality of patterning slits formed in the first direction. The cutoff plate assembly comprising a plurality of cutoff plates(131) is arranged in the first direction between the evaporation source nozzle unit and the patterning slit sheet. The thin film deposition apparatus is separated from a substrate(400), and one of the thin film deposition apparatus and the substrate is movable relative to the other.

Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置和使用其的有机发光显示器的制造方法，以通过使用切割板确保沉积材料的平直度来减小形成在基底中的阴影的尺寸。 构成：薄膜沉积装置包括多个薄膜沉积组件。 每个薄膜沉积组件包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150）和切割板组件（130）。 多个蒸发源喷嘴在蒸发源喷嘴单元中沿第一方向形成。 图案化缝隙片具有沿着第一方向形成的多个图形缝隙。 包括多个切断板（131）的切割板组件沿蒸发源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的第一方向布置。 薄膜沉积设备与基板（400）分离，并且薄膜沉积设备和基板之一可相对于另一个移动。

公开(公告)号：KR101127578B1

公开(公告)日：2012-03-23

申请号：KR1020090078171

申请日：2009-08-24

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 김종헌 ,  박현숙 ,  류재광 ,  강희철 ,  오지숙

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 본 발명은 대형 기판의 양산 공정에 더욱 적합하고, 고정세의 패터닝이 가능하도록 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 위하여, 증착 물질을 방사하는 증착원과, 상기 증착원의 일 측에 배치되며 제1방향을 따라 복수개의 증착원 노즐들이 형성된 증착원 노즐부와, 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고 상기 제1방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트와, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1방향을 따라 배치되어 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수개의 증착 공간들로 구획하는 복수개의 차단판들을 포함하는 차단판 어셈블리를 포함하는 박막 증착 어셈블리를 구비하며, 상기 차단판들 각각은 상기 패터닝 슬릿 시트로부터 이격된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 제공한다.

Abstract translation: 本发明的成膜装置，制造有机光使用相同的，并且因此根据更适合于大规模生产的大型基板的制造的有机发光显示装置的发光显示装置的方法，以允许固定的三个图案，发光的沉积材料 多个蒸发源的，以及设置在所述蒸发源的一侧上的蒸发源喷嘴单元与在所述第一方向上的多个沉积源喷嘴的形成，并设置沿第一方向面对沉积源喷嘴单元 和图案化缝隙片图案化缝隙被设置，它被安排沿着沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片的沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间之间的第一方向分割成多个沉积空间 1。一种薄膜沉积组件，包括：屏蔽板组件，其包括用于分隔的多个屏蔽板， 每个屏蔽板提供了一种薄膜沉积设备，制造使用相同的，并且因此根据制造的有机发光显示装置，其特征在于，从所述图案化缝隙片隔开的有机发光显示装置的方法。

公开(公告)号：KR1020110020517A

公开(公告)日：2011-03-03

申请号：KR1020090078171

申请日：2009-08-24

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 김종헌 ,  박현숙 ,  류재광 ,  강희철 ,  오지숙

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus, a method for manufacturing an organic light emitting display device using the apparatus, and an organic light emitting display device manufactured by the method are provided to enable application to a large substrate production line and high-precision patterning. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises an evaporator(110), an evaporator nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), and a blocking plate assembly(130). The evaporator emits materials being deposited. The evaporator nozzle unit includes a plurality of evaporator nozzles arranged in a first direction. The patterning slit sheet, in which patterning slits are arranged in the first direction, is arranged to be faced with the evaporator nozzle unit. The blocking plate assembly including a plurality of blocking plates is arranged between the evaporator nozzle unit and the patterning slit sheet in the first direction so as to divide the space between the evaporator nozzle unit and the patterning slit sheet into multiple deposition spaces.

Abstract translation: 目的：提供一种薄膜沉积装置，使用该装置的有机发光显示装置的制造方法以及通过该方法制造的有机发光显示装置，能够应用于大型基板生产线和高精度图案化。 构成：薄膜沉积装置包括蒸发器（110），蒸发器喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150）和阻挡板组件（130）。 蒸发器发出正在沉积的物质。 蒸发器喷嘴单元包括沿第一方向布置的多个蒸发器喷嘴。 图案化狭缝片沿其第一方向排列，其中图案化狭缝布置成面对蒸发器喷嘴单元。 在蒸发器喷嘴单元和图案化缝隙片之间沿第一方向布置有包括多个阻挡板的阻挡板组件，以将蒸发器喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分隔成多个沉积空间。

公开(公告)号：KR1020110019138A

公开(公告)日：2011-02-25

申请号：KR1020090076732

申请日：2009-08-19

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 오지숙 ,  조창목 ,  최용섭 ,  김종헌 ,  류재광 ,  이윤미

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56

Abstract: PURPOSE: A thin film deposition device, a manufacturing method of an organic light emitting display using the same, and an organic light emitting display manufactured by the method are provided to perform fine patterning. CONSTITUTION: A thin film deposition device comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), a blocking plate assembly(130), and a blocking plate temperature controller(160). The evaporation source emits deposition materials. The evaporation source nozzle unit comprises a plurality of evaporation source nozzles(121) arranged in a first direction.

Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置，使用其的有机发光显示器的制造方法和通过该方法制造的有机发光显示器，以执行精细图案化。 构成：薄膜沉积装置包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150），阻挡板组件（130）和阻挡板温度控制器（160）。 蒸发源发射沉积材料。 蒸发源喷嘴单元包括沿第一方向布置的多个蒸发源喷嘴（121）。