公开(公告)号：KR1020110019138A

公开(公告)日：2011-02-25

申请号：KR1020090076732

申请日：2009-08-19

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 오지숙 ,  조창목 ,  최용섭 ,  김종헌 ,  류재광 ,  이윤미

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56

Abstract: PURPOSE: A thin film deposition device, a manufacturing method of an organic light emitting display using the same, and an organic light emitting display manufactured by the method are provided to perform fine patterning. CONSTITUTION: A thin film deposition device comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), a blocking plate assembly(130), and a blocking plate temperature controller(160). The evaporation source emits deposition materials. The evaporation source nozzle unit comprises a plurality of evaporation source nozzles(121) arranged in a first direction.

Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置，使用其的有机发光显示器的制造方法和通过该方法制造的有机发光显示器，以执行精细图案化。 构成：薄膜沉积装置包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150），阻挡板组件（130）和阻挡板温度控制器（160）。 蒸发源发射沉积材料。 蒸发源喷嘴单元包括沿第一方向布置的多个蒸发源喷嘴（121）。

公开(公告)号：KR1020110082418A

公开(公告)日：2011-07-19

申请号：KR1020100002381

申请日：2010-01-11

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박현숙 ,  조창목 ,  강희철 ,  이윤미 ,  성운철 ,  최용섭 ,  김종헌 ,  류재광

IPC: H01L51/40 ,  H01L51/50

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/042 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0002 ,  H01L51/0014 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

Abstract: PURPOSE: A thin film deposition device is provided to increase manufacturing yield and deposition efficiency. CONSTITUTION: A deposition source(110) radiates a deposition material(115). A deposition source nozzle unit(120) is formed on one side of the deposition source. A plurality of deposition source nozzles(121) is formed in the deposition source nozzle unit in a first direction. A patterning slit sheet(150) faces the deposition source nozzles. The patterning slit sheet includes patterning slits(151) which is formed in a second direction.

Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置以提高制造成品率和沉积效率。 构成：沉积源（110）辐射沉积材料（115）。 沉积源喷嘴单元（120）形成在沉积源的一侧上。 在沉积源喷嘴单元中沿着第一方向形成多个沉积源喷嘴（121）。 图案化缝隙片（150）面向沉积源喷嘴。 图形化缝隙片包括沿第二方向形成的图案化缝隙（151）。

公开(公告)号：KR1020110014442A

公开(公告)日：2011-02-11

申请号：KR1020090072111

申请日：2009-08-05

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 오지숙 ,  최용섭 ,  김종헌 ,  강희철 ,  이윤미 ,  조창목

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/001 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus and a method for manufacturing an organic light emitting display using the same are provided to reduce the size of shadow formed in a substrate by securing the straightness of deposited materials using cutoff plates. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises a plurality of thin film deposition assemblies. Each thin film deposition assembly comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), a patterning slit sheet(150), and a cutoff plate assembly(130). A plurality of evaporation source nozzles are formed in a first direction in the evaporation source nozzle unit. The patterning slit sheet has a plurality of patterning slits formed in the first direction. The cutoff plate assembly comprising a plurality of cutoff plates(131) is arranged in the first direction between the evaporation source nozzle unit and the patterning slit sheet. The thin film deposition apparatus is separated from a substrate(400), and one of the thin film deposition apparatus and the substrate is movable relative to the other.

Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积装置和使用其的有机发光显示器的制造方法，以通过使用切割板确保沉积材料的平直度来减小形成在基底中的阴影的尺寸。 构成：薄膜沉积装置包括多个薄膜沉积组件。 每个薄膜沉积组件包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120），图案化缝隙片（150）和切割板组件（130）。 多个蒸发源喷嘴在蒸发源喷嘴单元中沿第一方向形成。 图案化缝隙片具有沿着第一方向形成的多个图形缝隙。 包括多个切断板（131）的切割板组件沿蒸发源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的第一方向布置。 薄膜沉积设备与基板（400）分离，并且薄膜沉积设备和基板之一可相对于另一个移动。

公开(公告)号：KR101127577B1

公开(公告)日：2012-03-23

申请号：KR1020090076732

申请日：2009-08-19

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 오지숙 ,  조창목 ,  최용섭 ,  김종헌 ,  류재광 ,  이윤미

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56

Abstract: 본 발명은 대형 기판의 양산 공정에 더욱 적합하고, 고정세의 패터닝이 가능하도록 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 위하여, 증착 물질을 방사하는 증착원과, 상기 증착원의 일 측에 배치되며 제1방향을 따라 복수개의 증착원 노즐들이 형성된 증착원 노즐부와, 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고 상기 제1방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트와, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1방향을 따라 배치되어 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수개의 증착 공간들로 구획하는 복수개의 차단판들을 포함하는 차단판 어셈블리와, 상기 차단판들 각각의 일부와 다른 일부의 온도를 상이하게 조절할 수 있는 차단판 온도조절부를 포함하는 박막 증착 어셈블리를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR101084238B1

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：KR1020090108270

申请日：2009-11-10

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박재석 ,  이윤미

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D7/04

CPC classification number: H01L51/0003 ,  B05B1/20 ,  B41J2/14 ,  H01L21/6715 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/0005

Abstract: 디스펜싱 장치는 유체가 흐를 수 있는 채널을 포함하는 본체부 및 상기 본체부와 연결되어 있으며 상기 채널과 연통하여 상기 유체를 디스펜싱(dispensing)하는 복수개의 노즐부를 포함하는 디스펜싱부, 상기 복수개의 노즐부 중 이웃하는 노즐부의 간격을 센싱하는 간격 센서부 및 상기 간격 센서부가 센싱한 상기 이웃하는 노즐부의 간격에 기초하여 상기 이웃하는 노즐부의 간격이 설정된 간격에 도달하도록 상기 본체부를 열팽창시키는 열팽창 조절부를 포함한다.
디스펜싱, 센서부, 열팽창

公开(公告)号：KR101084184B1

公开(公告)日：2011-11-17

申请号：KR1020100002381

申请日：2010-01-11

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박현숙 ,  조창목 ,  강희철 ,  이윤미 ,  성운철 ,  최용섭 ,  김종헌 ,  류재광

IPC: H01L51/40 ,  H01L51/50

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/042 ,  H01L51/001

Abstract: 본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착 물질을 방사하는 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 증착원 노즐들이 형성되는 증착원 노즐부; 및 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향에 대해 수직인 제2 방향을 따라 복수 개의 패터닝 슬릿들이 형성되는 패터닝 슬릿 시트를 포함하고, 상기 기판이 상기 박막 증착 장치에 대하여 상기 제1 방향을 따라 이동하면서 증착이 수행되고, 상기 증착원, 상기 증착원 노즐부 및 상기 패터닝 슬릿 시트는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치를 제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及的成膜装置，并且更特别地，可以容易地应用到大尺寸的板的制造方法，本发明涉及一种制造成品率得以提高成膜装置。

公开(公告)号：KR1020110051614A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：KR1020090108270

申请日：2009-11-10

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박재석 ,  이윤미

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D7/04

CPC classification number: H01L51/0003 ,  B05B1/20 ,  B41J2/14 ,  H01L21/6715 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/0005

Abstract: PURPOSE: A dispensing apparatus and a dispensing method using the same are provided to accurately apply organic light emitting materials on a plurality of pixels, which is arranged in an organic light emitting display apparatus, with deviations. CONSTITUTION: A dispensing apparatus(100) includes a dispensing part(130), an interval sensing part(140), and a thermal expansion controlling part(150). The dispensing part includes a main body part and a plurality of nozzle parts. The main body part includes a channel. The nozzle parts are in connection with the main body part and dispense the fluid through the channel. The interval sensing part senses the interval of the nozzles. The thermal expansion controlling part implements a thermal expansion process with respect to the main body part in order to change the interval of the nozzle parts.

Abstract translation: 目的：提供一种分配装置和使用其的分配方法，以将有机发光材料准确地应用于布置在有机发光显示装置中的多个像素上，偏移。 构成：分配装置（100）包括分配部（130），间隔检测部（140）和热膨胀控制部（150）。 分配部包括主体部和多个喷嘴部。 主体部分包括一个通道。 喷嘴部分与主体部分相连，并通过通道分配流体。 间隔检测部件感测喷嘴的间隔。 为了改变喷嘴部的间隔，热膨胀控制部相对于主体部进行热膨胀处理。