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公开(公告)号：KR1020110043396A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：KR1020100014277
申请日：2010-02-17
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H05B33/10 , C23C16/04 , H01L21/205
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/205 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H05B33/10
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus is provided to help a user to easily recycle deposition material while improving production yield. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus includes a deposition source, a deposition nozzle, and a pattern silt sheet(150). A deposition material(115) discharged from a deposition source is passed through the nozzle of the deposition source and the patterning slit sheet to be deposited on a substrate by a desired pattern. The thin film deposition apparatus is relatively moved to the substrate to perform deposition. A deposition material accepted within the deposition source is deposited in the substrate. A pattern slit sheet is separated from the substrate by a certain interval between them.
Abstract translation: 目的：提供一种薄膜沉积设备，以帮助用户容易地回收沉积材料，同时提高产量。 构成：薄膜沉积装置包括沉积源，沉积喷嘴和图案淤泥片（150）。 从沉积源排出的沉积材料（115）通过沉积源的喷嘴和图案化缝隙片，以通过期望的图案沉积在基底上。 薄膜沉积装置相对移动到基板以进行沉积。 在沉积源内接受的沉积材料沉积在衬底中。 图案狭缝片在它们之间以一定的间隔与衬底分离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101097334B1
公开(公告)日：2011-12-23
申请号：KR1020100014277
申请日：2010-02-17
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H05B33/10 , C23C16/04 , H01L21/205
Abstract: 본발명은박막증착장치에관한것으로, 상세하게는대형기판양산공정에용이하게적용될수 있고, 제조수율이향상된박막증착장치에관한것이다. 본발명은기판상에박막을형성하기위한박막증착장치에있어서, 증착물질을방사하는증착원; 상기증착원의일 측에배치되며, 제1 방향을따라복수개의증착원노즐들이형성되는증착원노즐부; 및상기증착원노즐부와대향되게배치되고, 상기제1 방향을따라복수개의패터닝슬릿들이형성되는패터닝슬릿시트를포함하고, 상기패터닝슬릿들은각각복수개의서브슬릿들을포함하는것을특징으로하는박막증착장치를제공한다.
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公开(公告)号：KR1020110059965A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：KR1020090116421
申请日：2009-11-30
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/203 , H01L51/56
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: A deposition source, a deposition device including the same, and a method for forming a thin film are provided to prevent the deformation of the deposition materials by cooling a crucible which is not used for a deposition process. CONSTITUTION: A first deposition source(20) and a second deposition source(30) store deposition materials and alternatively supply the deposition materials by heating or cooling the deposition materials. A transfer unit(40) is connected to the first and second deposition sources. The deposition materials supplied from the first or second deposition source moves by a transfer unit. The deposition sources are connected to the transfer unit and include nozzle units(50). The nozzle unit discharges the deposition materials supplied via the transfer unit.
Abstract translation: 目的：提供沉积源，包括该沉积源的沉积装置和用于形成薄膜的方法，以通过冷却不用于沉积工艺的坩埚来防止沉积材料的变形。 构成：第一沉积源（20）和第二沉积源（30）存储沉积材料，并且替代地通过加热或冷却沉积材料来供应沉积材料。 传送单元（40）连接到第一和第二沉积源。 由第一或第二沉积源提供的沉积材料由转移单元移动。 沉积源连接到转印单元并且包括喷嘴单元（50）。 喷嘴单元排出经由转印单元供给的沉积材料。
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公开(公告)号：KR101084234B1
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：KR1020090116421
申请日：2009-11-30
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/203 , H01L51/56
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 본 발명은 열에 의해 증착 물질이 변성되는 것을 방지할 수 있으며, 재료 이용 효율을 증대시킬 수 있는 증착원, 이를 구비하는 증착 장치 및 박막 형성 방법에 관한 것이다.
본 발명은 증착 물질을 저장하고, 상기 증착 물질을 가열하거나 냉각하면서 상기 증착 물질을 교대로 공급하는 제1 및 제2 증착원부, 상기 제1 및 제2 증착원부와 연결되며, 상기 제1 또는 제2 증착원으로부터 공급되는 증착 물질이 이동하는 이송부 및 상기 이송부와 연결되며, 상기 이송부를 거쳐 공급되는 증착 물질을 분출하는 노즐부를 포함하는 증착원을 제공한다.
증착, 도가니, 가열, 냉각, 박막-
公开(公告)号：KR101058117B1
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：KR1020100025305
申请日：2010-03-22
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L27/3211 , H01L51/001 , H01L51/56 , H01L27/3218 , H01L51/0011 , H01L2251/56
Abstract: PURPOSE: A mask assembly for the thin film deposition in which miniature of a small size product of the high definition, an organic light-emitting device using this and a manufacturing method thereof are provided to rid from selection of materials for a organic layer by randomly controlling an emitting area of a plurality of colors and to produce the small size product of the high definition by arranging the organic layer of a plurality of colors. CONSTITUTION: An organic light-emitting device comprises a first electrode and a second electrode which is patterned to be each other faced on the top of a substrate and a plurality of organic films(221,222,223) formed between the first electrode and the second electrode. The first electrode comprises a plurality of organic films of stripe type and one discontinuous organic film of dot type. The plurality of organic films of stripe type comprises a first organic film which is expended from the edge of the substrate to another edge according to a first direction of the substrate and a second organic film which is crossed with the first organic film.
Abstract translation: 目的：提供一种用于薄膜沉积的面罩组件，其中使用高清晰度的小尺寸产品的微型化，使用该方法的有机发光装置及其制造方法被设置为通过随机地选择有机层的材料 通过布置多种颜色的有机层来控制多种颜色的发光区域并产生高清晰度的小尺寸产品。 构成：有机发光装置包括第一电极和第二电极，该第一电极和第二电极被图案化以彼此面对在基板的顶部上，以及形成在第一电极和第二电极之间的多个有机膜（221,222,223）。 第一电极包括多个条形有机膜和一种点型不连续有机膜。 多个有条纹的有机膜包括根据基板的第一方向从基板的边缘延伸到另一边缘的第一有机膜和与第一有机膜交叉的第二有机膜。
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公开(公告)号：KR1020050071801A
公开(公告)日：2005-07-08
申请号：KR1020040000122
申请日：2004-01-02
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/505
Abstract: 적어도 벽체 일부가 유전체벽으로 구성되며, 증착막이 형성될 기판을 수용하는 공정챔버; 공정챔버 외부에 상기 유전체벽의 적어도 일부와 근접하도록 배치되며, 고주파 전압이 인가되는 코일형 도체로 이루어진 고주파 안테나; 공정챔버 내부에서 고주파 안테나가 감겨지는 평면과 실질적으로 평행하게 기판을 장착하는 하부전극; 고주파 안테나에 고주파 전력을 인가하는 전력인가부; 공정챔버에 진공을 인가하기 위해 연결되는 진공라인; 및 증착막의 소오스 가스를 공급하는 가스 공급라인을 구비하여 이루어지는 저온 화학기상증착 장치에 있어서, 고주파 안테나에 근접한 유전체벽 부분과 공정챔버 내의 플라즈마 형성 공간 사이에 위치되는 도전체로서 고주파 안테나의 코일형 도체가 위치하는 부분에 대응되고 코일형 도체와 절연되도록 패러데이 실드가 더 구비되는 저온 화학기상증착 장치가 개시된다.
본 발명에 따르면, 고주파 안테나의 코일선으로부터 발생되는 수직 전기장을 효과적으로 차단하여 플라즈마 내의 하전 입자들이 진동하면서 기판에 충돌되어 기판 온도를 상승시키는 것을 방지할 수 있다.
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