-
公开(公告)号：KR1020160008445A
公开(公告)日：2016-01-22
申请号：KR1020140179301
申请日：2014-12-12
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 본발명의액추에이터유닛은동일평면상에배치되는고정부와지지부를연결하는복수의구동부; 상기지지부가상기평면과일치되지않은다른평면상에배치되도록상기구동부를변형시키는액추에이터; 및상기구동부의변위를측정하도록구성되는센서;를포함한다.
Abstract translation: 执行器单元包括连接固定部分和支撑部分的多个驱动部件，所述固定部件和支撑部件设置为共面的; 致动器，其构造成使所述驱动部变形，以相对于所述固定部分驱动所述支撑部分脱离所述共面关系; 以及传感器，其构造成测量所述驱动部的变形的位移量。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150046631A
公开(公告)日：2015-04-30
申请号：KR1020130126092
申请日：2013-10-22
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/0802
Abstract: 본발명의일실시예에따른압저항감지모듈은압저항체와, 상기압저항체의일부영역에형성된디플리션레이어(depletion layer)와, 상기디플리션레이어및 압저항체의일면을커버하도록형성된절연체와, 상기디플리션레이어에대향되도록상기절연체에형성된피에조일렉트릭캐패시터(piezoelectric capacitor)를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的压阻感测模块包括：压电电阻器; 形成在压电电阻器的部分区域上的耗尽层; 形成为覆盖耗尽层的一侧的绝缘体和压电电阻器; 以及形成在绝缘体上并面向耗尽层的压电电容器。 压电感测模块能够保持光束的刚度并提高灵敏度。
-
公开(公告)号：KR101194536B1
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：KR1020110036961
申请日：2011-04-20
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: G01P15/08 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0315 , B81C1/00269 , B81C2203/032 , G01C19/5663 , G01P15/0802 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902 , Y10T29/4908 , Y10T29/49124
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an inertia sensor is provided to reutilize polymer after forming a cavity and to easily attach a cap to an element substrate using the polymer. CONSTITUTION: Polymer(120) is spread on a base substrate with uniform thickness. The base substrate is a silicon substrate. The polymer is patterned and an opening portion is formed on center of the polymer. A cavity(115) is formed on the base substrate which is opened from the opening portion through an etching process in a thickness direction. The etching process is a dry etching process. A cap(130) is completed. A cap is attached to an element substrate(140) using the polymer.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造惯性传感器的方法，用于在形成空腔之后对聚合物进行再利用，并且使用聚合物容易地将帽附接到元件基底。 构成：聚合物（120）在均匀厚度的基底上铺展。 基底是硅衬底。 聚合物被图案化并且在聚合物的中心上形成开口部分。 通过在厚度方向的蚀刻工艺从开口部开口的基底基板上形成有空腔（115）。 蚀刻工艺是干蚀刻工艺。 盖（130）完成。 使用聚合物将盖附接到元件基板（140）。
-
公开(公告)号：KR101521712B1
公开(公告)日：2015-05-19
申请号：KR1020130126092
申请日：2013-10-22
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/0802
Abstract: 본발명의일실시예에따른압저항감지모듈은압저항체와, 상기압저항체의일부영역에형성된디플리션레이어(depletion layer)와, 상기디플리션레이어및 압저항체의일면을커버하도록형성된절연체와, 상기디플리션레이어에대향되도록상기절연체에형성된피에조일렉트릭캐패시터(piezoelectric capacitor)를포함한다.
-
-
公开(公告)号：KR1020140146828A
公开(公告)日：2014-12-29
申请号：KR1020130069621
申请日：2013-06-18
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: G01P15/09
CPC classification number: G01P15/0922 , G01C19/5642 , G01P1/023
Abstract: An acceleration sensor according to an embodiment of the present invention includes a mass, a flexible beam which an electrode or a piezoelectric element is arranged in, and is combined with the mass, and a support part which is connected to the flexible beam and supports the flexible beam to make the mass float. The connection part of the flexible beam with the mass is located under the connection part of the flexible beam with the support part.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的加速度传感器包括质量块，电极或压电元件布置在其中并与质量组合的柔性梁，以及连接到柔性梁并支撑柔性梁的支撑部分 柔性梁使质量浮动。 柔性梁与质量块的连接部分位于柔性梁与支撑部分的连接部分下方。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.016 seconds)
