公开(公告)号：KR100800467B1

公开(公告)日：2008-02-04

申请号：KR1020020000503

申请日：2002-01-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김대근 ,  김동준 ,  김진우 ,  박재현 ,  김용희 ,  김국민 ,  조민수 ,  류의열

IPC: H01L21/8247

Abstract: 본 발명은 셀렉트 게이트 전극의 선폭을 일정하게 할 수 있는 스플릿 게이트 플래쉬 메모리 소자의 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명은, 반도체 기판 상부에, 플로팅 게이트 전극을 포함하는 한 쌍의 스페이서를 형성한다. 다음, 상기 스페이서 사이의 반도체 기판에 소오스 영역을 형성하고, 상기 스페이서 사이의 공간에 소오스 영역과 콘택되도록 소오스 라인을 형성한다. 그후, 상기 스페이서 및 소오스 라인을 포함하는 반도체 기판 상부에 게이트 산화막을 형성하고, 상기 게이트 산화막 상부에 셀렉트 게이트용 도전층을 형성한다. 상기 셀렉트 게이트용 도전층 상부에 반사 방지막을 형성하고, 상기 셀렉트 게이트용 도전층 상부에 실리콘 질화막을 증착한다. 그후, 상기 소오스 라인의 표면이 노출되도록 실리콘 질화막, 반사 방지막 및 셀렉트 게이트용 도전층을 화학적 기계적 연마하고, 상기 셀렉트 게이트용 도전층 양 측벽에 있는 반사 방지막을 선택적으로 제거한다. 이어서, 상기 반도체 기판 결과물을 열산화하여, 상기 셀렉트 게이트용 도전층의 측벽과 상부 표면 및 소오스 라인 표면에 산화막 패턴을 형성하고, 상기 산화막 패턴을 마스크로 하여, 상기 셀렉트 게이트용 도전층을 식각하여, 셀렉트 게이트 전극을 형성한다.
스플릿 게이트, 셀렉트 게이트, 반사 방지막

公开(公告)号：KR100546330B1

公开(公告)日：2006-01-26

申请号：KR1020030035603

申请日：2003-06-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박상욱 ,  유재민 ,  권철순 ,  김진우 ,  박재현 ,  김용희 ,  이돈우 ,  김대근 ,  김주찬 ,  김국민 ,  류의열

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L22/34 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 측정용 패턴을 개선하여 측정의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 측정용 패턴을 구비하는 반도체장치 및 이를 이용한 반도체장치의 측정방법이 개시된다. 본 발명에 따른 측정용 패턴을 구비하는 반도체장치는, 반도체 집적회로가 형성되는 칩영역과 상기 칩영역을 둘러싸는 스크라이브영역을 포함하는 반도체기판; 상기 스크라이브영역 내의 상기 반도체기판의 표면에 빈 공간의 형태로 형성되며, 계측설비의 측정용 빔이 투사되는 빔영역이 포함될 수 있도록 일정한 표면 단면적을 갖는 측정용 패턴; 및 상기 측정용 패턴의 내부에, 상기 측정용 패턴의 빈 공간의 표면 단면적을 감소, 예를 들어 빔영역의 표면 단면적 대비 더미 패턴의 표면 단면적의 비율이 5% 내지 15%가 될 수 있도록 더미 패턴을 포함한다.

公开(公告)号：KR1020050020507A

公开(公告)日：2005-03-04

申请号：KR1020030058520

申请日：2003-08-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김대근 ,  권철순 ,  김진우 ,  김용희 ,  김주찬 ,  류의열

IPC: H01L27/115

Abstract: PURPOSE: A method for forming a split gate electrode of an NVM(non-volatile memory) device is provided to make a gate oxide layer under a control gate of a split gate electrode have a withstand voltage with respect to a high voltage applied to the control gate and make the oxide layer in contact with a control gate sidewall smoothen a tunneling effect of electrons by making the oxide layers existing between the control gate and a floating gate and under the control gate have different thicknesses. CONSTITUTION: After a nitride layer pattern selectively exposing a polysilicon layer is formed, a spacer oxide layer with a uniform thickness is formed. An etch-back process is performed to form a spacer and a split polysilicon layer pattern and a source line is formed in the opening of the nitride layer pattern. After the exposed nitride layer pattern and the exposed polysilicon layer pattern are etched to form a split floating gate, the gate oxide layer existing in a region except the split floating gate is etched to a degree that a substrate(100) is not exposed. The second gate oxide layer with a uniform thickness is formed on the resultant structure.

Abstract translation: 目的：提供一种用于形成NVM（非易失性存储器）器件的分离栅电极的方法，以使分裂栅电极的控制栅极下方的栅极氧化层具有相对于施加到该栅极电极的高电压的耐受电压 控制栅极，并使氧化层与控制栅极侧壁接触，通过使控制栅极和浮动栅极之间以及控制栅极下方的氧化物层具有不同的厚度来平滑电子的隧道效应。 构成：在形成选择性地暴露多晶硅层的氮化物层图案之后，形成厚度均匀的间隔氧化物层。 执行回蚀处理以形成间隔物和分裂多晶硅层图案，并且在氮化物层图案的开口中形成源极线。 在暴露的氮化物层图案和暴露的多晶硅层图案被蚀刻以形成分离浮置栅极之后，存在于除了分离的浮置栅极之外的区域中的栅极氧化物层被蚀刻到基板（100）不暴露的程度。 在所得结构上形成具有均匀厚度的第二栅极氧化物层。

公开(公告)号：KR100193737B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960029397

申请日：1996-07-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용희

IPC: G06F1/28

Abstract: 본 발명은 내부에 설치된 전원공급부에서 제공되는 전원이 차단될 때 호스트로부터 제공되는 전원이 USB 허브(unverse serial bus hub)를 통하여 허브접속되는 주변기기(USB devices)로 선택적으로 공급할 수 있는 모니터장치와 이 모니터장치에서 정격범위를 초과한 이상전원이 USB 디바이스로 제공될 때 해당 포트를 통하여 공급되는 전원을 차단시키는 전원공급제어방법을 개시하고 있고, 그의 구성은 외부로부터 상기 전원공급부로의 전원공급/차단을 절환하고 그리고 그 절환상태신호를 출력하는 전원스위치(91)와, 상기 전원공급부에서 제공되는 전원으로부터 전원공급/차단상태신호를 검출하는 전원레벨검출부(92)와, 상기 절환상태신호와 전원공급/차단상태신호중 적어도 어느 하나의 신호가 입력될 때 스위칭제어신호를 출력하는 논리회로부(93)와, 상기 � �위칭제어신호에 응답하여서 상기 전원공급부에서 제공되는 전원과 상기 업스트림포트(UP1)를 경유하여 제공되는 호스트전원중 하나를 선택하여 공급하는 파워스위칭부(94)와, 상기 허브포트(DP1-DP3)로 제공되는 전원의 과전류상태를 검출하여 검출신호(CD1- CD3)를 발생하고 이 검출신호에 응답해서 출력하는 상기 USB 제어부(62)의 제어신호(CS1-CS3)에 의해서 상기 허브포트로의 전원공급을 차단하는 과전류검출/차단부(95-97)를 구비한다. 이 디스플레이장치에 의하면, 모니터장치내의 전원공급부로부터의 전원공급이 차단되더라도 호스트에 접속된 허브포트를 통하여 제공되는 호스트전원에 의해 이에 접속된 USB 디바이스들이 작동되게 할 수 있고, 그리고 모니터장치에 접속된 USB 디바이스로 공급되는 전원이 정격범위를 초과하는 경우를 검출하여 해당 포트를 통하여 공급되는 전원을 차단하여 USB 디바이스를 보호할 수 있다.

公开(公告)号：KR100173428B1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：KR1019960009318

申请日：1996-03-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용희

IPC: G06F3/14

CPC classification number: G09G1/167 ,  G09G2370/04 ,  H04N17/045

Abstract: 여기서는, 사용자에게 다양한 모니터 기능들의 제어를 가능하게 하는 저생산가의 모니터 제어 장치를 제공하기 위해, 모니터 기능들을 조정하는 기능 조정 회로(20)와, 수직 수평 동기 신호들을 동일한 극성을 갖는 신호들로 변환하는 극성 변환 회로(30), 클럭이 합성된 R 신호와 제어 데이터가 합성된 B 신호들의 직류 바이어스를 일정하게 조정하는 바이어스 조정회로(40), 비디오 신호들로부터 클럭 신호 및 제어 정보 신호를 추출해 내는 신호 추출 회로(50) 및, 제어 정보 신호를 입력받아 기능 조정 회로(20)를 제어하는 마이크로컨트롤러(60)로 구성되는 모니터 제어 장치가 제공된다. 사용자가 키보드와 같은 입력 장치를 이용하여 모니터 표시 기능의 제어를 위한 정보를 입력하면, 컴퓨터(1)는 R, G, B 신호들 중 어느 하나에 클럭 신호(CLK1)를, 다른 하나에는 제어 정보 신호(DATA)를 각각 합성하여 비디오 신호선(VGA 케이블)을 통하여 본 발명의 모니터 제어 장치로 제공하고, 마이크로컨트롤러(60)는 제어 정보 신호(DATA) 및 컨트롤 패널로부터 제공되는 정보에 따라서 모니터의 각종 기능들을 제어한다. 이로써 RS232C 인터페이스 회로와 케이블이 불필요하며, 사용자가 모니터의 프론트 컨트롤 패널이나 컴퓨터의 입력 장치를 통하여 다양한 모니터 기능들을 용이하게 제어할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1019980085004A

公开(公告)日：1998-12-05

申请号：KR1019970020944

申请日：1997-05-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용희

IPC: H04N5/66 ,  H04N3/16

Abstract: 본 발명은 디스플레이 장치의 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 컴퓨터로부터 디스플레이 장치에 제공되는 비디오 영상신호(R, G, B)를 샘플링하여 디지탈화 시킨 후 해당 신호에 적합한 모니터 제어동작을 수행할 수 있는 디스플레이 장치의 제어 방법에 관한 것이다.
컴퓨터 프로그램을 구동시켜 모니터 제어를 위한 기능을 선택하고 컴퓨터 비데오 카드를 통해 제어신호를 출력하는 과정과, 컴퓨터로부터 전송되는 색상신호를 샘플링하여 제어기능을 분석하고 그 수행하는 과정으로 진행된다.
RS232C 등의 별도의 케이블을 이용하거나 USB 장치를 채용하지 않은 시스템에서도 소프트웨어를 이용하여 모니터를 조절할 수 있다. 모니터 일측면에 설치되는 조절용 키를 줄일 수 있으며, 사용자에게 다양한 기능의 조정을 가능하게 한다. 또한 모니터의 생산원가를 절감시킬 수 있는 효과와 함께 모니터 전면부 디자인의 단순화를 꾀할 수 있는 효과를 가진다.

公开(公告)号：KR1019970076190A

公开(公告)日：1997-12-12

申请号：KR1019960014792

申请日：1996-05-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용희

IPC: G06F1/28

Abstract: 본 발명은 내부에 설치된 전원공급장치에서 제공되는 전원을 USB 허브를 통하여 허브접속되는 주변기기로 선택적으로 공급할 수 있는 모니터 장치와 이 모니터장치에서 정격범위를 초과한 이상전원이 USB 디바이스로 제공될 때 해당 포트를 통하여 공급되는 전원을 차단시키는 방법에 관헌 것으로서, 루트 허브를 구비한 컴퓨터장치(10)와 접속되어서 정보를 디스플레이하도록 제어되고 그리고 전원공급부를 구비하고, 또한 상기 컴퓨터장치(10)의 루트 허브와 접속되는 업스트림포트(UP1)와 상기 컴퓨터장치(10)로부터 제공되는 전원스위치정보를 상기 업스트림포트를 통하여 받아서 상기 전원공급부에서 공급되는 전원을 선택적으로 출력하는 다운스트림포트(DP1-DP3)를 갖는 USB 허브를 구비한다. 이 디스플레이장치에 의하면, 컴퓨터의 주변기기들을 통상적으로 컴퓨터사용자가 위치하고 있는 모니터 장치의 전면 또는 후면에 설치된 허브포트를 통하여 접속할 수 있기 때문에, 사용자가 주변기기의 설치를 용이하게 할 수 있다.

公开(公告)号：KR100111967B1

公开(公告)日：1997-02-12

申请号：KR1019940001245

申请日：1994-01-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용희

IPC: H03K7/00

公开(公告)号：KR1019950008526B1

公开(公告)日：1995-07-31

申请号：KR1019920015291

申请日：1992-08-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용희

IPC: B65D65/38 ,  B65D65/40

Abstract: The wrapping sheet includes a sheet layer of at least one formed of synthetic resin or resin polymerization, and a net layer of at least one woven by natural or synthetic fiber and also integrally combined with at least one of the sheet layers, thereby getting effects for saving of material and the protection of environment.

Abstract translation: 包装片包括由合成树脂或树脂聚合形成的至少一层的片层和由天然或合成纤维织造的至少一层的网层，并且还与至少一个片层一体地组合，从而获得 节约材料和保护环境。

公开(公告)号：KR1019950005215B1

公开(公告)日：1995-05-22

申请号：KR1019930005327

申请日：1993-03-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용희

IPC: G06F3/00

CPC classification number: G06F1/3215 ,  G06F1/3265 ,  G09G1/005 ,  G09G2330/022 ,  Y02D10/153

Abstract: The apparatus has an input device for providing an external input signal. A power supply signal generator connected to the input device generates a power supply signal in response to the external input signal. A power controller connected to the power supply signal generator cuts off operating voltages of a monitor when the power supply signal is not received for a predefined time. The power controller includes an operating voltage generator and a reference buffer for storing a reference time for performing a power saving mode. The controller cuts off the operating voltages by controlling the power supply when the power supply signal is not received until the reference time of the reference buffer elapses.

Abstract translation: 该装置具有用于提供外部输入信号的输入装置。 连接到输入装置的电源信号发生器响应于外部输入信号产生电源信号。 连接到电源信号发生器的电源控制器在预定时间内未接收到电源信号时，切断监视器的工作电压。 功率控制器包括工作电压发生器和用于存储执行省电模式的基准时间的参考缓冲器。 控制器通过控制供电信号直到参考缓冲器的参考时间过去之前才接收电源信号来切断工作电压。